Образцов, А. Н. Автоэлектронная эмиссия в графитоподобных пленках [Текст] / А. Н. Образцов, И. Ю. Павловский, А. П. Волков // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N11. - Библиогр.: с.95 (37 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): автоэлектронная эмиссия -- графитоподобные пленки -- углеродные пленки -- поликристалличекий алмаз -- спектроскопия Аннотация: Представлены результаты исследования углеродных пленок, осаждавшихся с использованием газофазной химической реакции в плазме разряда постоянного тока. Плекнки, полученные при различных параметрах процесса осаждения, отличались по структуре и фазовому составу в широких пределах: от поликристаллического алмаза до графитоподобного материала. Сравнительное исследование структуры и фазового состава пленок с помощью спектроскопии комбинационного расеяния света, катодолюминесценции, электронной микроскопии и дифрактоиетрии, а также их автоэлетронных эмиссионных свойств показало, что пороговое значение напряженности электрического поля, при котором наблюдается электронная эмиссия, уменьшается с уменьшением размеров алмазных кристаллитов и ростом доли неалмазного углерода. Наиболее низкие пороговые значения поля (менее 1.5 В/мкм) были получены для пленок, состоящих в основном из графитоподобного материала Доп.точки доступа: Павловский, И.Ю.; Волков, А.П. |
539.2 К 570 Когда графит предпочтительнее алмаза [Текст] // Химия в школе. - 2003. - N4 . - ISSN 0368-5632
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): автоэлектронная эмиссия -- алмаз -- графит -- полупроводники -- тонкие пленки -- углеродные пленки Аннотация: Сравнительные исследования эмиссионных характеристик и других особенностей различных углеродных пленок - от поликристалического алмаза до графита,- которые были получены методом химического осаждения из газовой фазы |
539.2 Р 69 Романенко, А. И. Неоднородные электронные состояния в углеродных наноструктурах различной размерности и кривизны образующих их графеновых слоев [Текст] / А. И. Романенко, А. В. Окотруб [и др.] // Успехи физических наук. - 2005. - Т. 175, N 9. - С. 1000-1004. - Библиогр.: с. 1004 (23 назв. ). - ил.: 6 рис. . - ISSN 0042-1294
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): сессии -- наноструктуры -- нанотрубки -- углеродные нанотрубки -- углеродные пленки -- графеновые слои -- электрон-электронные взаимодействия Аннотация: Доклад посвящен экспериментальному определению константы электрон-электронного взаимодействия в углеродных наноструктурах на основе криволинейных графеновых слоев, а также особенностям движения носителей тока в системах, состоящих из криволинейных поверхностей и одномерных нитей. Доп.точки доступа: Окотруб, А. В.; Кузнецов, В. Л.; Котосонов, А. С.; Образцов, А. Н. |
621.3.029 Д 24 Дворкин, В. В. Использование оптической эмиссионной спектроскопии для контроля состава плазмы в процессах осаждения углеродных пленок в СВЧ-разряде [Текст] / В. В. Дворкин, Н. Н. Дзбановский [и др.] // Физика плазмы. - 2003. - Т. 29, N 9. - С. 851-857. - Библиогр.: с. 857 (15 назв. ). - ил.: 11 рис. . - ISSN 0367-2921
Рубрики: Физика--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): плазма -- эмиссионная спектроскопия -- низкотемператуная плазма -- СВЧ-разряды -- газофазные осаждения -- углеродные пленки Аннотация: В работе проводилось систематическое исследование оптических спектров плазмы СВЧ-разряда, используемой для активации газофазного осаждения углеродных пленок, при различных условиях осаждения. Проведенные эксперименты по осаждению углеродных пленок в импульсном режиме возбуждения плазмы показали возможность изменения фазового состава пленок при изменении частоты и скважности импульсов. При этом при неизменной средней СВЧ-мощности отмечено падение скорости роста пленок, причем скорость роста графитовой фазы уменьшилась значительно. Доп.точки доступа: Дзбановский, Н. Н.; Минаков, П. В.; Суетин, Н. В.; Юрьев, А. Ю. |
Формирование тонких углеродных пленок с металлическими наночастицами путем конверсии полимерного прекурсора [Текст] / И. А. Башмаков [и др. ] // Журнал прикладной химии. - 2007. - Т. 80, вып: вып. 2. - С. 286-290. - Библиогр.: c. 290 (21 назв. ) . - ISSN 0044-4618
Рубрики: Химическая технология Общие вопросы химической технологии Кл.слова (ненормированные): изолирующие матрицы -- конверсия полимерного прекурсора -- наногетерогенные структуры -- наночастицы металлов -- наполнители -- пленки с металлическими наночастицами -- плотность упаковки наночастиц -- приповерхностные слои пленок -- проводящие матрицы -- размерные эффекты -- тонкие пленки -- углеродные пленки Аннотация: Предложен новый метод получения углеродных пленок с магнитными металлическими наночастицами путем конверсии полимерного прекурсора. Доп.точки доступа: Башмаков, И. А.; Доросинец, В. А.; Ксеневич, В. К.; Мельников, А. А.; Капуцкий, Ф. Н. |
Получение углеродных пленок методом близкого переноса [Текст] / В. С. Хомченко [и др. ] // Журнал технической физики. - 2008. - Т. 78, N 6. - С. 84-89. - Библиогр.: c. 89 (17 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): углеродные пленки -- сублимация -- рост пленок -- аморфный углерод -- сублимация с близкого расстояния -- close space sublimation Аннотация: Впервые пленки углерода получены простейшим, экологически чистым, модифицированным методом сублимации с близкого расстояния при атмосферном давлении. Пленки углерода были нанесены на кварцевые, стеклянные, ситалловые и кремниевые подложки. Детально исследованы основные свойства пленок, такие как скорость роста, морфология и структура пленок, оптические свойства, зависимость этих характеристик от температуры осаждения и материала подложки. Для исследования были использованы различные методы - рентгенодифракционный, микроскопии атомных сил, многоугловой эллипсометрии, измерения спектров пропускания и отражения в видимой и ближней УФ-областях. Скорость роста составляла 5 nm/min при температуре зарождения пленки 800{o}C. Толщина пленок варьировалась от 0. 2 до 2. 2 mum. Минимальная шероховатость поверхности образцов - 0. 5 nm. Показатель преломления пленок варьируется от 1. 3 до 1. 8 в зависимости от условий получения и последующей термообработки. Оптическая ширина запрещенной зоны составляет 5. 4 eV. Доп.точки доступа: Хомченко, В. С.; Сопинский, Н. В.; Савин, А. К.; Литвин, О. С.; Заяц, Н. С.; Хачатрян, В. Б.; Корчевой, А. А. |
Просветляющие свойства алмазоподобных углеродных пленок, нанесенных на монокристаллы Cd[1-x]Zn[x]Te (x~ 0. 04) [Текст] / Ф. Ф. Сизов [и др. ] // Письма в журнал технической физики. - 2008. - Т. 34, вып: вып. 9. - С. 32-40
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): углеродные пленки -- монокристаллы -- плазменная химия Аннотация: Изучены оптические свойства алмазоподобных углеродных пленок (АУП), полученных методом плазмохимического осаждения на монокристаллах. Доп.точки доступа: Сизов, Ф. Ф.; Клюй, Н. И.; Лукьянов, А. Н.; Савкина, Р. К.; Смирнов, А. Б.; Евменова, А. З. |
Электрохимический синтез и изучение методами СТМ-СТС тонких алмазоподобных пленок на поверхности окисленного алюминия [Текст] / М. В. Гришин [и др. ] // Химическая физика. - 2008. - Т. 27, N 5. - С. 31-39. - Библиогр.: c. 39 (29 назв. ) . - ISSN 0207-401Х
Рубрики: Химия Лабораторное химическое оборудование Кл.слова (ненормированные): метод химического осаждения -- ацетиленид лития -- растворы -- углеродные пленки -- алюминий -- нативный оксид -- туннельная микроскопия -- спектроскопия -- углеродные покрытия -- алмазоподобные фазы Аннотация: При комнатных температурах методом электрохимического осаждения из диметилсульфоксидного раствора ацетиленида лития получены тонкие углеродные пленки на поверхности алюминия, содержавшего нативный оксид. Доп.точки доступа: Гришин, М. В.; Далидчик, Ф. И.; Кулак, А. И.; Кокорин, А. И.; Кулак, Т. И.; Шуб, Б. Р. |
Механизм образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне [Текст] / А. В. Сасин [и др. ] // Письма в "Журнал технической физики". - 2009. - Т. 35, вып: вып. 12. - С. 38-44 : ил. - Библиогр.: с. 44 (8 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Электричество и магнетизм в целом Кл.слова (ненормированные): углеродные пленки -- скрещенные поля -- разряды -- неон -- аргон -- электроды -- цилиндрическая геометрия электродов -- цилиндрические электроды -- интерферометрия -- подложки -- диффузионная модель -- процессы переразрядки -- ионы газа -- инертные газы -- нагрев -- экспериментальные данные -- модельные расчеты Аннотация: Исследован процесс образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне с цилиндрической геометрией электродов. Интерферометрическим способом измерено радиальное распределение толщины пленки на торцевой подложке. Предложена диффузионная модель образования пленок. Учтены процессы перезарядки ионов инертного газа и нагрев газа. Проведено сравнение экспериментальных данных с модельными расчетами. Доп.точки доступа: Сасин, А. В.; Чернов, И. А.; Игнатьев, Б. К.; Вагнер, С. Д. |
Микроэлектромеханические переключатели на основе аморфных алмазоподобных углеродных пленок [Текст] / В. А. Власенко [и др. ] // Письма в "Журнал технической физики". - 2009. - Т. 35, вып: вып. 15. - С. 105-110 : ил. - Библиогр.: с. 110 (5 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): переключатели -- микроэлектромеханические переключатели -- пленки -- углеродные пленки -- алмазоподобные углеродные пленки -- аморфные алмазоподобные углеродные пленки -- аморфные пленки -- результаты исследований -- однокристальные микроэлектромеханические переключатели -- АПП -- электроды -- подложки (физика) -- арсенид галлия -- кремний -- сверхвысокие частоты -- коммутируемые сигналы -- потери сигналов -- высокие скорости переключений -- GaAs -- Si -- галлий -- Ga -- мышьяк -- As Аннотация: Представляются результаты разработки и исследований однокристальных микроэлектромеханических переключателей (полная пара), подвижные элементы которых выполнены на основе высокоомных аморфных углеродных алмазоподобных пленок (АПП). Использование в RF MEMS переключателях АПП позволяет устранить эффекты "залипания" электродов, существенно понизить потери сигнала (до 100 dB), реализовать высокие скорости переключений (~ 10 ns) при сверхвысоких частотах коммутируемого сигнала (до 2 GHz на подложках из кремния и свыше 10 GHz на положках из арсенида галлия). Доп.точки доступа: Власенко, В. А.; Беляев, С. Н.; Ефимов, А. Г.; Ильичев, Э. А.; Маленкович, М. Д.; Немировский, В. Э.; Полторацкий, Э. А.; Горячев, А. В.; Попков, А. Ф.; Фролова, Г. В.; Шупегин, М. Л. |
539.21:535 И 755 Ионно-плазменная обработка монокристаллов Cd[1-x]Zn[x]Te (x~ 0.04) и оптическое просветление алмазоподобными углеродными пленками [Текст] / Н. И. Клюй [и др.] // Журнал технической физики. - 2012. - Т. 82, № 8. - С. 83-88. - Библиогр.: c. 88 (26 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Оптические свойства твердых тел Кл.слова (ненормированные): ионно-плазменная обработка -- оптическое просветление -- алмазоподобные пленки -- углеродные пленки -- кадмий-цинк-теллур -- плазма -- аргон -- азот -- водород -- спектры поглощения -- оптические покрытия -- переходные слои -- плазменная очистка Аннотация: Изучено влияние ионно-плазменной обработки монокристаллов Cd[1-x]Zn[x]Te (x~0. 04), которая проводилась перед нанесением просветляющего покрытия - алмазоподобной углеродной пленки a-C: H: N, на оптические свойства получаемой структуры. Обработка проводилась в плазме аргона, азота или водорода. Контроль оптических свойств системы a-C: H: N/Cd[1-x]Zn[x]Te показал, что наиболее эффективной, с точки зрения повышения пропускания структуры, является обработка в плазме аргона. Предложена модель оптической системы, учитывающая формирование переходных слоев после плазменной обработки и влияние типа ионов на их характеристики. Проведен анализ спектров поглощения системы a-C: H: N/Cd[1-x]Zn[x]Te, позволивший установить присутствие полос, соответствующих валентным и деформационным колебаниям C-H-связей, а также C-C- и C=O-связям, наличие которых необходимо учитывать при конструировании и синтезе изучаемых оптических покрытий. Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2012/08/p83-88.pdf Доп.точки доступа: Клюй, Н. И.; Лозинский, В. Б.; Лукьянов, А. Н.; Мороженко, В. А.; Савкина, Р. К.; Сизов, Ф. Ф.; Смирнов, А. Б.; Дериглазов, В. А. |
537.533/.534 М 545 Метод определения концентрации трития с использованием эффектов диссоциации молекулярных пучков ионов изотопов водорода на тонких углеродных пленках [Текст] / Н. У. Алдияров [и др.] // Журнал технической физики. - 2011. - Т. 81, N 10. - С. 60-67. - Библиогр.: c. 67 (28 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): тритий -- концентрация трития -- тонкие пленки -- углеродные пленки -- масс-спектрометрия -- диссоциация молекулярных ионов -- молекулярные ионы водорода -- изотопы водорода -- молекулярные пучки -- ионные потоки Аннотация: Даны физические основы нового метода масс-спектрометрического определения концентрации трития в водородосодержащих средах, опирающегося на использование эффекта диссоциации молекулярных ионов изотопов водорода при прохождении тонких углеродных пленок. Проведен анализ явлений, сопровождающих взаимодействие частиц с твердым телом: угловое рассеяние, изменение зарядового состояния, потери энергии протонов, дейтронов и тритонов. Полученные теоретические и экспериментальные данные свидетельствуют о том, что практическая реализация предлагаемой технологии возможна при сравнительно низкой энергии частиц ~10 keV/nucl. Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2011/10/p60-67.pdf Доп.точки доступа: Алдияров, Н. У.; Гриднева, Е. А.; Коборов, Н. Н.; Курнаев, В. А.; Мить, А. Г.; Назаренко, Л. М.; Якушев, Е. М. |
536.42 С 253 Свойства низкорефрактивных пленок, полученных по методу близкого переноса при сублимации графита в квазизамкнутом объеме [Текст] / Н. В. Сопинский [и др.] // Журнал технической физики. - 2011. - Т. 81, N 11. - С. 125-129. - Библиогр.: c. 129 (16 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Термодинамика твердых тел Кл.слова (ненормированные): низкорефрактивные пленки -- графит -- близкий перенос -- сублимация графита -- углеродные пленки -- эллипсометрия -- атомно-силовая микроскопия -- многоугловая эллипсометрия -- пленки углерода -- морфология поверхности -- осаждение пленок -- электронная полевая эмиссия -- кремниевые острия -- нанопористые пленки Аннотация: Представлены результаты исследований свойств низкорефрактивных углеродных пленок, нанесенных технологией близкого переноса при сублимации графита в закрытом объеме. При помощи метода монохроматической многоугловой эллипсометрии исследованы оптические свойства пленок, а по методу атомно-силовой микроскопии - морфология их поверхности. Установлено, что пленки имеют столбчатую структуру с базовой шероховатостью поверхности ~1 nm, кроме того, на поверхности пленки присутствуют отдельные островки сечением основы ~200 nm и высотой до 50 nm. Показано, что осаждение низкорефрактивной углеродной пленки по методу близкого переноса на поверхность кремниевых острий приводит к снижению порога электронной полевой эмиссии и резкому росту величины тока. Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2011/11/p125-129.pdf Доп.точки доступа: Сопинский, Н. В.; Хомченко, В. С.; Литвин, О. С.; Савин, А. К.; Семененко, Н. А.; Евтух, А. А.; Соболевский, В. П.; Ольховик, Г. П. |
539.2 Э 455 Электропроводность и оптические свойства тонких углеродных пленок, полученных из паров этанола [Текст] / Д. М. Седловец [и др.] // Неорганические материалы. - 2012. - Т. 48, № 1. - С. 40-45 : 8 рис. - Библиогр.: с. 45 (13 назв. ) . - ISSN 0002-337Х
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Химия Химические элементы и их соединения Кл.слова (ненормированные): электропроводность -- углеродные пленки -- этанол -- ультратонкие углеродные пленки -- пиролиз -- метод осаждения Аннотация: Прозрачные ультратонкие углеродные пленки получены путем пиролиза паров этанола при пониженном давлении на медных подложках в интервале температур 600–950°С. Электропроводность пленок возрастает с увеличением температуры синтеза. Установлено, что в зависимости от температуры синтеза реализуются различные механизмы пиролиза паров этанола, и осаждение углеродных пленок имеет существенные особенности, влияющие на их характеристики. Доп.точки доступа: Седловец, Д. М.; Редькин, А. Н.; Корепанов, В. И.; Трофимов, О. В. |
621.38 М 545 Метод получения углеродных нановолокон из алмазографитовой композитной пленки [Текст] / С. Ю. Суздальцев [и др.] // Письма в "Журнал технической физики". - 2011. - Т. 37, вып. 18. - С. 37-43 : ил. - Библиогр.: с. 43 (5 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Физика Физические приборы и методы физического эксперимента Кл.слова (ненормированные): нановолокна -- углеродные нановолокна -- методы получения -- композитные пленки -- алмазографитовые пленки -- алмазографитовые композитные пленки -- диэлектрические подложки -- углеродные материалы -- композитные материалы -- композитные углеродные материалы -- реконструкция материала -- локальный перегрев -- электрический ток -- протекание тока -- углеродные пленки -- термически расширенные углеродные пленки Аннотация: Предложен метод получения углеродных нановолокон с контролируемым распределением по поверхности подложки, исключающий использование катализатора и высокотемпературный нагрев подложки. Метод основан на реконструкции композитного углеродного материала при локальном перегреве от протекания электрического тока в местах образования складок термически расширенной углеродной пленки на диэлектрической подложке. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2011/18/p37-43.pdf Доп.точки доступа: Суздальцев, С. Ю.; Нефедов, Д. В.; Огурцов, К. Н.; Буров, А. М. |
537.311.33 П 764 Применение алмазоподобных углеродных пленок для просветления кристаллов полуизолирующего GaAs в ИК-области спектра [Текст] / Н. И. Клюй [и др.] // Письма в "Журнал технической физики". - 2012. - Т. 38, вып. 13. - С. 27-34 : ил. - Библиогр.: с. 34 (15 назв.) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Радиоэлектроника Квантовая электроника Кл.слова (ненормированные): углеродные пленки -- алмазоподобные пленки -- алмазоподобные углеродные пленки -- АУП -- применение пленок -- осаждение пленок -- кристаллы -- пропускание кристаллов -- просветление кристаллов -- арсенид галлия -- полуизолирующий арсенид галлия -- спектры -- ИК-области спектра -- плазма -- исследования -- предварительная обработка -- плазменная обработка -- оптическое пропускание -- различные газы Аннотация: Проведено исследование влияния обработок в плазме различных газов и последующего осаждения алмазоподобных углеродных пленок (АУП) на пропускание кристаллов полуизолирующего GaAs в ИК-области спектра. Показано, что осаждение АУП толщиной 1-1. 5 mum позволяет увеличить пропускание GaAs в диапазоне 4-15 mum, причем предварительная обработка в плазме H{+} или Ar{+} увеличивает оптическое пропускание структуры АУП-GaAs. Предложен механизм, объясняющий влияние плазменной обработки на оптическое пропускание полуизолирующего GaAs в ИК-области спектра. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2012/13/p27-34.pdf Доп.точки доступа: Клюй, Н. И.; Липтуга, А. И.; Лозинский, В. Б.; Лукьянов, А. Н.; Оксанич, А. П.; Тербан, В. А. |
539.2 Э 454 Электрические, оптические и механические свойства аморфного гидрогенизированного углерода, полученного при различных условиях осаждения [Текст] / А. А. Бабаев [и др.] // Физика и техника полупроводников. - 2011. - Т. 45, вып. 1. - С. 120-122 : ил. - Библиогр.: с. 122 (18 назв. ) . - ISSN 0015-3222
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): энергия активации -- микротвердость -- углеродные пленки -- пленки -- аморфный углерод -- проводимость -- подложки -- кварцевые подложки -- кремниевые подложки -- температура подложки -- электрические свойства -- оптические свойства -- механические свойства -- осаждение пленок -- преломление пленок -- напряженность электрического поля -- электрическое поле Аннотация: Исследованы энергия активации проводимости на постоянном токе, показатель преломления, микротвердость аморфных гидрогенизированных углеродных пленок a-C: H. Пленки были получены из метан-аргоновой смеси при различных условиях осаждения на кварцевые и кремниевые подложки: E/p=40-180 В/мПа (E - напряженность электрического поля между электродами, p - давление газовой смеси в камере), температура подложки T[s]=50-300{o}C. Эти условия осаждения позволяют получать алмазоподобные, полимероподобные, графитоподобные пленки a-C: H, в которых энергия активации проводимости, микротвердость и показатель преломления меняются в значительных пределах. Перейти: http://journals.ioffe.ru/ftp/2011/01/p120-122.pdf Доп.точки доступа: Бабаев, А. А.; Султанов, С. Б.; Абдулвагабов, М. Ш.; Теруков, Е. И. |
539.2 Р 336 Редькин, А. Н. Осаждение ультратонких пленок углерода из паров этанола [Текст] / А. Н. Редькин, Д. М. Седловец, В. И. Корепанов // Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 3. - С. 68-71 . - ISSN 0015-3214
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): углеродные пленки -- графен -- этанол -- газофазный синтез -- ультратонкие пленки -- медные фольги -- пиролиз -- электропроводность -- прозрачность Аннотация: Экспериментально показана возможность выращивания тонких углеродных пленок на подложках из медной фольги методом пиролиза паров этанола при пониженном давлении. Пленки, полученные в диапазоне температур 500-900 градусов Цельсия, обладают заметной электропроводностью и хорошей прозрачностью. Обсуждаются преимущества предложенного метода синтеза углеродных пленок. Доп.точки доступа: Седловец, Д. М.; Корепанов, В. И. |
538.975 С 873 Структурно-фазовый состав фуллереновых пленок, осаждаемых с помощью мощных ионных пучков [Текст] / В. К. Струц [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 7. - С. 1050-1053 : Рис. - Библиогр.: c. 1053 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): структурно-фазовый состав -- фуллереновые пленки -- углеродные пленки -- кристаллические фазы -- алмазоподобные фазы -- аморфные фазы -- пленки -- сверхбыстрое осаждение -- ионные пучки Аннотация: Представлены результаты экспериментального исследования таких характеристик углеродных пленок, как количество кристаллической фазы фуллеренов, алмазоподобной и аморфной фаз, соотношение фаз фуллеренов C[60]: C[70] при различных условиях осаждения пленок. Доп.точки доступа: Струц, В. К.; Матвиенко, В. М.; Петров, А. В.; Рябчиков, А. И.; Усов, Ю. П.; Ренк, Т. Дж. |
544.723.2.023.2 З-146 Загрязнение поверхности и время жизни оптики для ЭУФ-нанолитографии [Текст] / Н. С. Фараджев [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 34-38 : Рис. - Библиогр.: c. 38 (15 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Химия Физическая химия поверхностных явлений Кл.слова (ненормированные): зеркала -- литография экстремального ультрафиолета -- многослойные структуры -- нанотехнологии -- оптические поверхности -- отражение света -- расчетные данные -- углеводородные пленки -- углеродные пленки -- экспериментальные данные -- ЭУФ-нанолитография Аннотация: В работе обсуждаются элементарные процессы, приводящие к загрязнению поверхности оптики литографии экстремального ультрафиолета. Доп.точки доступа: Фараджев, Н. С.; Хилл, Ш. Б.; Лукаторто, Т. Б.; Якшинский, Б. В.; Мэди, Т. Е. |