Меженный, М. В. Генерация дислокаций в термообработанных пластинах кремния, легированных азотом, при приложении внешних нагрузок [Текст] / М. В. Меженный, М. Г. Мильвидский, В. Я. Резник // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 9. - С. 99-104
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): бездислокационные пластины кремния -- легирование азотом -- генерация дислокаций -- термообработка -- движение дислокаций Аннотация: Исследованы особенности генерации и движения дислокаций в легированных азотом бездислокационных пластинах кремния после их многоступенчатых термообработок. Установлено, что легирование азотом приводит к существенному увеличению напряжений начала пластической деформации от поверхностных и внутренних гетерогенных источников в термообработанных пластинах. Скорость движения дислокаций в легированных азотом пластинах кремния оказываются ниже, чем в нелегированных. Упрочняющее влияние азота, по-видимому, обусловлено его активирующим влиянием на процесс распада пересыщенного твердого раствора кислорода при термообработке. Доп.точки доступа: Мильвидский, М. Г.; Резник, В. Я. |