Пшеничнюк, С. А. Химическая чистота алмазоподобных пленок, полученных методом ионно-лучевого осаждения [Текст] / С. А. Пшеничнюк, Ю. М. Юмагузин // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N10. - Библиогр.: с.102-103 (15 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Техника--Материаловедение Кл.слова (ненормированные): алмазоподобные пленки -- тонкие пленки -- ионно-лучевое осаждение -- кремниевые подложки -- химическая чистота -- масс-спектрометрия Аннотация: Методом вторично-ионной масс-спектрометрии исследован элементный состав образцов тонких алмазоподобных пленок, полученных в сверхвысоком вакууме путем ионно-лучевого осаждения на поверхностях кремниевых подложек. Качественный анализ результатов и их сравнение с данными, полученными для образцов графита и пироуглерода, показал высокую химическую чистоту полученных алмазоподобных покрытий Доп.точки доступа: Юмагузин, Ю.М. |
539.1 И 755 Ионно-лучевое осаждение фотоактивных нанослоев кремниевых солнечных элементов [Текст] / Л. С. Лунин [и др.] // Неорганические материалы. - 2012. - Т. 48, № 5. - С. 517-522 : 4 рис. - Библиогр.: с. 522 (12 назв. ) . - ISSN 0002-337Х
Рубрики: Физика Ядерная физика в целом Кл.слова (ненормированные): ионно-лучевое осаждение -- кремниевые солнечные элементы -- фотоактивные кремниевые нанослои -- нанослои -- солнечные элементы Аннотация: Проведено моделирование ионно-лучевого осаждения фотоактивных кремниевых нанослоев при бомбардировке монокристаллической мишени пучком Ar{+}. Разработанная модель согласуется с экспериментальными результатами по выращиванию кремниевых нанослоев на подложках c-Si (p) диаметром 100 мм. Доп.точки доступа: Лунин, Л. С.; Чеботарев, С. Н.; Пащенко, А. С.; Болобанова, Л. Н. |