621.315.592 Е 924 Ефремов, М. Д. Вариация края поглощения света в пленках SiN[x] с кластерами кремния [Текст] / М. Д. Ефремов, В. А. Володин [и др.] // Физика и техника полупроводников. - 2008. - Т. 42, вып. 2. - С. 202-207 . - ISSN 0015-3222
Рубрики: Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): кремниевые нанокристаллы -- кластеры кремния -- плазмохимическое осаждение -- край поглощения света -- оптические константы -- нитрид кремния -- пленки (физика) -- метод эллипсометрических углов Аннотация: С помощью оптических методов исследования получены данные об оптических константах пленок нитрида кремния, синтезированных методом плазмохимического осаждения. Рассмотрены модели расчета диэлектрической проницаемости в концепции неоднородной смеси фаз кремния и нитрида кремния. Обнаружено, что край поглощения света (E[g]) и максимум пика фотолюминесценции сдвигаются в красную область спектра с уменьшением атомной доли азота в пленках SiN[x]. При приближении x к значению 4/3, характерному для стехиометрического нитрида кремния Si[3]N[4], наблюдается нелинейное, резкое увеличение E[g]. Методом комбинационного рассеяния света обнаружено наличие связей Si-Si, что подтверждает формирование кластеров кремния непосредственно в процессе осаждения пленок. Установлена взаимосвязь состава нестехиометричных пленок нитрида кремния, значений диэлектрической проницаемости и ширины оптической зоны пропускания света. Доп.точки доступа: Володин, В. А.; Марин, Д. В.; Аржанникова, С. А.; Камаев, Г. Н.; Кочубей, С. А.; Попов, А. А. |
539.2 Л 248 Лапшин, К. Э. Формирование наноструктур на поверхности нитрида кремния под воздействием излучения F[2]-лазера [Текст] / К. Э. Лапшин, А. З. Обидин [и др.] // Физика и химия обработки материалов. - 2008. - N 1. - С. 43-49 . - ISSN 0015-3214
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): наноструктуры -- нитрид кремния -- нанорельефы -- импульсы -- твердые тела -- наносекундные импульсы -- мощные наносекундные импульсы -- лазерное излучение -- наноструктурирование поверхностей Аннотация: Показано, что многократное облучение поверхности нитрида кремния мощными наносекундными импульсами F[2]-лазера приводит к ее оплавлению и формированию нанорельефа. Доп.точки доступа: Обидин, А. З.; Токарев, В. Н.; Хомич, В. Ю.; Шмаков, В. А.; Ямщиков, В. А. |
Атамуратов, А. Э. Детектирование заряда встроенного в оксидном слое МОП-транзистора, боковым С-V-измерением [Текст] / Атамуратов А. Э., Матрасулов Д. У., Хабибуллаев П. К. // Доклады Академии наук. - 2007. - Т. 414, N 6. - С. 761-764. - Библиогр.: с. 764 (9 назв. ) . - ISSN 0869-5652
Рубрики: Техника Техническая физика Кл.слова (ненормированные): нитрид кремния -- детектирование -- локализованные заряды -- область пространственного заряда -- полупроводники Аннотация: Изучается возможность детектирования локального заряда в SiO[2]-слое МОП-транзистора простым C-V-измерением перехода исток-подложка. Доп.точки доступа: Матрасулов, Д. У.; Хабибуллаев, П. К. |
Чухломина, Л. Н. Закономерности синтеза нитрида кремния горением сплава железо-кремний в азоте [Текст] / Л. Н. Чухломина // Журнал прикладной химии. - 2007. - Т. 80, вып: вып. 11. - С. 1768-1772. - Библиогр.: с. 1772 (7 назв. ) . - ISSN 0044-4618
Рубрики: Химия Неорганическая химия Кл.слова (ненормированные): азот -- кинетические характеристики -- кислотное обогащение -- кремний -- кристаллические модификации -- нитрид кремния -- печной синтез -- плазмохимический синтез -- самораспространяющийся высокотемпературный синтез -- сплавы с железом -- степень азотирования -- ферросилиций -- эксплуатационные свойства Аннотация: Исследован процесс синтеза нитрида кремния при взаимодействии сплава Fe-Si с газообразным азотом в режиме самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. |
Нанесенные серебросодержащие системы на основе нитрида кремния [Текст] / И. А. Курзина [и др. ] // Журнал прикладной химии. - 2009. - Т. 82, вып: вып. 3. - С. 365-373. - Библиогр.: c. 373 (16 назв. ) . - ISSN 0044-4618
Рубрики: Химия Химические элементы и их соединения Кл.слова (ненормированные): активные компоненты -- гистограммы -- метод СВС синтеза -- нитрид кремния -- носители для катализаторов -- палладиевые катализаторы -- РЭМ -- серебросодержащие системы -- физико-химические свойства -- хлорид калия Аннотация: Исследованы особенности структуры, морфологии и фазового состава, а также каталитические свойства серебросодержащих систем. Доп.точки доступа: Курзина, И. А.; Чухломина, Л. Н.; Горленко, М. Н.; Водянкина, О. В. |
Глазов, А. Л. О возможности детектирования приповерхностных технологических напряжений в керамике методом фотоакустической микроскопии [Текст] / А. Л. Глазов, К. Л. Муратиков // Журнал технической физики. - 2009. - Т. 79, N 3. - С. 105-109. - Библиогр.: c. 108-109 (18 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Механические и акустические свойства монокристаллов Кл.слова (ненормированные): фотоакустическая микроскопия -- керамика -- технологические напряжения -- приповерхностные технологические напряжения -- нитрид кремния -- индентирование по Виккерсу Аннотация: Экспериментально исследовано влияние приповерхностных технологических напряжений на фотоакустические изображения мест индентации по Виккерсу в керамике нитрида кремния. Продемонстрировано влияние напряжений, вводимых в керамику в процессе шлифовки и полировки ее поверхностей, на поведение фотоакустических сигналов вблизи концов приповерхностных трещин. Показано, что данные фотоакустической микроскопии, полученные вблизи концов трещин в керамике, индентированных по Виккерсу, позволяют оценить величину присутствующих в них технологических напряжений. Доп.точки доступа: Муратиков, К. Л. |
Электронный парамагнитный резонанс и фотолюминесценция в пиролитических пленках нитрида кремния при ионном облучении аргоном и молекулярным азотом [Текст] / Е. С. Демидов [и др. ] // Физика и техника полупроводников. - 2009. - Т. 43, вып: вып. 7. - С. 961-965 : ил. - Библиогр.: с. 965 (14 назв. ) . - ISSN 0015-3222
Рубрики: Энергетика Проводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): электронный парамагнитный резонанс -- ЭПР -- фотолюминесценция -- ФЛ -- нитрид кремния -- ионное облучение -- облучение ионами -- пиролитические пленки -- молекулярный азот -- аргон -- ионы аргона -- азот -- ионы азота -- электронные переходы -- отжиг -- температура отжига Аннотация: При 293 K исследовались фотолюминесценция и электронный парамагнитный резонанс пиролитических пленок нитрида кремния, облученных ионами аргона или молекулярными ионами азота и отожженных при температурах 500-1100{o}C. Спектр поглощения свидетельствует о том, что широкая полоса фотолюминесценции в области 400-600 нм связана с электронными переходами между хвостами зон. Облучение ионами аргона с малыми дозами незначительно понижает интенсивность фотолюминесценции, а с большими дозами может после отжигов при 800-900{o}C усиливать ее более чем в 2 раза. Вместе с тем облучение ионами азота приводит к значительному, более чем на порядок, уменьшению интегральной интенсивности фотолюминесценции. Наблюдалась корреляция изменения интенсивности фотолюминесценции и амплитуды спектров электронного парамагнитного резонанса при отжигах пленок нитрида кремния. Доп.точки доступа: Демидов, Е. С.; Добычин, Н. А.; Карзанов, В. В.; Марычев, М. О.; Сдобняков, В. В. |
Курзина, И. А. Закономерности формирования металлических наночастиц, нанесенных на нитрид кремния [Текст] / И. А. Курзина // Журнал прикладной химии. - 2010. - Т. 83, вып: вып. 5. - С. 705-717. - Библиогр.: c. 716-717 (27 назв. ) . - ISSN 0044-4618
Рубрики: Химическая технология Технология неорганических веществ Кл.слова (ненормированные): высокотемпературные процессы -- катализаторы -- наночастицы металлов -- нитрид кремния -- оксидные носители -- палладий -- платина -- серебро Аннотация: Выявлены общность и различия в процессе формирования наночастиц металлов на поверхности нитрида кремния. |
Особенности формирования серебряных наночастиц на поверхности нитрида кремния [Текст] / А. С. Блохина [и др. ] // Журнал прикладной химии. - 2010. - Т. 83, вып: вып. 10. - С. 1585-1590. - Библиогр.: c. 1590 (9 назв. ) . - ISSN 0044-4618
Рубрики: Химическая технология Катализаторы Кл.слова (ненормированные): глиоксаль -- железо -- метод самораспространяющегося высокотемпературного синтеза -- нитрид кремния -- СВС -- серебряные катализаторы -- серебряные наночастицы -- этиленгликоль Аннотация: Исследованы особенности формирования частиц серебросодержащей фазы катализатора на поверхности нитрида кремния в зависимости от способа нанесения активного компонента. Доп.точки доступа: Блохина, А. С.; Курзина, И. А.; Чухломина, Л. Н.; Водянкина, О. В. |
Электронная структура нитрида кремния по данным ab initio квантово-химических расчетов и эксперимента [Текст] / С. С. Некрашевич [и др. ] // Журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2010. - Т. 138, вып: вып. 4. - С. 745-753. - Библиогр.: с. 752-753 . - ISSN 0044-4510
Рубрики: Физика Теоретическая физика Кл.слова (ненормированные): нитрид кремния -- кремний -- электронная структура -- квантово-химические расчеты -- эксперименты -- данные ab initio -- ab initio Аннотация: Изучена электронная структура нитрида кремния по данным ab initio квантово-химических расчетов и эксперимента. Доп.точки доступа: Некрашевич, С. С.; Гриценко, В. А.; Клаузер, Р.; Гво, С. |
Применение ионных пучков для исследования углерод-керамического композита [Текст] / В. С. Авилкина [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2010. - N 6. - С. 10-14 . - ISSN 0015-3214
Рубрики: Технология металлов Общая технология металлов Кл.слова (ненормированные): углерод-керамические композиты -- микроструктура композитов -- высокодозовое ионное облучение -- ионно-электронная эмиссия -- карбид кремния -- нитрид кремния -- распыление композитов -- имплантация композитов Аннотация: Методами оптической и растровой электронной микроскопии и энергодисперсионного анализа изучено ионно-лучевое травление поверхности углерод-керамического композита при бомбардировке ионами Ar и изменение состава поверхностного слоя при имплантации атомарными и молекулярными ионами азота. Показано, что имплантированный азот внедряется, в основном, в кремнийсодержащие структурные составляющие композита, а его концентрация в модифицированном слое может достигать 50 ат. %. Ионное распыление является эффективным методом травления поверхности композита для анализа микроструктуры. Доп.точки доступа: Авилкина, В. С.; Андрианова, Н. Н.; Борисов, А. М.; Виргильев, Ю. С.; Куликаускас, В. С.; Машкова, Е. С.; Тимофеев, М. А. |
541.6 М 597 Микроструктура и свойства керамики из нитрида кремния с добавками алюминатов кальция [Текст] / Ю. Ф. Каргин [и др.] // Неорганические материалы. - 2010. - Т. 46, N 7. - С. 892-896 : Рис. 5. - Библиогр.: с. 896 (8 назв. ) . - ISSN 0002-337Х
Рубрики: Химия Химия высокомолекулярных соединений Химические элементы и их соединения Кл.слова (ненормированные): керамика -- керамические материалы -- нитрид кремния -- кальций -- алюминат кальция -- горячее прессование -- окисление Аннотация: Керамика на основе нитрида кремния со спекающими добавками алюминатов кальция получена методом горячего прессования при 1650оС в среде азота. Изучено влияние содержания добавки на микроструктуру, фазовый состав, механическую прочность и устойчивость к окислению на воздухе образцов керамики. Показано, что керамика Si[3]N[4], содержащая 10 мас. % алюминатов кальция, характеризуется однородным распределением межзеренных оксидных фаз сложного состава и плотным срастанием кристаллов нитрида кремния, что определяет максимальную механическую прочность (850 МПа) и устойчивость к окислению на воздухе до 1300оС. Доп.точки доступа: Каргин, Ю. Ф.; Лысенков, А. С.; Ивичева, С. Н.; Захаров, А. И.; Попова, Н. А.; Солнцев, К. А. |
546 М 597 Микроструктура и свойства керамики Si[3]N[4] с добавками алюминатов кальция и нитевидных кристаллов SiC [Текст] / С. Н. Ивичева [и др.] // Неорганические материалы. - 2010. - Т. 46, N 9. - С. 1052-1058 : 6 рис. - Библиогр.: с. 1057-1058 (18 назв. ) . - ISSN 0002-337Х
Рубрики: Химия Химические элементы и их соединения Кл.слова (ненормированные): керамика -- кристаллы -- SiC -- нитевидные кристаллы -- нитрид кремния -- алюминаты кальция -- кальций -- армирование Аннотация: Керамика на основе нитрида кремния со спекающими добавками в системы Al[2]O[3]CaO и нитевидных кристаллов карбида кремния получена методом горячего прессования при 1650 С в среде азота. Изучены микроструктура, фазовый состав, механические свойства армированной керамики. Показано, что керамика Si[3]N[4], содержащая 15 мас. % алюминатов кальция и 10 масс. % волокон SiC, представляет собой плотно спеченную керамику с равномерным распределением кристаллов карбида кремния скелетного и дендритного типа, изменение морфологии которых связано с вторичной кристаллизацией карбида кремния из эвтектического расплава алюминатов кальция на стадии охлаждения. Доп.точки доступа: Ивичева, С. Н.; Каргин, Ю. Ф.; Лысенков, А. С.; Баранова, О. В. |
538.9 Н 482 Некрашевич, С. С. Изучение атомной и электронной структуры аморфного нитрида кремния и дефектов в нем [Текст] / С. С. Некрашевич, А. В. Шапошников, В. А. Гриценко // Письма в журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2011. - Т. 94, вып. 3. - С. 220-223
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): нитрид кремния -- аморфный нитрид кремния -- молекулярная динамика Кар-Паринелло -- Кар-Паринелло молекулярная динамика Аннотация: С помощью молекулярной динамики Кар-Паринелло методом охлаждения из расплава смоделирована структура аморфного нитрида кремния. Выявлено несколько типов координации дефектов Si-Si. Обнаружено, что помимо "обычных" Si-Si-связей, в аморфной структуре присутствует значительное количество двойных Si-Si связей (Si-Si-Si дефектов). Доп.точки доступа: Шапошников, А. В.; Гриценко, В. А. |
538.95-405:539.12.04 И 755 Ионные треки в аморфном нитриде кремния [Текст] / Л. А. Власукова [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 2. - С. 226-228. - Библиогр.: c. 228 (14 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Геология Минералогия Кл.слова (ненормированные): аморфный нитрид кремния -- атомно-силовая спектроскопия -- ионные треки -- модель термического пика -- нитрид кремния -- режим электронных потерь -- сканирующая электронная микроскопия -- температура плавления -- температурные поля -- травление треков -- электронные потери Аннотация: Исследована морфология треков быстрых ионов, выявленных в аморфном нитриде кремния после обработки в растворе HF. Структуры Si[3]N[4]/Si облучались ионами Fe, Kr, W в режиме электронных потерь. Прерывистые треки выявлены только при облучении W с максимальными для условий нашего эксперимента электронными потерями (20. 4 кэВ х нм[-1]). Представлены результаты расчета трекообразования в Si3N4 на базе модели термического пика. Доп.точки доступа: Власукова, Л. А.; Комаров, Ф. Ф.; Ювченко, В. Н.; Скуратов, В. А.; Дидык, А. Ю.; Плякин, Д. В. |
544.55 С 302 Семенова, О. И. Осаждение пленок SiN[x]:H в плазме BЧ-разряда / О. И. Семенова, авт. С. Ф. Девятова // Неорганические материалы. - 2012. - Т. 48, № 8. - С. 921-926 : 9 рис. - Библиогр.: с. 925-926 (15 назв. ) . - ISSN 0002-337Х
Рубрики: Химия Химия плазмы Химия высокомолекулярных соединений Кл.слова (ненормированные): метод химического осаждения -- нитрид кремния -- фотоприемники -- синтез -- осаждение пленок -- высокочастотный разряд Аннотация: Методом стимулированного плазмой химического осаждения из газовой фазы в интервале температур 100–200°С синтезированы пленки гидрированного нитрида кремния. Изучены особенности кинетики роста, состав и свойства слоев в зависимости от параметров процесса осаждения. Описаны примеры использования пленок в создании неохлаждаемых фотоприемников ИК-диапазона, антиотражающих покрытий для солнечных элементов, а также при создании трехмерных микрообъектов. Доп.точки доступа: Девятова, С. Ф. |
539.2 Н 329 Насыров, К. А. Механизмы переноса электронов и дырок в диэлектрических пленках / К. А. Насыров, авт. В. А. Гриценко // Успехи физических наук. - 2013. - Т. 183, № 10. - С. 1099-1114 : 20 рис. - Библиогр.: с. 1113-1114 (80 назв.) . - ISSN 0042-1294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Физика полупроводников и диэлектриков Кл.слова (ненормированные): аморфные диэлектрики -- диэлектрические пленки -- кремниевые приборы -- ловушки -- модель Френкеля -- нитрид кремния -- оксид алюминия -- Френкеля модель -- электроны Аннотация: Представлен обзор механизмов транспорта электронов и дырок в основных аморфных диэлектриках кремниевых приборов: оксиде и нитриде кремния, оксиде алюминия. Доп.точки доступа: Гриценко, В. А.; Институт автоматики и телеметрии СО РАН (Новосибирск (Россия)Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН (Новосибирск (Россия) |
539.21:537 Э 949 Эффект переключения проводимости в МДП структурах с диэлектриками на базе кремния, полученными методом низкочастотного плазмохимического осаждения / А. Е. Бердников [и др.] // Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47, вып. 5. - С. 626-632 : ил. - Библиогр.: с. 631-632 (12 назв.) . - ISSN 0015-3222
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел Кл.слова (ненормированные): проводимость -- МДП-структуры -- диэлектрики -- кремний -- плазмохимическое осаждение -- вольт-амперные характеристики -- оксид кремния -- биполярные переключения -- многослойные диэлектрики -- нитрид кремния -- нанометровые слои Аннотация: Исследованы вольт-амперные характеристики МДП структур с диэлектриками на базе оксида кремния, полученных низкочастотным (55 кГц) плазмохимическим осаждением. Особенностью используемых диэлектриков были включения частиц других материалов с меньшей шириной запрещенной зоны. Установлено, что такие структуры обладают свойством биполярного переключения проводимости. Наилучшими характеристиками эффекта переключения проводимости обладали МДП структуры с многослойным диэлектриком, содержащим дополнительные слои нитрида кремния нанометровой толщины. Voltage-current characteristic of MIS structures with dielectrics on base of silicon oxide are investigated. MIS structures are prepared by low frequency (55 kHz) plasma chemical vapor deposition. The original feature of used dielectrics is inclusion of particles of other materials with smaller band gap. It was established that such structures possess property of bipolar switching conductivity. MIS structures with the multilayered dielectric containing additional layers of silicon nitride of nanometer thickness have the best characteristics of conductivity switch in effect. Перейти: http://journals.ioffe.ru/ftp/2013/05/p626-632.pdf Доп.точки доступа: Бердников, А. Е.; Гусев, В. Н.; Мироненко, А. А.; Попов, А. А.; Перминов, А. В.; Рудый, А. С.; Черномордик, В. Д. |
546 С 873 Структурно-фазовые и морфологические особенности серебряных катализаторов селективного окисления спиртов, нанесенных на модифицированные носители / А. С. Блохина [и др.] // Журнал физической химии. - 2013. - Т. 87, № 3. - С. 396-402. - Библиогр.: c. 402 (22 назв. ) . - ISSN 0044-4537
Рубрики: Химия Общая и неорганическая химия в целом Кл.слова (ненормированные): нитрид кремния -- окисление -- самораспространяющийся высокотемпературный синтез -- серебро Аннотация: Исследованы новые керамические материалы на основе нитрида кремния, полученные методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Si[3]N[4]-материалы, модифицированные соединениями Zr и Al, использованы в качестве носителей для серебросодержащих катализаторов селективного окисления этиленгликоля в глиоксаль. Установлено влияние способа синтеза нанесенных серебросодержащих катализаторов на структурное и морфологическое состояние активного компонента до и после каталитической реакции. Доп.точки доступа: Блохина, А. С.; Курзина, И. А.; Чухломина, Л. Н.; Витушкина, О. Г.; Смирнов, А. И.; Батаев, И. А.; Веселов, С. В.; Водянкина, О. В. |
533.9 А 465 Александров, С. Е. Закономерности процесса плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния в установках с удаленной плазмой / С. Е. Александров // Российский Химический Журнал (ЖРХО им. Д. И. Менделеева). - 2013. - Т. 57, № 3/4. - С. 31-43. - Библиогр.: с. 43 (28 назв.) . - ISSN 0373-0247
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): плазмохимический синтез -- пленки -- процессы осаждения -- газы -- плазма -- методы плазмохимического осаждения -- нитрид кремния -- кремний -- физика плазмы -- нитриды -- осаждение пленок -- синтез Аннотация: Изучается процесс осаждения пленок на примере нитрида кремния. Доп.точки доступа: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет |