537.311.322 Д 138 Давыдов, В. Н. Генерационная активность и структурные дефекты приповерхностного слоя кремния [Текст] / В. Н. Давыдов, С. В. Беляев [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2003. - Т. 46, N 11. - Библиогр.: 17 назв. . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- кремний -- аномальная генерация -- дефектоскопия -- диэлектрики Аннотация: Методом релаксации неравновесной емкости в сочетании с металлографическим методом исследуется взаимосвязь между образованием областей аномальной генерации в МОП-структурах из кремния и структурными нарушениями решетки его приповерхностного слоя. Выяснено, что в зависимости от продолжительности окисления возможно образование указанных областей с широким диапазоном значений их поверхностной концентрации и времени генерации носителей заряда, Наложением картин селективного травления и распределения времени генерации выбранного участка пластины установлено, что за образование областей аномальной генерации ответственны структурные нарушения, выявляемые травителем Сиртла в виде куполообразных фигур. Доп.точки доступа: Беляев, С. В.; Попов, В. В.; Рыбченков, А. А.; Мосейчук, А. Г. |