537.3 Б 900 Бублик, В. Т. Диагностика дефектов, образующихся на разных стадиях формирования внутреннего геттера в CZ-Si [Текст] / В. Т. Бублик, К. Д. Щербачев [и др.] // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2008. - Т. 74, N 5. - C. 28-34. - Библиогр.: с. 34 (8 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Физика Электрический ток Кл.слова (ненормированные): диагностика дефектов -- дефекты -- геттер -- внутренний геттер -- CZ-Si -- рассеяние рентгеновских лучей -- метод диффузного рассеяния рентгеновских лучей -- диффузное рассеяние рентгеновских лучей -- кремний -- селективное травление -- металлография Аннотация: Показана эффективность комплексного использования методов металлографии и диффузного рассеяния рентгеновских лучей для диагностики структуры пластин кремния с внутренним геттером. Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д.; Воронова, М. И.; Енишерлова, К. Л.; Русак, Т. Ф. |
Меженный, М. В. Влияние быстрого термического отжига на особенности дефектообразования в пластинах кремния при создании эффективного внутреннего геттера [Текст] / М. В. Меженный, М. Г. Мильвидский, В. Я. Резник // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 8. - С. 49-56
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): дефектообразование -- быстрый термический отжиг -- внутренний геттер -- микродефекты -- твердый раствор кислорода Аннотация: Методами оптической микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии исследованы особенности дефектообразования в пластинах кремния, подвергнутых быстрому термическому отжигу в процессе формирования внутреннего геттера. Установлено, что быстрый термический отжиг приводит к существенной интенсификации процесса распада пересыщенного твердого раствора кислорода, особенно в центральной области пластины, что вызывает появление различий в размерах, плотности и морфологических особенностях микродефектов, формирующихся в серии образцов, подвергнутых быстрому термическому отжигу, по сравнению с традиционными образцами. Полученные данные свидетельствуют о несомненных преимуществах использования быстрого термического отжига в процессе формирования в пластинах эффективного внутреннего геттера. Доп.точки доступа: Мильвидский, М. Г.; Резник, В. Я. |