537 В 275 Велихов, Е. П. Наноэлектронные приборы и технологические процессы [Текст] / Е. П. Велихов // Вестник Российской академии наук. - 2003. - Т.73,N5. - Библиогр.:14 назв. . - ISSN 0869-5873
Рубрики: Радиоэлектроника--Электричество и магнетизм--Электроника Кл.слова (ненормированные): ИМПРИНТ -- кристаллы -- литография -- нанообъекты -- наноэлектронные приборы -- технологические процессы Аннотация: Важнейший процесс в микро- и наноэлектронных процессах - литография.Наряду с оптической литографией получили развитие методы,с помощью которых уже теперь формируются отдельные наноструктуры и прототипы устройств на наноэлектронных приборах - ИМПРИНТ и электронная литография. |