Зинченко, С. П. О возможности контроля роста тонких пленок методом угловой рефлектометрии в области угла Брюстера [Текст] / С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев // Журнал технической физики. - 2009. - Т. 79, N 11. - С. 128-133. - Библиогр.: c. 133 (9 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Термодинамика твердых тел Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- рост пленок -- угловая рефлектометрия -- угол Брюстера -- Брюстера угол -- мультиферроики Аннотация: Для анализа динамики формирования слоевых структур на прозрачных подложках использовали метод угловой рефлектометрии, выгодно отличающийся высокой чувствительностью к изменению параметров пленочных структур начиная с первой стадии ее формирования. Метод основан на использовании угловой зависимости интенсивности отраженного сигнала в зоне угла Брюстера и практически не зависит от состояния технических средств измерений. Представлены результаты исследований тонких пленок мультиферроика на корундовой изотропной кристаллической подложке (скол 001). Пленки на подложке Al[2]O[3] (001) с различным временем напыления (5-600 s) были получены осаждением продуктов распыления мишени Bi[0. 95]Nd[0. 05]FeO[3] в высокочастотном тлеющем разряде в атмосфере кислорода. Доп.точки доступа: Ковтун, А. П.; Толмачев, Г. Н. |
Зинченко, С. П. О текущем контроле роста пленок цирконата-титаната свинца в камере газового разряда [Текст] / С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев // Письма в "Журнал технической физики". - 2010. - Т. 36, вып: вып. 10. - С. 66-72 : ил. - Библиогр.: с. 72 (9 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): пленки (физика) -- рост пленок -- цирконат-титанат свинца -- ЦТС -- газоразрядные камеры -- газовые разряды -- режим реального времени -- газоразрядное напыление пленок -- подложки (физика) -- нержавеющие стали -- оптическое излучение -- длины волн -- параметры кривых отражения -- мощность -- корреляция параметров -- перовскиты -- пирохлоры -- технологические параметры -- физические характеристики Аннотация: В режиме реального времени (in situ) в ходе газоразрядного напыления пленок цирконата-титаната свинца Pb (Zr[x]Ti[1-x]) O[3] (ЦТС) на подложку из нержавеющей стали обнаружена осцилляторно затухающая зависимость интенсивности зеркально отраженного от пленки на подложке оптического излучения с длиной волны 0. 640 mum. Выявлены зависимость параметров кривых отражения от вводимой в разряд мощности и корреляция этих параметров с типом получаемых пленок (со структурами типа пирохлора и перовскита). Метод позволяет уже на начальной стадии контролировать в режиме in situ технологические параметры напыления, определяющие нужные физические характеристики. Доп.точки доступа: Ковтун, А. П.; Толмачев, Г. Н. |
536.22/.23 З-636 Зинченко, С. П. Особенности роста пленок в тлеющем разряде с убегающими электронами / С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев // Письма в "Журнал технической физики". - 2014. - Т. 40, вып. 1. - С. 43-49 : ил. - Библиогр.: с. 49 (7 назв.) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Газы и жидкости Кл.слова (ненормированные): пленки -- тлеющие разряды -- убегающие электроны -- напыление -- оптическое излучение -- интенсивность излучения -- рост пленок -- двухслойные модели -- поверхности -- поверхностные слои -- оптические однородности Аннотация: При напылении пленок в газовом разряде с пучком убегающих электронов впервые обнаружено аномальное поведение интенсивности отраженного от пленки на подложке зондирующего оптического излучения после выключения разряда. Интерпретация этого явления дается в рамках двухслойной модели роста пленки на подложке: в ходе напыления на поверхности пленки образуется оптически однородный поверхностный слой неизвестной природы, который полностью распадается после выключения разряда. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2014/01/p43-49.pdf Доп.точки доступа: Ковтун, А. П.; Толмачев, Г. Н. |
539.21:537 С 387 Синтез пленок оксида цинка в тлеющем разряде различной конфигурации / С. П. Зинченко [и др.]. // Письма в "Журнал технической физики". - 2014. - Т. 40, вып. 22. - С. 69-75 : ил. - Библиогр.: с. 75 (9 назв.) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел Кл.слова (ненормированные): синтез пленок -- оксид цинка -- разряды -- постоянный ток -- катоды -- температурные интервалы -- подложки -- структуры -- кристаллографическая ориентация -- азимутальная разориентация Аннотация: Синтезированы и исследованы пленки оксида цинка в тлеющем разряде постоянного тока в атмосфере кислорода при двух геометриях: с полым трубчатым и планарным катодами. При температуре подложки 670 K и давлении кислорода 0. 5 Torr пленки, синтезированные в геометрии полого катода, являются столбчатыми, а в геометрии планарного катода - сплошными. Снижение давления с 0. 5 до 0. 2 Torr в геометрии полого катода приводит к переходу от столбчатой структуры к сплошной, а в геометрии планарного катода не влияет на морфологию пленок. Синтезированные пленки имеют высокую степень кристаллографической ориентации [001][ZnO]модуль числа[001][Si] с полной азимутальной разориентацией в плоскости сопряжения с подложкой. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2014/22/p69-75.pdf Доп.точки доступа: Зинченко, С. П.; Лянгузов, Н. В.; Захарченко, И. Н.; Ратушный, В. И.; Широков, В. Б.; Южный научный центр РАН (Ростов-на-Дону); Южный федеральный университет (Ростов-на-Дону); Южный федеральный университет (Ростов-на-Дону); Волгодонский инженерно-технический институт (Волгодонск); Южный научный центр РАН (Ростов-на-Дону)Южный федеральный университет (Ростов-на-Дону); Южный федеральный университет (Ростов-на-Дону) |