Максимов, С. К. Новый подход в метрологии в нанообласти [Текст] / С. К. Максимов, К. С. Максимов // Письма в "Журнал технической физики". - 2010. - Т. 36, вып: вып. 20. - С. 21-28 : ил. - Библиогр.: с. 27-28 (15 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Техника Метрология Кл.слова (ненормированные): нанообъекты -- микроскопия -- электронная микроскопия -- растровая микроскопия -- растровая электронная микроскопия -- РЭМ -- новые подходы -- нанообласти -- методы контроля -- формы нанообъектов -- размеры нанообъектов -- электронные зонды Аннотация: Даны представления о пофракционном методе контроля в нанообласти и описана ключевая стадия метода, связанная с определением формы и размеров нанообъектов по РЭМ изображениям, полученным при разных сходимостях электронного зонда. Доп.точки доступа: Максимов, К. С. |