Зинченко, С. П. О текущем контроле роста пленок цирконата-титаната свинца в камере газового разряда [Текст] / С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев // Письма в "Журнал технической физики". - 2010. - Т. 36, вып: вып. 10. - С. 66-72 : ил. - Библиогр.: с. 72 (9 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): пленки (физика) -- рост пленок -- цирконат-титанат свинца -- ЦТС -- газоразрядные камеры -- газовые разряды -- режим реального времени -- газоразрядное напыление пленок -- подложки (физика) -- нержавеющие стали -- оптическое излучение -- длины волн -- параметры кривых отражения -- мощность -- корреляция параметров -- перовскиты -- пирохлоры -- технологические параметры -- физические характеристики Аннотация: В режиме реального времени (in situ) в ходе газоразрядного напыления пленок цирконата-титаната свинца Pb (Zr[x]Ti[1-x]) O[3] (ЦТС) на подложку из нержавеющей стали обнаружена осцилляторно затухающая зависимость интенсивности зеркально отраженного от пленки на подложке оптического излучения с длиной волны 0. 640 mum. Выявлены зависимость параметров кривых отражения от вводимой в разряд мощности и корреляция этих параметров с типом получаемых пленок (со структурами типа пирохлора и перовскита). Метод позволяет уже на начальной стадии контролировать в режиме in situ технологические параметры напыления, определяющие нужные физические характеристики. Доп.точки доступа: Ковтун, А. П.; Толмачев, Г. Н. |