539.2
С 810


    Стогний, А. И.
    Особенности перераспределения кобальта по поверхности пленок неоднородных сплавов кобальт-медь [Текст] / А. И. Стогний, С. В. Корякин, Н. Н. Новицкий // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N4. - Библиогр.: 14 назв. . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
кобальт -- медь -- пленки -- поверхность пленок -- сплавы -- электролитическое осаждение
Аннотация: Приведены результаты сравнительного анализа поверхности электролитически осажденных пленок Co[x]Cu[100-x] (x=8, 11 и 20 at%) толщиной до 1 mum и пленок толщиной до 0.2 mum, полученных осаждением продуктов распыления мишеней, составленных из электроосажденных пленок соответствующего состава, пучком ионов аргона. Использованы методы атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Данные последней свидетельствуют об отсутствии кобальта на поверхности электроосажденных пленок, о его наличии в объеме и на поверхности пленок, полученных ионным распылением, о менее существенных расхождениях в линиях фотоэлектронных спектров меди у пленок одного состава, полученных разными способами. Для объяснения полученных результатов предложена качественная модель, согласно которой процессы слияния субзерен основной медной компоненты в крупные образования с последующим приобретением ими на свободной поверхности вида островков правильной овальной формы способствуют миграции атомов кобальта со свободной поверхности в область приповерхностных пор. Наличие определенной доли высокоэнергетических частиц в потоке продуктов распыления мишеней и бомбардировка ими фронта поверхности роста пленок, полученных ионным распылением, сопровождается внедрением наиболее быстрых распыленных атомов кобальта в медную матрицу в виде точечных дефектов


Доп.точки доступа:
Корякин, С.В.; Новицкий, Н.Н.


539.2
С 810


    Стогний, А. И.
    Получение методом ионно-лучевого распыления кислородом и оптические свойства ультратонких пленок золота [Текст] / А. И. Стогний, Н. Н. Новицкий, С. Д. Тушина, С. В. Калинников // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N6. - Библиогр.: 11 назв. . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
золото -- ионно-лучевое распыление -- омические контакты -- ультратонкие пленки
Аннотация: Исследована зависимость оптических и электрических свойств золотых пленок толщиной от менее 1 до 8 nm, полученных методом ионно-лучевого распыления с использованием ионов аргона и кислорода. Показано, что свойства пленок не зависят от типа применявшихся для распыления ионов. Установлено, что пленки толщиной от 1 до 5 nm являются сплошными и обладают высокой прозрачностью. Получены методом ионно-лучевого распыления ионами кислорода омические контакты NiO[x]/Au к p-GaN


Доп.точки доступа:
Новицкий, Н.Н.; Тушина, С.Д.; Калинников, С.В.


537
С 810


    Стогний, А. И.
    Плазменно-пучковый механизм генерации анодной плазмы двухкаскадного самостоятельного разряда низкого давления с холодным полым катодом [Текст] / А. И. Стогний, Н. Н. Новицкий // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N9. - Библиогр.: 13 назв. . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
анодная плазма -- газоразрядная камера -- генерация плазмы -- электроды
Аннотация: Приведены результаты экспериментального исследования анодной области двухкаскадного самостоятельного разряда низкого давления с холодным полым катодом закрытого типа. Установлено, что внешнее продольное магнитное поле способствует генерации плотной анодной плазмы, а поперечное препятствует. Сделан вывод о преобладающей роли плазменно-пучкового механизма генерации плазмы в анодной области разряда. Проведена оптимизация геометрии электродов газоразрядной камеры.


Доп.точки доступа:
Новицкий, Н.Н.


539.2
С 810


    Стогний, А. И.
    Об удалении с поверхности кремния (001) наноостровков германия пирамидальной формы после ионно-лучевого осаждения-распыления нанослоя золота [Текст] / А. И. Стогний, Н. Н. Новицкий, О. М. Стукалов, А. И. Демченко // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 9. - Библиогр.: c. 133 (6 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
ионно-лучевое осаждение-распыление -- кремний -- наноостровки
Аннотация: Экспериментально определены режимы селективного удаления наноостровков германия пирамидальной формы с поверхности кремния (001) методом последовательного ионно-лучевого осаждения-распыления слоя золота наноразмерной толщины, причем при малом изменении размеров крупных наноостровков германия куполообразной формы.

Перейти: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2004/09/page-131.html.ru

Доп.точки доступа:
Новицкий, Н. Н.; Стукалов, О. М.; Демченко, А. И.




    Стогний, А. И.
    Низкотемпературное окисление пленок CoCu длительным облучением пучком ионов кислорода [Текст] / А. И. Стогний, С. В. Корякин, В. А. Вирченко // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N6. - Библиогр.: с. 94 (16 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- поверхность -- облучение -- ионы кислорода -- рентгеновская спектроскопия -- окисление -- рельеф поверхности
Аннотация: Представлены результаты исследований поверхности и поверхностного слоя тонких пленок неоднородных сплавов Co[x]Cu[100-x], подвергнутых длительному (до 100 min) пучковому облучению ионами кислорода. Пленки получали электролитическим осаждением. Методами рентгеновской фотоэлектронной и конверсионной электронной мессбауэровской спектроскопии показано формирование в результате облучения окисленного поверхностного слоя, сплошность и толщина которого определяются степенью шероховатости исходного рельефа поверхности пленок. Установлено, что для пленок с содержанием кобальта 8=

Доп.точки доступа:
Корякин, С.В.; Вирченко, В.А.


621.3
С 810


    Стогний, А. И.
    Лабораторный генератор с. в. ч.-плазмы для обработки поверхностей [Текст] / А. И. Стогний, С. В. Корякин [и др.] // Приборы и техника эксперимента. - 2004. - N 4. - Библиогр.: с. 165 (1 назв. ) . - ISSN 0032-8162
УДК
ББК 31.2
Рубрики: Энергетика--Электротехника
Кл.слова (ненормированные):
полимеры -- лабораторные исследования -- генераторы -- СВЧ плазма -- СВЧ печи -- обработка поверхностей -- диэлектрики -- очистка -- полупроводники -- органические примеси -- травление
Аннотация: Описан усовершенствованный генератор с. в. ч.-плазмы на основе бытовой с. в. ч.-печи, предназначенный для очистки поверхностей изделий, в том числе полупроводниковых и диэлектрических, от органических примесей, а также для для травления полимеров.


Доп.точки доступа:
Корякин, С. В.; Марченко, А. В.; Демченко, А. И.; Хитько, В. И.


621.3
С 810


    Стогний, А. И.
    Лабораторный генератор с. в. ч.-плазмы для обработки поверхностей [Текст] / А. И. Стогний, С. В. Корякин [и др.] // Приборы и техника эксперимента. - 2004. - N 4. - Библиогр.: с. 165 (1 назв. ) . - ISSN 0032-8162
УДК
ББК 31.2
Рубрики: Энергетика--Электротехника
Кл.слова (ненормированные):
полимеры -- лабораторные исследования -- генераторы -- СВЧ плазма -- СВЧ печи -- обработка поверхностей -- диэлектрики -- очистка -- полупроводники -- органические примеси -- травление
Аннотация: Описан усовершенствованный генератор с. в. ч.-плазмы на основе бытовой с. в. ч.-печи, предназначенный для очистки поверхностей изделий, в том числе полупроводниковых и диэлектрических, от органических примесей, а также для для травления полимеров.


Доп.точки доступа:
Корякин, С. В.; Марченко, А. В.; Демченко, А. И.; Хитько, В. И.


537
С 81


    Стогний, А. И.
    Источник ионов с открытым торцом и анодом малой площади [Текст] / А. И. Стогний, Н. И. Завадская [и др.] // Приборы и техника эксперимента. - 2005. - N 3. - С. 147-149. - Библиогр.: с. 149 (5 назв. ) . - ISSN 0032-8162
УДК
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
ионы; ферромагнитные материалы; аноды; магнитное поле; термокатоды
Аннотация: Описывается источник ионов с открытым торцом, в котором конусообразный анод помещен в расходящееся внешнее магнитное поле и имеет площадь меньше 0, 1 от площади стенок, находящихся под катодным потенциалом.


Доп.точки доступа:
Завадская, Н. И.; Корякин, С. В.; Лобко, Э. В.; Юрченко, А. В.


621.38
С 810


    Стогний, А. И.
    Газоразрядный источник ионов низкого давления с полым катодом и диаметром выходной апертуры 420 мм [Текст] / А. И. Стогний, А. А. Серов, С. В. Корякин, В. В. Паньков // Приборы и техника эксперимента. - 2008. - N 2. - С. 162-165. - Библиогр.: с. 165 (9 назв. ) . - ISSN 0032-8162
УДК
ББК 32.85
Рубрики: Радиоэлектроника
   Электроника

Кл.слова (ненормированные):
газоразрядные источники -- ионы -- низкие давления -- полые катоды -- апертура
Аннотация: Описан газоразрядный источник ионов с полым катодом диаметром 700 и длиной 500 мм.


Доп.точки доступа:
Серов, А. А.; Корякин, С. В.; Паньков, В. В.




   
    DMS-растворы Mg (Fe[1-x]Ca[x]) [2]O[4+дельта] [Текст] / Г. Д. Нипан [и др. ] // Доклады Академии наук. - 2010. - Т. 430, N 6, февраль. - С. 781-786 : 4 рис. - Библиогр.: с. 786 (8 назв. ) . - ISSN 0869-5652
УДК
ББК 24
Рубрики: Химия
   Анализ неорганических веществ

Кл.слова (ненормированные):
твердые растворы -- гомогенные гибриды -- пирогидролитический метод -- магнитные полупроводники -- спинтронные устройства -- магнетит -- ферромагнетизм
Аннотация: Впервые с помощью пирогидролитического метода получен твердый раствор состава Mg (fe[0, 8]Ca[0, 2]) [2]O[4+дельта], свойства которого являются оптимальным для создания разбавленного магнитного проводника в керамическом, монокристаллическом или пленочном виде с целью применения в спинтронных устройствах.


Доп.точки доступа:
Нипан, Г. Д.; Кецко, В. А.; Стогний, А. И.; Труханов, А. В.; Кольцова, Т. Н.; Береснев, Э. Н.; Копьева, М. А.; Елесина, Л. В.; Кузнецов, Н. Т.




   
    Особенности синтеза твердых растворов в системе (MgGa[2]O[4]) [x] (MgFe[2]O[4]) [1 - x]пирогидролитическим и твердофазным методами [Текст] / В. А. Кецко [и др. ] // Журнал неорганической химии. - 2010. - Т. 55, N 3. - С. 476-479 : рис. - Библиогр.: с. 479 (10 назв. )
УДК
ББК 24.44 + 24.52
Рубрики: Химия
   Анализ неорганических веществ

   Химия твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
удельная поверхность -- параметры решетки -- правило Вегарда -- Вегарда правило -- лимонная кислота
Аннотация: Продемонстрирована возможность получения твердых растворов в указанной системе.


Доп.точки доступа:
Кецко, В. А.; Береснев, Э. Н.; Копьева, М. А.; Елесина, Л. В.; Баранчиков, А. Е.; Стогний, А. И.; Труханов, А. В.; Кузнецов, Н. Т.




   
    Магнитные свойства пленок кобальта на начальной стадии ионно-лучевого осаждения [Текст] / А. И. Стогний [и др. ] // Письма в "Журнал технической физики". - 2009. - Т. 35, вып: вып. 11. - С. 96-103 : ил. - Библиогр.: с. 103 (10 назв. ) . - ISSN 0320-0116
УДК
ББК 32.86 + 22.334
Рубрики: Радиоэлектроника
   Квантовая электроника

   Физика

   Магнетизм

Кл.слова (ненормированные):
магнитные свойства -- кобальт -- Co -- магнитные свойства пленок -- пленки -- ферромагнитный резонанс -- метод ферромагнитного резонанса -- метод ФМР -- магнетометрия -- ионно-лучевое распыление -- магнитный резонанс -- ФМР метод
Аннотация: Магнитные свойства пленок Co на Si (100) от момента зарождения и до перехода к объемоподобному состоянию были исследованы методами ФМР на частоте 9. 55 GHz и SQUID-магнетометрии. Ширина линии ФМР в зависимости от толщины пленки Сo характеризуется резким переходом от больших значений в интервале 0. 240. 54 kOe при температуре 10 K, а слои большей толщины имеют H[c] менее 0. 15 kOe во всем интервале температур вплоть до 300 K. Большие значения Delta H и H[c] на начальной стадии зарождения пленок объясняются вкладом от переходного слоя Co/Si, формирующегося при воздействии "автооблучения" высокоэнергетической составляющей из общего потока осаждаемых атомов Со, свойственной для процесса ионно-лучевого распыления в высоком вакууме, доля которых не превышает 10% от общего потока, для которых средняя длина пробега в растущем слое Co составляет 0. 8 nm, а в Si --- 1. 2 nm. Обсуждаются условия использования пленок Co из переходного интервала значений толщин 0. 8 nm для инжекции спин-поляризованного тока в Si при комнатной температуре.


Доп.точки доступа:
Стогний, А. И.; Мещеряков, В. Ф.; Новицкий, Н. Н.; Fettar, F.; Пашкевич, М. В.




   
    Ионно-лучевая инженерия многослойной наноструктуры Co/TiO[2] [Текст] / А. И. Стогний [и др. ] // Письма в "Журнал технической физики". - 2010. - Т. 36, вып: вып. 9. - С. 73-81 : ил. - Библиогр.: с. 80-81 (10 назв. ) . - ISSN 0320-0116
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
ионно-лучевое распыление -- метод ионно-лучевого распыления -- ионно-лучевая инженерия -- наноструктуры -- многослойные структуры -- Co/TiO[2] -- парциальные слои -- шероховатые поверхности -- плоскопараллельные интерфейсы -- спектры -- пленки (физика) -- магнитооптика -- спинтроника -- спектры пропускания
Аннотация: Методом ионно-лучевого распыления получены и исследованы многослойные структуры Co/TiO[2] суммарной толщиной до 100 nm, с толщиной парциальных слоев, варьируемой в нанометровом интервале. Показано, что в многослойных структурах [Co (2 nm) /TiO[2] (2 nm][15], [Co (2 nm) /TiO[2] (4 nm][15] и [Co (4 nm) /TiO[2] (4 nm) ][12] среднеквадратичная шероховатость поверхности не превышает 0. 9 nm, все слои являются сплошными, имеют резкие плоскопараллельные интерфейсы, а характеристики каждого слоя близки к характеристикам их объемных аналогов. Структура [Co (2 nm) /TiO[2] (4 nm) ][15] отличается наибольшей прозрачностью (более 7% в видимой области спектра). Указанные пленки обладают перспективными свойствами для применения в магнитооптике и спинтронике. Поверхности многослойных структур [Co (4 nm) /TiO[2] (2 nm) ][15] и [Co (6 nm) /TiO[2] (2 nm) ][12] имеют среднеквадратичную шероховатость более 1 nm и отличаются наличием проколов с плотностью до 5· 10{7} cm{-2}. Уменьшение толщины парциальных слоев от 2 nm сопровождается перемешиванием слоев, а увеличение толщины уединенного слоя TiO[2] от 6 nm приводит к большим отличиям в спектре пропускания от спектра анатаза TiO[2] и уменьшению прозрачности.


Доп.точки доступа:
Стогний, А. И.; Пашкевич, М. В.; Новицкий, Н. Н.; Беспалов, А. В.




   
    Исследование спинтронного материала EuO: Fe методом мессбауэровской спектроскопии [Текст] / А. С. Борухович [и др. ] // Письма в журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2009. - Т. 89, вып: вып. 4. - С. 215-217
УДК
ББК 22.3
Рубрики: Физика
   Общие вопросы физики

Кл.слова (ненормированные):
спинтронные композиты -- EuO: Fe -- мессбауэровская спектроскопия
Аннотация: Методами мессбауэровской спектроскопии при комнатной температуре исследованы состояния железа и европия спинтронного композита EuO: Fe. В обоих случаях установлено проявление в спектрах двух наборов линий, ответственных за проявление ферромагнетизма и суперпарамагнетизма наночастиц металлического железа в композите и за присутствие в ее матрице, наряду с основным состоянием иона Eu\{+2\}, доли европия в состоянии окисления Eu\{+3\}, соответственно. Последнее обусловливает возможность частичной спиновой поляризации парамагнитных ионов европия в кластерах Eu-Fe-O и повышенную удельную намагниченность композита.


Доп.точки доступа:
Борухович, А. С.; Игнатьева, Н. И.; Янушкевич, К. И.; Стогний, А. И.; Федотова, Ю. А.


539.21:537
С 714


   
    Спектр и потери поверхностных магнитостатических волн в одномерном магнонном кристалле [Текст] / С. Л. Высоцкий [и др.] // Журнал технической физики. - 2011. - Т. 81, N 2. - С. 150-152. - Библиогр.: c. 152 (12 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.373
Рубрики: Физика
   Электрические и магнитные свойства твердых тел

Кл.слова (ненормированные):
магнонные кристаллы -- ферритовые магнонные кристаллы -- железо-иттриевые гранаты -- поверхностные магнитостатические волны -- ПМСВ -- магнитостатические волны -- брэгговские запрещенные зоны
Аннотация: Экспериментально исследованы спектр и потери на распространение поверхностной магнитостатической волны (ПМСВ) в одномерном ферритовом магнонном кристалле в зависимости от угла phi между направлениями волновых векторов ПМСВ и периодической решетки кристалла. Описано изменение положения брэгговских запрещенных зон при изменении угла phi. В узком интервале углов phi~57{o} обнаружено возникновение широкой полосы непропускания вблизи длинноволновой границы ПМСВ f[0]. При 70
Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2011/02/p150-152.pdf

Доп.точки доступа:
Высоцкий, С. Л.; Никитов, С. А.; Новицкий, Н. Н.; Стогний, А. И.; Филимонов, Ю. А.


539.2
М 126


   
    Магнетизм планарных наноструктур кобальт-золото на поверхности кремния [Текст] / О. А. Акципетров [и др.] // Журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2009. - Т. 136, вып. 1. - С. 123-134. - Библиогр.: с. 134 . - ISSN 0044-4510
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
золото -- кремний -- кобальт -- наноструктуры -- планарные наноструктуры -- поверхность кремния -- магнетизм планарных наноструктур -- наноструктуры кобальт-золото
Аннотация: Исследованы структурные и магнитные свойства нанослоя кобальта, помещенного между кремниевой подложкой и защитным слоем золота. Показано, что для массовой толщины слоя кобальта 1-2 нм наблюдается образование наноостровковой структуры.


Доп.точки доступа:
Акципетров, О. А.; Ганьшина, Е. А.; Стогний, А. И.; Мурзина, Т. В.; Сташкевич, А.; Новицкий, Н. Н.; Шебаршин, А. В.; Колмычек, И. А.


543.62
С 253


   
    Свойства твердых растворов Mg ( Fe[1 - x]Ga[x]) [2]O[4 + дельта] в стабильном и метастабильном состояниях [Текст] / Г. Д. Нипан [и др.] // Неорганические материалы. - 2010. - Т. 46, N 4. - С. 490-494 : Рис. 4. - Библиогр.: с. 493 (20 назв. ) . - ISSN 0002-337Х
УДК
ББК 24.44
Рубрики: Химия
   Анализ неорганических веществ

Кл.слова (ненормированные):
пирогидролитический метод -- разбавленные магнитные полупроводники -- спинотронные устройства -- спинтроника -- ферромагнетики-полупроводники
Аннотация: Методом РФА подтверждено образование непрерывных твердых растворов Mg (Fe[1-x]Ga[x]) [2]O[4 + дельта], при использовании пирогидролитического синтеза.


Доп.точки доступа:
Нипан, Г. Д.; Кецко, В. А.; Стогний, А. И.; Труханов, А. В.; Кольцова, Т. Н.; Копьева, М. А.; Елесина, Л. В.; Кузнецов, Н. Т.


546
Ф 796


   
    Формирование одно- и многослойных наноструктурных пленок Co/TiO[2] со свойствами объмных образцов [Текст] / А. И. Стогний [и др.] // Неорганические материалы. - 2010. - Т. 46, N 7. - С. 811-817 : Рис. 5. - Библиогр.: с. 817 (16 назв. ) . - ISSN 0002-337Х
УДК
ББК 24.12 + 24.52
Рубрики: Химия
   Химические элементы и их соединения

   Химия твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
пленки -- пленочные структуры -- магнитооптические устройства -- спинтронные устройства -- Co/TiO[2] -- нанотехнологии -- наноструктурные пленки
Аннотация: Проведено исследование морфологии поверхности, интерфейсных границ, структуры слоев как для отдельных пленок Со и TiO[2] толщиной от 2 до 10 нм, так для их многослойных комбинаций толщиной до 100 нм. На основании данных послойного оже-анализа и просвечивающей электрон-ной микроскопии установлено, что многослойные структуры [Co (2 нм) /TiO[2] (2 нм) ]15, [Co (2 нм) /TiO[2] (4 нм) ][15] и [Co (4 нм) /TiO[2] (4 нм) ][12] представляют собой набор сплошных слоев, плотно примыкающих друг к другу, с резкими границами.


Доп.точки доступа:
Стогний, А. И.; Пашкевич, М. В.; Новицкий, Н. Н.; Беспалов, А. В.; Кецко, В. А.; Fettar, F.; Garad, H. С.


543.62
С 890


   
    Субсолидусные фазовые состояния тведых растворов со структурой шпинели в системе Mg-Ga-Fe-O [Текст] / Г. Д. Нипан [и др.] // Неорганические материалы. - 2010. - Т. 46, N 9. - С. 1134-1139 : 4 рис. - Библиогр.: с. 1139 (23 назв. ) . - ISSN 0002-337Х
УДК
ББК 24.44 + 24.52
Рубрики: Химия
   Анализ неорганических веществ

   Химия твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
твердые растворы -- система Mg-Ga-Fe-O -- полупроводники -- синтез -- отжиг -- магнитные полупроводники
Аннотация: Топологическим методом в рамках концентрационных диаграмм проанализированы фазовые состояния твердых растворов со структурой шпинели, принадлежащих системе Mg-Ga-Fe-O.


Доп.точки доступа:
Нипан, Г. Д.; Кецко, В. А.; Кольцова, Т. Н.; Копьева, М. А.; Стогний, А. И.; Труханов, А. В.


533.9
Н 254


   
    Наноразмерные сегнетоэлектрические пленки Ba[0.8]Sr[0.2]TiO[3] на кремнии с буферным слоем TiO[2] [Текст] / А. И. Стогний [и др.] // Неорганические материалы. - 2012. - Т. 48, № 6. - С. 712-715 : 4 рис. - Библиогр.: с. 714-715 (11 назв. ) . - ISSN 0002-337Х
УДК
ББК 22.333
Рубрики: Физика
   Электронные и ионные явления. Физика плазмы

Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные сегнетоэлектрические пленки -- кремний -- метод высокочастотного ионно-плазменного распыления -- поликристаллические пленки -- титанат бария-стронция -- сегнетоэлектрические пленки
Аннотация: Методом высокочастотного ионно-плазменного распыления получены поликристаллические пленки титаната бария-стронция состава Ba0. 8Sr0. 2TiO3 толщиной 50–70 нм на подложках из монокристаллического кремния. Определены структура и состав пленочных образцов, выявлены примеси на межфазной границе пленка/подложка в виде островков силицида титана. Нанесение методом ионно-лучевого распыления буферного слоя TiO2 толщиной 4–6 нм на Si-подложку перед формированием сегнетоэлектрической пленки позволило избавиться от неконтролируемого образования примесей в области межфазной границы. Показана высокая термостабильность гетероструктур с буферным слоем.


Доп.точки доступа:
Стогний, А. И.; Новицкий, Н. Н.; Евдокимов, А. А.; Афанасьев, М. С.; Кецко, В. А.