Коншина, Е. А. Осаждение пленок a-C:H в тлеющем разряде на постоянном токе с областью магнетронной плазмы, локализованной вблизи анода [Текст] / Е. А. Коншина // Журнал технической физики. - 2002. - Т.72,N6. - Библиогр.: с. 39-40 (27 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): аморфный гидрогенизированный углерод -- осаждение пленок -- пленки -- тлеющий разряд Аннотация: Многоэлектродная система для химического осаждения паров в плазме тлеющего разряда на постоянном токе с областью скрещенных магнитного и электрического полей была использована для получения пленок a-C:H. Исследованы вольт-амперные характеристики разряда в интервале дпвлений в вакуумной камере от 0.004 до 0.1 Pa и влияние на них магнитного поля. Изучено влияние мощности тлеющего разряда, давления паров углеводорода, проводимости материала подложки и ее потенциала, а также добавления инертного газа на скорость осаждения пленок a-C:H. Полученные результаты обсуждены в рамках представлений об адсорбционном механизме конденсации пленок в плазме. Дан краткий анализ влияния скорости осаждения на свойства пленок |
539.2 С 810 Стогний, А. И. Особенности перераспределения кобальта по поверхности пленок неоднородных сплавов кобальт-медь [Текст] / А. И. Стогний, С. В. Корякин, Н. Н. Новицкий // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N4. - Библиогр.: 14 назв. . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): кобальт -- медь -- пленки -- поверхность пленок -- сплавы -- электролитическое осаждение Аннотация: Приведены результаты сравнительного анализа поверхности электролитически осажденных пленок Co[x]Cu[100-x] (x=8, 11 и 20 at%) толщиной до 1 mum и пленок толщиной до 0.2 mum, полученных осаждением продуктов распыления мишеней, составленных из электроосажденных пленок соответствующего состава, пучком ионов аргона. Использованы методы атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Данные последней свидетельствуют об отсутствии кобальта на поверхности электроосажденных пленок, о его наличии в объеме и на поверхности пленок, полученных ионным распылением, о менее существенных расхождениях в линиях фотоэлектронных спектров меди у пленок одного состава, полученных разными способами. Для объяснения полученных результатов предложена качественная модель, согласно которой процессы слияния субзерен основной медной компоненты в крупные образования с последующим приобретением ими на свободной поверхности вида островков правильной овальной формы способствуют миграции атомов кобальта со свободной поверхности в область приповерхностных пор. Наличие определенной доли высокоэнергетических частиц в потоке продуктов распыления мишеней и бомбардировка ими фронта поверхности роста пленок, полученных ионным распылением, сопровождается внедрением наиболее быстрых распыленных атомов кобальта в медную матрицу в виде точечных дефектов Доп.точки доступа: Корякин, С.В.; Новицкий, Н.Н. |
22.37 К 630 Комаров, Ф. Ф. Экспериментальная установка с одним ионным пучком и новый метод одновременного осаждения слоев металлов и имплантации [Текст] / Ф. Ф. Комаров, А. А. Комаров [и др.] // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N5. - Библиогр.: 18 назв. . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): ассистируемое ионным облучением осаждение -- ионная имплантация -- осаждение атомов -- распределение атомов Аннотация: Предложен оригинальный подход и экспериментальная установка для реализации in situ ионной имплантации и осаждения слое различных материалов на металлы одним и тем же пучком. Созданная система моделирования процессов дает возмозжность описать ионно-ассистируемое осаждение, а также вычислить радиальное и глубинное распределения осажденных/имплантированных атомов. Результаты моделирования позволили сделать выводы о влиянии энергии ионного пучка, массы и флюенса ионов и особенно геометрии распыляемой мишени. Также представлены экспериментальные результаты по глубинным распределениям имплантируемых атомов и толщинам нанесенных слоев. Наблюдаемое изменение в толщине осажденных слоев, их однородность и эффективность перемешивания в системе пленка-подложка обсуждаются и интерпретируются на основе результатов моделирования и экспериментальных данных Доп.точки доступа: Комаров, А.А.; Жуковски, П.; Карват, Ч.; Селянко, Ю.; Кищак, К.; Комаров, А.Ф. |
539.1/.18 Б 915 Бурмакинский, И. Ю. Влияние резонансной перезарядки ионов аргона на эффективную скорость распыления в магнетронном разряде [Текст] / И. Ю. Бурмакинский, А. В. Рогов // Журнал технической физики. - 2004. - N 1. - Библиогр.: c. 122 (10 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): ионное распыление -- аргон -- магнетронное осаждение -- перезарядка ионов -- ионы Аннотация: Проведен сравнительный анализ скоростей распыления в магнетронной системе ионного распыления для различных материалов мишени. Приведены эффективные коэффициенты распыления, полученные при использовании аргона в качестве рабочего газа. Показано, что отличие коэффициента распыления от значений, полученных методом моноэнергетичных ионных пучков, обусловлено влиянием резонансной перезарядки иона аргона на собственном газе. Перейти: http: //www. ioffe. ru/journals/jtf/2004/01/ Доп.точки доступа: Рогов, А. В. |
539.2 Р 698 Ромашин, С. Н. Самоорганизация при осаждении пленок полупроводников в среде атомарного водорода [Текст] / С. Н. Ромашин, А. В. Седов, Э. В. Касаткин, В. Ф. Харламов // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 8 . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): наноструктуры -- осаждение пленок -- самоорганизация Аннотация: С помощью сканирующего туннельного микроскопа установлено, что осажденные в среде атомарного водорода на медные подложки пленки германия содержат наноструктуры с характерным размером 30-40 nm. Исследованы локальная проводимость, фотопроводимость и неравновесная хемопроводимость пленок. Наблюдалось травление германиевых и кремниевых пленок, а также фуллереновой черни атомарным водородом. Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2004/08/page-133.html.ru Доп.точки доступа: Седов, А. В.; Касаткин, Э. В.; Харламов, В. Ф. |
539.2 С 810 Стогний, А. И. Об удалении с поверхности кремния (001) наноостровков германия пирамидальной формы после ионно-лучевого осаждения-распыления нанослоя золота [Текст] / А. И. Стогний, Н. Н. Новицкий, О. М. Стукалов, А. И. Демченко // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 9. - Библиогр.: c. 133 (6 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): ионно-лучевое осаждение-распыление -- кремний -- наноостровки Аннотация: Экспериментально определены режимы селективного удаления наноостровков германия пирамидальной формы с поверхности кремния (001) методом последовательного ионно-лучевого осаждения-распыления слоя золота наноразмерной толщины, причем при малом изменении размеров крупных наноостровков германия куполообразной формы. Перейти: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2004/09/page-131.html.ru Доп.точки доступа: Новицкий, Н. Н.; Стукалов, О. М.; Демченко, А. И. |
Пшеничнюк, С. А. Химическая чистота алмазоподобных пленок, полученных методом ионно-лучевого осаждения [Текст] / С. А. Пшеничнюк, Ю. М. Юмагузин // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N10. - Библиогр.: с.102-103 (15 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Техника--Материаловедение Кл.слова (ненормированные): алмазоподобные пленки -- тонкие пленки -- ионно-лучевое осаждение -- кремниевые подложки -- химическая чистота -- масс-спектрометрия Аннотация: Методом вторично-ионной масс-спектрометрии исследован элементный состав образцов тонких алмазоподобных пленок, полученных в сверхвысоком вакууме путем ионно-лучевого осаждения на поверхностях кремниевых подложек. Качественный анализ результатов и их сравнение с данными, полученными для образцов графита и пироуглерода, показал высокую химическую чистоту полученных алмазоподобных покрытий Доп.точки доступа: Юмагузин, Ю.М. |
543 М 152 Макаров, Д. Ф. Определение свинца и цинка в промышленных медь-никель-кобальтовых продуктах [Текст] / Д. Ф. Макаров, И. С. Остапчук, О. В. Ковалева // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2004. - Т. 70, N 1. - Библиогр.: с. 18 (5 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Химия--Аналитическая химия Кл.слова (ненормированные): абсорбция -- гидроксид железа -- гидроксид кобальта -- гидроксид никеля -- осаждение матрицы (метод) -- свинец -- цинк Аннотация: Описана методика атомно-абсорбционного определения свинца и цинка в медь-никель-кобальтовых продуктах после их выделения и концентрирования способом частичного осаждения матрицы в виде гидроксидов никеля, кобальта и железа. Доп.точки доступа: Остапчук, И. С.; Ковалева, О. В. |
537.622:539.216.2 Ф 339 Федосюк, В. М. Исследование гранулированных электроосажденных AgCo пленок [Текст] / В. М. Федосюк, Х. И. Блайт, М. М. Малюш, О. И. Касютич // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2003. - Т.46,N4. - Библиогр.: 14 назв. . - ISSN 0579-2991
Рубрики: Физика--Физика твердого тела--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): гранулированные пленки -- магнитные свойства пленок -- метод электролитического осаждения -- пленки -- пленки неоднородных сплавов -- структура гранулированных пленок -- электролитическое осаждение -- электроосажденные пленки Аннотация: Методом электролитического осаждения получены пленки неоднородных сплавов Ag[100-x]Co[x]cx=0-100%. Исследована их структура и магнитные свойства. Доп.точки доступа: Блайт, Х.И.; Малюш, М.М.; Касютич, О.И. |
539.216.2:538.24 Т 642 Точицкий, Т. А. О механизме формирования структуры электролитических магнитных пленок сплавов на основе кобальта [Текст] / Т. А. Точицкий, Л. В. Немцевич, Ж. Н. Архипенко // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2003. - Т. 46, N 8. - Библиогр.: с. 29 (21 назв. ). - ил.: 1 табл., 2 рис. . - ISSN 0579-2991
Рубрики: Физика--Общие вопросы физики--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): кобальт -- легирующие элементы -- магнитные пленки -- пленки сплавов с кобальтом -- тонкопленочные материалы -- электролитические магнитные пленки -- электролитическое осаждение Аннотация: Приведены результаты исследования механизма формирования структуры электроосажденных магнитных пленок сплавов Со-W, Co-P, Co-Re, Co-Cu. Показано, что увеличением содержания легирующих элементов в сплавах реализуется фазовый переход: поликристаллическое-агрегатное-аморфное либо нанокристаллическое состояние. Исследовано влияние размера атомов легирующих элементов на формирование субструктуры электролитически осажденных магнитных пленок. Доп.точки доступа: Немцевич, Л. В.; Архипенко, Ж. Н. |
621.357.8 Х 172 Халипина, Н. Н. Изучение кинетики анодного растворения окрашенных анодно-оксидных пленок на сплаве алюминия [Текст] / Н. Н. Халипина, Е. А. Савельева, С. С. Попова // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2003. - Т. 46, N 8. - Библиогр.: с. 95 (6 назв. ). - ил.: 3 рис., 2 табл. . - ISSN 0579-2991
Рубрики: Энергетика--Электротехника Кл.слова (ненормированные): анодно-оксидные пленки -- анодное растворение -- анодные процессы -- сплавы алюминия -- электрохимическое осаждение металлов -- электрохимия Аннотация: Проведено сравнение электрохимического поведения алюминия, анодированного в фосфорной и серной кислотах, в растворах сульфатов меди и магния с помощью методов потенциостатических i, тау-кривых и тонкопленочной хронопотенциометрии. Показано, что количество электричества, сообщенное электроду в процессе поляризации - q[kn], значительно превышает количество электричества q, получаемое с электрода при гальваностатическом разряде, что свидетельствует о том, что не весь красящий катион выходит из АОП при анодной поляризации. Причем, в случае АОП, сформированных в Н[3]PO[4], красящий катион прочнее связан с оксидом, на что указывают величины объемной концентрации катионов меди, растворенной в гальваноститическом режиме. Доп.точки доступа: Савельева, Е. А.; Попова, С. С. |
536.7 Ч 467 Черепанов, А. Н. Квазиодномерная модель тепломассопереноса при сублимации пластины молекулярного кристалла в плоском канале [Текст] / А. Н. Черепанов, В. П. Шапеев [и др.] // Прикладная механика и техническая физика. - 2003. - Т.44,N4. - Библиогр.: с.114-115 (5 назв.) . - ISSN 0869-5032
Рубрики: Физика--Термодинамика Кл.слова (ненормированные): квазиодномерные модели -- моделирование -- монокристаллы -- пластины -- сублимация -- тепломассоперенос -- теплообмен -- химическое осаждение -- бета-дикетонат -- инертный газ -- моделирование -- расчеты -- схемы -- температурная зависимость -- теплопроводность -- фазовые переходы -- эксперименты Аннотация: Построена нестационарная квазиодномерная модель процесса сублимации монокристаллической пластины из бета-дикетоната в однородном потоке нейтрального газа. Разработан метод коллокации и наименьших квадратов решения задач теплообмена. В отличие от ранее использовавшихся вариантов метода предлагаемый алгоритм предназначен для решения нестационарных уравнений в частных производных с фазовым переходом. Доп.точки доступа: Шапеев, В.П.; Семин, Л.Г.; Черепанова, В.К.; Игуменов, И.К.; Михеев, А.Н.; Гельфонд, Н.В.; Морозова, Н.Б. |
546.273 Ф 333 Федоров, П. П. Борат бария бета-BaB[2]O[4] - материал для нелинейной оптики [Текст] / П. П. Федоров, А. Е. Кох, Н. Г. Кононова // Успехи химии. - 2002. - Т.71,N8. - Библиогр.: с.761-763 (201 назв.)
Рубрики: Химия--Физическая химия Кл.слова (ненормированные): борат бария -- гидролиз алкоксидов -- кристаллохимия -- монокристаллы -- осаждение кристаллогидратов -- полиморфизм -- рвновесия фазовые -- синтез безводный трехфазный Аннотация: Проанализированы данные о структуре, полиморфизме, фазовыых равновесиях, способах выращивания, свойствах и применении монокристаллов низкотемпературной модификации бората бария. Доп.точки доступа: Кох, А.Е.; Кононова, Н.Г. |
669.017 Т 311 Телеушев, А. Ж. Синтез и свойства пленок плюмбида тантала Ta[3]Pb [Текст] / А. Ж. Телеушев, В. Н. Володин, Ю. Ж. Тулеушев, Е. А. Жаканбаев // Физика металлов и металловедение. - 2004. - Т. 97, N 3. - Библиогр.: с. 53 (3 назв. ) . - ISSN 0015-3230
Рубрики: Машиностроение--Металловедение Кл.слова (ненормированные): растворы металлов -- магнетронное распыление -- осаждение -- тантал -- пленки -- свинец -- термообработка Аннотация: Впервые непосредственным магнетронным распылением и соосаждением тантала и свинца на подложки из молибдена и вольфрама получены покрытия, представляющие собой раствор свинца в кубическом альфа-Та, раствор свинца в тетрагональном бета-Та. Доп.точки доступа: Володин, В. Н.; Тулеушев, Ю. Ж.; Жаканбаев, Е. А. |
539.2 Н 74 Новодворский, О. А. Размерные эффекты статической проводимости в тонких пленках тантала [] / О. А. Новодворский, О. Д. Храмова, К. Венцель, Й. В. Барта // Журнал технической физики. - 2005. - Т. 75, N 6. - С. 42-45. - Библиогр.: c. 45 (17 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): квантовые размерные эффекты; лазерное осаждение; размерные эффекты; статическая проводимость; тантал; тонкие пленки Аннотация: Исследован размерный эффект статической проводимости в тонких пленках тантала при импульсном лазерном осаждении в вакууме. Обнаружена осциллирующая зависимость удельного сопротивления от толщины с периодом 5 nm для alpha-Ta и 5. 6 nm для beta-Ta, которая трактуется как квантовый размерный эффект в тонких пленках тантала. Перейти: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2005/06/page-42.html.ru Доп.точки доступа: Храмова, О. Д.; Венцель, К.; Барта, Й. В. |
539.2 Х 73 Холодков, А. В. Особенности фотолюминесценции ионов Er{3+} в силикатных стеклах, полученных плазмохимическим осаждением в СВЧ разряде при пониженном давлении [] / А. В. Холодков, К. М. Голант // Журнал технической физики. - 2005. - Т. 75, N 6. - С. 46-53. - Библиогр.: c. 53 (14 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): плазмохимическое осаждение; СВЧ разряды; силикатные стекла; фотолюминесценция; эрбий Аннотация: Люминесцентные свойства ионов Er{3+} исследованы в стеклянных матрицах на основе SiO[2] с добавками F, N, K, Al, P, Ge, P и Al, P и K, Ge и Al. Образцы стекол с концентрацией эрбия до 9*10{20} cm{-3} синтезированы плазмохимическим осаждением из газовой фазы. Спектры, кинетика и относительная квантовая эффективность фотолюминесценции Er{3+] получены при возбуждении излучением Ar{+} лазера на длине волны 514. 5 nm. Показано, что люминесцентные свойства активатора в таких неплавленых стеклах с высоким содержанием эрбия выгодно отличаются от свойств активатора в тех же стеклах, но прошедших стадию проплавления. Эффект связан с подавлением кластеризации в стеклах при низкотемпературном газофазном осаждении, которая обычно возникает из-за ограниченной взаимной растворимости окислов в расплавах. Получены высокоэффективные композиты с концентрацией эрбия до 4*10{20} cm{-3}, которые могут быть использованы в качестве активной среды для создания волноводных лазеров и усилителей. Перейти: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2005/06/page-46.html.ru Доп.точки доступа: Голант, К. М. |
530.1 К 57 Когда графит предпочтительней алмаза [] // Природа. - 2003. - N1. - С.81 . - ISSN 0032-874Х
Рубрики: Физика--Теоретическая физика Кл.слова (ненормированные): метод химического осаждения; осаждение из газовой фазы; углеродные пленки; эмиссионные характерисики Аннотация: Группа ученых из МГУ им. М.В.Ломоносова провела сравнительное исследование эмиссионных характеристик, а также структурных и других особенностей различных углеродных пленок - от поликристаллического алмаза до графита, - которые были получены методом химического осаждения из газовой фазы. О результатах исследования |
541.1 В 19 Васильев, В. Ю. Осаждение диэлектрических слоев из газовой фазы [] / В. Ю. Васильев, С. М. Репинский // Успехи химии. - 2005. - Т. 74, N 5. - С. 452-483. - Библиогр.: с. 481-483 (139 назв. ) . - ISSN 0042-1308
Рубрики: Химия--Физическая химия. Химическая физика Кл.слова (ненормированные): диэлектрики; химическое осаждение; методы CVD; нитрид кремния; оксинитрид кремния; диоксид кремния; силикатные стекла Аннотация: Обобщены сведения о методах химического осаждения из газовой фазы тонких слоев диэлектриков на основе нитрида, оксинитрида и диоксида кремния, а также фосфор- и борсодержащих силикатных стекол. Описаны аппаратура и методология осаждения слоев. Охарактеризованы процессы роста и приведены данные об основных физико-химических свойствах тонкослойных ковалентных диэлектрических материалов. Доп.точки доступа: Репинский, С. М. |
541.1 В 19 Васильев, В. Ю. Осаждение диэлектрических слоев из газовой фазы [] / В. Ю. Васильев, С. М. Репинский // Успехи химии. - 2005. - Т. 74, N 5. - С. 452-483. - Библиогр.: с. 481-483 (139 назв. ) . - ISSN 0042-1308
Рубрики: Химия--Физическая химия. Химическая физика Кл.слова (ненормированные): диэлектрики; химическое осаждение; методы CVD; нитрид кремния; оксинитрид кремния; диоксид кремния; силикатные стекла Аннотация: Обобщены сведения о методах химического осаждения из газовой фазы тонких слоев диэлектриков на основе нитрида, оксинитрида и диоксида кремния, а также фосфор- и борсодержащих силикатных стекол. Описаны аппаратура и методология осаждения слоев. Охарактеризованы процессы роста и приведены данные об основных физико-химических свойствах тонкослойных ковалентных диэлектрических материалов. Доп.точки доступа: Репинский, С. М. |
539.2 В 78 Востоков, Н. В. Влияние скорости осаждения Ge на рост и фотолюминесценцию самоформирующихся островков Ge (Si) / Si (001 [] / Н. В. Востоков, З. Ф. Красильник [и др.] // Физика твердого тела. - 2005. - Т. 47, N 1. - С. 41-43. - Библиогр.: с. 43 (11 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): германий; кремний; куполообразные островки; наноостровки; нанофотоника; осаждение; островки; пирамидальные островки; самоформирующиеся островки; фотолюминесценция Аннотация: Представлены результаты исследований роста и фотолюминесценции самоформирующихся островков Ge (Si) / Si (001) , полученных в широком интервале скоростей осаждения Ge. Доп.точки доступа: Красильник, З. Ф.; Лобанов, Д. Н.; Новиков, А. В.; Шалеев, М. В.; Яблонский, А. Н. |