535.338.43.533.59 И 264 Игнатенко, П. И. Дифрактометрические исследования влияния условий получения алмазных пленок на монокристалл кремния [Текст] / П. И. Игнатенко, И. В. Сельская // Известия вузов. Физика. - 2002. - Т.45,N2. - Библиогр.: с. 79 (8 назв.) . - ISSN 0021-3411
Кл.слова (ненормированные): алмазные пленки -- дифрактометрия -- кремниевые подложки -- рост пленок -- синтез пленок Аннотация: Дифрактометрическим методом исследовано влияние параметров синтеза на рост алмазных пленок. При концентрации метана 2 и 4%, температурах подложек 1073, 1173, 1273 К с повышением давления, от5 до 22 кПа, увеличивается скорость роста алмазной пленки. Максимальная скорость роста (1,2 нм/с) имеет место при давлении 21,3 кПа, температуре подложки 1173 К и концентрации метана 4%. При этом, ка правило, растут текстурированные алмазные пленки с текстурой <110> либо <311>, либо с двойной текстурой <110>+<311> Перейти: http://www.tsu.ru/ru/derision/physics Доп.точки доступа: Сельская, И.В. |