Зинченко, С. П. О возможности контроля роста тонких пленок методом угловой рефлектометрии в области угла Брюстера [Текст] / С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев // Журнал технической физики. - 2009. - Т. 79, N 11. - С. 128-133. - Библиогр.: c. 133 (9 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Термодинамика твердых тел Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- рост пленок -- угловая рефлектометрия -- угол Брюстера -- Брюстера угол -- мультиферроики Аннотация: Для анализа динамики формирования слоевых структур на прозрачных подложках использовали метод угловой рефлектометрии, выгодно отличающийся высокой чувствительностью к изменению параметров пленочных структур начиная с первой стадии ее формирования. Метод основан на использовании угловой зависимости интенсивности отраженного сигнала в зоне угла Брюстера и практически не зависит от состояния технических средств измерений. Представлены результаты исследований тонких пленок мультиферроика на корундовой изотропной кристаллической подложке (скол 001). Пленки на подложке Al[2]O[3] (001) с различным временем напыления (5-600 s) были получены осаждением продуктов распыления мишени Bi[0. 95]Nd[0. 05]FeO[3] в высокочастотном тлеющем разряде в атмосфере кислорода. Доп.точки доступа: Ковтун, А. П.; Толмачев, Г. Н. |