620.1/.2 Г 635 Гольдштейн, Р. В. Об оценке собственных деформаций кислородосодержащих преципитатов [Текст] / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов [и др.] // Письма в журнал технической физики. - 2008. - Т. 34, вып. 3. - С. 32-38
Рубрики: Техника Материаловедение Кл.слова (ненормированные): преципитат-дислокационные скопления -- кремниевые пластины -- термическая обработка Аннотация: Предложен способ оценки собственных деформаций преципитата из анализа преципитат-дислокационных скоплений, возникающих на поздних стадиях многоступенчатой термической обработки кремниевых пластин. Полученная оценка использована для определения количества содержащегося в преципитате вещества. Доп.точки доступа: Устинов, К. Б.; Шушпанников, П. С.; Меженный, М. В.; Мильвидский, М. Г.; Резник, В. Я. |
621.382 Г 577 Говорков, А. В. Идентификация дислокаций и их влияние на процессы рекомбинации носителей тока в нитриде галлия [Текст] / А. В. Говорков, А. Я. Поляков [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 7. - С. 18-24 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): твердые растворы -- рекомбинация носителей тока -- нитрид галлия -- плотность дислокаций Аннотация: Исследовалась связь между плотностью ямок травления, выявляемых в GaN селективным травлением в эвтектике KOH/NaOH, и плотностью дислокаций, выявленных методом ПЭМ, а также связь между плотностью дислокаций и плотностью областей в виде темных точек, которые наблюдаются в GaN в картинах распределения интенсивности сигналов микрокатодолюминесценции и наведенного тока. Показано, что селективное травление может служить надежным экспресс-методом определения типа и плотности дислокаций в GaN в диапазоне 10\{6\}-10\{8\} см\{-2\}, а методы МКЛ и НТ могут быть использованы для экспрессного неразрушающего контроля плотности дислокаций в диапазоне 10\{6\}-10\{8\} см\{-2\}. Установлена также связь с дислокациями ряда глубоких электронных и дырочных ловушек. Доп.точки доступа: Поляков, А. Я.; Югова, Т. Г.; Смирнов, Н. Б.; Петрова, Е. А.; Меженный, М. В.; Марков, А. В.; Ли, И.- Х.; Пиртон, С. Дж. |
Об оценке собственных деформаций кислородосодержащих преципитатов [Текст] / Р. В. Гольдштейн [и др. ] // Письма в журнал технической физики. - 2008. - Т. 34, вып: вып. 3. - С. 32-38
Рубрики: Техника Материаловедение Кл.слова (ненормированные): преципитат-дислокационные скопления -- кремниевые пластины -- термическая обработка Аннотация: Предложен способ оценки собственных деформаций преципитата из анализа преципитат-дислокационных скоплений, возникающих на поздних стадиях многоступенчатой термической обработки кремниевых пластин. Полученная оценка использована для определения количества содержащегося в преципитате вещества. Доп.точки доступа: Гольдштейн, Р. В.; Устинов, К. Б.; Шушпанников, П. С.; Меженный, М. В.; Мильвидский, М. Г.; Резник, В. Я. |
Меженный, М. В. Влияние быстрого термического отжига на особенности дефектообразования в пластинах кремния при создании эффективного внутреннего геттера [Текст] / М. В. Меженный, М. Г. Мильвидский, В. Я. Резник // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 8. - С. 49-56
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): дефектообразование -- быстрый термический отжиг -- внутренний геттер -- микродефекты -- твердый раствор кислорода Аннотация: Методами оптической микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии исследованы особенности дефектообразования в пластинах кремния, подвергнутых быстрому термическому отжигу в процессе формирования внутреннего геттера. Установлено, что быстрый термический отжиг приводит к существенной интенсификации процесса распада пересыщенного твердого раствора кислорода, особенно в центральной области пластины, что вызывает появление различий в размерах, плотности и морфологических особенностях микродефектов, формирующихся в серии образцов, подвергнутых быстрому термическому отжигу, по сравнению с традиционными образцами. Полученные данные свидетельствуют о несомненных преимуществах использования быстрого термического отжига в процессе формирования в пластинах эффективного внутреннего геттера. Доп.точки доступа: Мильвидский, М. Г.; Резник, В. Я. |
Меженный, М. В. Генерация дислокаций в термообработанных пластинах кремния, легированных азотом, при приложении внешних нагрузок [Текст] / М. В. Меженный, М. Г. Мильвидский, В. Я. Резник // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 9. - С. 99-104
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): бездислокационные пластины кремния -- легирование азотом -- генерация дислокаций -- термообработка -- движение дислокаций Аннотация: Исследованы особенности генерации и движения дислокаций в легированных азотом бездислокационных пластинах кремния после их многоступенчатых термообработок. Установлено, что легирование азотом приводит к существенному увеличению напряжений начала пластической деформации от поверхностных и внутренних гетерогенных источников в термообработанных пластинах. Скорость движения дислокаций в легированных азотом пластинах кремния оказываются ниже, чем в нелегированных. Упрочняющее влияние азота, по-видимому, обусловлено его активирующим влиянием на процесс распада пересыщенного твердого раствора кислорода при термообработке. Доп.точки доступа: Мильвидский, М. Г.; Резник, В. Я. |
539.2 Э 413 Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли в кремнии [Текст] / Р. В. Гольдштейн [и др.] // Физика твердого тела. - 2011. - Т. 53, вып. 3. - С. 493-503. - Библиогр.: с. 503 (22 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): кислородосодержащие преципитаты -- анизотропные кристаллы кремния -- пересыщенный твердый раствор кислорода -- твердые растворы Аннотация: Рассмотрена модель когерентного и некогерентного кислородосодержащего преципитата, образующегося в анизотропном кристалле кремния в результате распада пересыщенного твердого раствора кислорода. На основе классического подхода Эшелби определены напряжения, действующие внутри и вне преципитата. Предложен критерий зарождения дислокации несоответствия и начала движения полной дислокационной петли внедрения, лежащей в плоскости преципитата. В рамках предложенных модели преципитата и критериев получены зависимости радиуса преципитата, при котором происходит образование дислокации несоответствия и начала движения полной дислокационной петли внедрения, при приложении к образцу внешней нагрузки. Проведено сопоставление полученных результатов с имеющимися экспериментальными данными. Доп.точки доступа: Гольдштейн, Р. В.; Меженный, М. В.; Мильвидский, М. Г.; Резник, В. Я.; Устинов, К. Б.; Шушпанников, П. С. |
531.7 М 435 Меженный, М. В. Зависимость систематической погрешности измерения углов дифракции от настройки гониометра и образца / М. В. Меженный, авт. В. Ф. Павлов // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2013. - Т. 79, № 2. - С. 39-42. - Библиогр.: с. 42 (5 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Физика Геометрическая оптика. Оптические приборы Кл.слова (ненормированные): систематические погрешности -- измерение углов -- углы дифракции -- гониометры -- угол Вульфа - Брэгга -- Вульфа - Брэгга угол -- метод Бонда -- Бонда метод -- угловые погрешности -- рентгеновское излучение -- углы отклонения -- межплоскостные расстояния Аннотация: Продемонстрированы особенности систематических погрешностей измерения углов дифракции, которые вызваны угловыми погрешностями настройки гониометра и измеряемого образца. Доп.точки доступа: Павлов, В. Ф. |