22.37 Н 899 Нуприенок, И. С. Влияние лазерного облучения с h*nu =1.96 eV на свойства контакта титан-кремний при термическом отжиге в азоте [Текст] / И. С. Нуприенок, А. Н. Шибко // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N2. - Библиогр.: с.128 (13 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): выпрямляющие контакты -- лазерное облучение -- термический отжиг -- титан-кремний Аннотация: Исследовано влияние лазерного облучения с h*nu=1.96 eV (lambda=0.63 mum) на контакт титан-кремний при стационарном термическом отжиге в азоте. Установлено, что происходящее при такой обработке изменение фазового состава контакта обусловливает изменение его электрофизических параметров. Использование лазерного облучения позволяет формировать выпрямляющий контакт титан-кремний с необходимыми, заранее определенными электрофизическими параметрами Доп.точки доступа: Шибко, А.Н. |
Нуприенок, И. С. Влияние длины волны ультрафиолетового облучения на свойства контакта цирконий-кремний [Текст] / И. С. Нуприенок, А. Н. Шибко // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N9. - Библиогр.: с.48 (6 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): цирконий -- кремний -- облучение -- ультрафиолет -- термообработка -- выпрямляющие контакты Аннотация: Исследовано влияние ультрафиолетового облучения при термической обработке на контакт цирконий-кремний. Определено, что изменение фазового состава контакта обусловливает изменение электрофизических параметров. Применение комбинированной обработки позволяет формировать выпрямляющий контакт цирконий-кремний с определенными, заранее заданными электрофизическими параметрами Доп.точки доступа: Шибко, А.Н. |