Грицюк, Б. Н.     Получение тонких пленок полупроводниковых соединений с применением капиллярных испарителей [Текст] / Б. Н. Грицюк, А. А. Ляхов, С. В. Мельничук, В. Н. Стребежев // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N9. - Библиогр.: с.57 (14 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- полупроводники -- капиллярные испарители -- термические испарители -- рост пленок Аннотация: Представлены экспериментальные результаты распределения толщины пленки разлагающихся полупроводниковых соединений, полученных с использованием капиллярных испарителей. В приближении вязкого потока получено выражение, описывающее толщину пленки на поверхности подложки в зависимости от расстояния от края капилляра до площадки осаждения и угла между осью капилляра и направлением осаждения Доп.точки доступа: Ляхов, А.А.; Мельничук, С.В.; Стребежев, В.Н.