Максимов, С. К. Новый подход в метрологии в нанообласти [Текст] / С. К. Максимов, К. С. Максимов // Письма в "Журнал технической физики". - 2010. - Т. 36, вып: вып. 20. - С. 21-28 : ил. - Библиогр.: с. 27-28 (15 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Техника Метрология Кл.слова (ненормированные): нанообъекты -- микроскопия -- электронная микроскопия -- растровая микроскопия -- растровая электронная микроскопия -- РЭМ -- новые подходы -- нанообласти -- методы контроля -- формы нанообъектов -- размеры нанообъектов -- электронные зонды Аннотация: Даны представления о пофракционном методе контроля в нанообласти и описана ключевая стадия метода, связанная с определением формы и размеров нанообъектов по РЭМ изображениям, полученным при разных сходимостях электронного зонда. Доп.точки доступа: Максимов, К. С. |
53:51 М 317 Масловская, Анна Геннадьевна (кандидат физико-математических наук; докторант; доцент кафедры МАиМ). Применение сеточных методов решения эволюционных задач для математического моделирования индуцированной электронным зондом зарядки диэлектриков [Текст] / А. Г. Масловская, А. А. Красновид, А. В. Сивунов // Вестник Амурского государственного университета. - 2011. - Вып. 55: Сер. Естеств. и экон. науки. - С. 43-52 : рис.; табл. - Библиогр.: с. 51-52 (11 назв. ) . - ISSN 2073-0268
Рубрики: Физика Математическая физика Электричество и магнетизм в целом Кл.слова (ненормированные): эволюционные задачи -- диэлектрики -- электронные зонды -- полярные диэлектрики -- зарядка диэлектриков -- микроскопы -- растровые микроскопы -- сеточные методы решения задач -- метод Монте-Карло -- Монте-Карло метод -- математическая модель распределения зарядов Аннотация: В статье представлены результаты моделирования динамических процессов зарядки полярных диэлектриков в растровом электронном микроскопе. Реализация компьютерной модели основана на совместном численном решении уравнения непрерывности и уравнения Пуассона с учетом собственной радиационно-стимулированной проводимости облученного образца. Первоначальное распределение зарядов определено с помощью метода Монте-Карло. для решения задачи использованы метод конечных разностей и метод конечных элементов, реализуемые в ППП Matlab. Предложенная математическая модель позволяет исследовать динамику процесса зарядки, а также оценить поверхностное значение потенциала при заданных параметрах экспериментального наблюдения. Доп.точки доступа: Красновид, Анжелика Андреевна (студентка); Сивунов, Антон Валерьевич (аспирант) |
537.533/.534 У 761 Усовершенствованный метод измерения диаметра и распределения плотности тока в кроссовере электронного зонда [Текст] / Ф. А. Лукьянов [и др.] // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2011. - Т. 77, N 3. - С. 39-42. - Библиогр.: с. 42 (7 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Химия Физико-химические методы анализа Кл.слова (ненормированные): методы измерения -- измерение диаметра зонда -- распределение плотности тока -- кроссоверы -- электронные зонды -- электронно-зондовые исследования -- электронные пучки -- гауссово распределение Аннотация: Предложен прямой метод измерения размера электронного пучка и распределения электронов в сечении его кроссовера, что представляет практический интерес во многих аналитических электронно-зондовых исследованиях. Доп.точки доступа: Лукьянов, Ф. А.; Рау, Э. И.; Сеннов, Р. А.; Якимов, Е. Б.; Зайцев, С. И. |