539.2 П 16 Панин, А. В. Исследование механических свойств тонких пленок Ag на кремниевой подложке методом наноиндентирования [Текст] / А. В. Панин, А. Р. Шугуров, К. В. Оскомов // Физика твердого тела. - 2005. - Т. 47, N 11. - С. 1973-1977. - Библиогр.: с. 1977 (18 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): АСМ-изображения; атомно-силовые микроскопы; индентирование; инденторы; кремниевые подложки; метод Оливера-Фарра; наноиндентирование; Оливера-Фарра метод; пленки; размер зерен; твердость пленок; тонкие пленки Аннотация: Исследованы механические свойства тонких пленок Ag одинаковой толщины с различным размером зерен. Твердость пленок определялась с использованием методов Оливера-Фарра, из определения работы индентирования, а также путем непосредственного измерения площади отпечатка индентора по АСМ-изображениям. Доп.точки доступа: Шугуров, А. Р.; Оскомов, К. В. |
539.2 Ш 952 Шугуров, А. Р. Особенности определения механических характеристик тонких пленок методом наноиндентирования [Текст] / А. Р. Шугуров, А. В. Панин, К. В. Оскомов // Физика твердого тела. - 2008. - Т. 50, вып. 6. - С. 1007-1012. - Библиогр.: с. 1012 (20 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- метод наноиндентирования -- твердость тонких пленок -- модуль упругости тонких пленок -- метод Оливера-Фарра -- Оливера-Фарра метод Аннотация: Исследованы твердость и модуль упругости тонких пленок Cu на подложках Si, Ti, Cu и Al. Показано, что применение метода Оливера-Фарра в сочетании с методикой определения истинной твердости позволяет однозначно определить твердость тонких пленок Cu при различных соотношениях твердости пленки и подложки. Установлено, что корректное измерение модуля упругости тонких пленок методом Оливера-Фарра возможно, лишь когда пленка и подложка обладают одинаковыми упругими свойствами. Для определения модуля упругости пленок с помощью параметра P/S{2} необходимо, чтобы пленка и подложка имели близкие значения как твердости, так и модуля упругости. Доп.точки доступа: Панин, А. В.; Оскомов, К. В. |
Роль распределения напряжений на границе раздела пленка- (барьерный подслой) в формировании силицидов меди [Текст] / А. В. Панин [и др. ] // Физика и техника полупроводников. - 2010. - Т. 44, вып: вып. 1. - С. 118-125 : ил. - Библиогр.: с. 124 (17 назв. ) . - ISSN 0015-3222
Рубрики: Энергетика Проводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): медь -- силициды меди -- тонкие пленки -- Cu -- отжиг -- термический отжиг -- термоотжиг -- напряжения -- распределение напряжений -- температура -- границы раздела пленок -- барьерный подслой -- кристаллографическая ориентация -- подложки -- кристаллиты -- Cu[3]Si -- атомно-силовая микроскопия -- АСМ -- растровая электронная микроскопия -- РЭМ -- рентгеновская дифракция -- энергодисперсионный анализ -- коэффициент термического расширения -- КТР -- дефекты упаковки -- экспериментальные исследования Аннотация: Методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, а также энергодисперсионного микроанализа исследован процесс образования силицидов в тонких пленках Cu при термическом отжиге. Показано, что периодическое распределение напряжений, возникающее при повышенных температурах на границе раздела пленка- (барьерный подслой), может определять характер формирования силицидов меди. Исследовано влияние материала барьерного подслоя и кристаллографической ориентации подложки на плотность распределения и форму кристаллитов Cu[3]Si. Доп.точки доступа: Панин, А. В.; Шугуров, А. Р.; Ивонин, И. В.; Шестериков, Е. В. |
Шугуров, А. Р. Исследование упругой деформации пленок Ti при знакопеременном изгибе [Текст] / А. Р. Шугуров, А. В. Панин, М. С. Казаченок // Журнал технической физики. - 2010. - Т. 80, N 11. - С. 35-40. - Библиогр.: c. 39-40 (19 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Механические и акустические свойства монокристаллов Кл.слова (ненормированные): титан -- упругая деформация -- знакопеременный изгиб -- когерентная деформация -- гофрирование пленок -- границы раздела -- усталостные испытания -- коробление пленок -- напряженно-деформированные состояния -- дефекты -- отслоение пленок Аннотация: Изучено влияние напряженно-деформированного состояния на границе раздела пленка-подложка на процессы упругой деформации пленок Ti при знакопеременном изгибе. Показано, что податливость подложки Al обусловливает когерентную деформацию системы пленка-подложка, приводя к гофрированию пленки Ti и возникновению волнистой границы раздела пленка-подложка. В процессе усталостных испытаний вдоль границы раздела формируется периодическое распределение нормальных и касательных напряжений, вызывающее периодическое коробление пленок. Коробление пленок Ti на подложке Ti происходит случайным образом на участках локального отслоения пленок и обусловлено накоплением дефектов на границе раздела. Доп.точки доступа: Панин, А. В.; Казаченок, М. С. |
539.21:534 В 586 Влияние наноструктурирования подложки Cu на разрушение теплозащитных покрытий Si-Al-N при одноосном растяжении [Текст] / А. В. Панин [и др.] // Журнал технической физики. - 2012. - Т. 82, № 6. - С. 44-52. - Библиогр.: c. 51-52 (18 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Механические и акустические свойства монокристаллов Кл.слова (ненормированные): медь -- нитриды кремния-алюминия -- наноструктурирование -- адгезионная прочность -- одноосное растяжение -- теплозащитные покрытия -- разрушение материалов -- ионная бомбардировка -- ультразвуковая ударная обработка -- механическое нагружение -- скалывание покрытий -- сдвиговая прочность -- границы раздела Аннотация: Исследовано влияние наноструктурирования поверхностных слоев подложки Cu на микроструктуру, механические свойства и механизмы разрушения теплозащитных покрытий Si-Al-N при одноосном растяжении. Наноструктурирование подложки проведено двумя методами: бомбардировкой пучками ионов Zr{+} и ультразвуковой ударной обработкой. Установлено, что в зависимости от состояния подложки в процессе механического нагружения действуют различные механизмы скалывания покрытий Si-Al-N. Показано, что наиболее высокая сдвиговая прочность границы раздела покрытие-подложка достигается в результате ионной обработки подложки. Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2012/06/p44-52.pdf Доп.точки доступа: Панин, А. В.; Шугуров, А. Р.; Казаченок, М. С.; Сергеев, В. П. |
539.21:534 Ш 952 Шугуров, А. Р. Исследование гальванических покрытий AuNi и AuCo методом склерометрии [Текст] / А. Р. Шугуров, А. В. Панин, Е. В. Шестериков // Письма в "Журнал технической физики". - 2011. - Т. 37, вып. 5. - С. 64-71 : ил. - Библиогр.: с. 71 (6 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Механические и акустические свойства монокристаллов Кл.слова (ненормированные): гальванические покрытия -- исследование покрытий -- AuNi -- AuCo -- методы склерометрии -- методы микроскопии -- атомно-силовая микроскопия -- механизмы износа -- сравнительный анализ -- износостойкость -- абразивный износ -- металлические покрытия -- агломераты зерен -- рельеф поверхности -- формирование агломератов -- малые нагрузки -- царапание -- гладкие поверхности -- упругие энергии -- диссипация энергии -- контактные взаимодействия -- иденторы Аннотация: Методами склерометрии и атомно-силовой микроскопии исследованы механизмы износа гальванических покрытий AuNi и AuCo. Показано, что царапание при малых нагрузках может использоваться для сравнительного анализа износостойкости при абразивном износе металлических покрытий. Установлено, что развитый рельеф поверхности, обусловленный формированием агломератов зерен, обеспечивает более высокую износостойкость покрытий AuCo по сравнению с гладкой поверхностью покрытий AuNi за счет диссипации упругой энергии контактного взаимодействия индентора с поверхностью образца. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2011/05/p64-71.pdf Доп.точки доступа: Панин, А. В.; Шестериков, Е. В. |
539.21:534 Ш 952 Шугуров, А. Р. Вязкоупругое гофрирование системы металлическая пленка-полимерный подслой под действием сжимающих напряжений [Текст] / А. Р. Шугуров, А. И. Козельская, А. В. Панин // Письма в "Журнал технической физики". - 2011. - Т. 37, вып. 19. - С. 16-22 : ил. - Библиогр.: с. 22 (5 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Механические и акустические свойства монокристаллов Кл.слова (ненормированные): металлические пленки -- полимерные подслои -- система металлическая пленка-полимерный подслой -- вязкоупругое гофрирование -- сжимающие напряжения -- тонкие пленки -- подложки -- алюминий -- Al -- кремний -- Si -- закономерности гофрирования -- исследования -- атомно-силовая микроскопия -- метод атомно-силовой микроскопии -- полистирол -- термические воздействия -- амплитуды -- длины волн -- температуры -- складки гофра -- процессы отжига -- касательные напряжения -- нормальные напряжения -- границы раздела Аннотация: Методом атомно-силовой микроскопии исследованы закономерности гофрирования тонких пленок Al на подложке Si с подслоем полистирола при термическом воздействии. Измерение амплитуды и длины волны складок позволило выявить стадийность процесса гофрирования при различных температурах. Показано, что эволюция складок гофра в процессе отжига регулируется периодическим распределением нормальных и касательных напряжений вдоль границы раздела пленка-подслой. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2011/19/p16-22.pdf Доп.точки доступа: Козельская, А. И.; Панин, А. В. |
539.21:534 Ф 826 Фрактальный анализ эволюции поверхности трения гальванических покрытий AuNi [Текст] / А. Р. Шугуров [и др.] // Письма в "Журнал технической физики". - 2012. - Т. 38, вып. 10. - С. 70-78 : ил. - Библиогр.: с. 77-78 (10 назв.) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Механические и акустические свойства монокристаллов Кл.слова (ненормированные): гальванические покрытия -- сухое трение -- морфология поверхности -- эволюция поверхности -- фрактальный анализ -- трибологические испытания -- исследования -- атомно-силовая микроскопия -- метод атомно-силовой микроскопии -- AuNi Аннотация: Методом атомно-силовой микроскопии исследовано изменение морфологии поверхности гальванических покрытий AuNi при трибологических испытаниях в условиях сухого трения. Показано, что фрактальный анализ позволяет численно охарактеризовать эволюцию рельефа поверхности трения покрытий на различных стадиях испытаний. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2012/10/p70-78.pdf Доп.точки доступа: Шугуров, А. Р.; Панин, А. В.; Лязгин, А. О.; Шестериков, Е. В. |