537 В 275 Велихов, Е. П. Наноэлектронные приборы и технологические процессы [Текст] / Е. П. Велихов // Вестник Российской академии наук. - 2003. - Т.73,N5. - Библиогр.:14 назв. . - ISSN 0869-5873
Рубрики: Радиоэлектроника--Электричество и магнетизм--Электроника Кл.слова (ненормированные): ИМПРИНТ -- кристаллы -- литография -- нанообъекты -- наноэлектронные приборы -- технологические процессы Аннотация: Важнейший процесс в микро- и наноэлектронных процессах - литография.Наряду с оптической литографией получили развитие методы,с помощью которых уже теперь формируются отдельные наноструктуры и прототипы устройств на наноэлектронных приборах - ИМПРИНТ и электронная литография. |
539.21:537 И 883 Использование графена в вакуумной микро- и наноэлектронике / Э. А. Ильичев [и др.] // Письма в "Журнал технической физики". - 2013. - Т. 39, вып. 18. - С. 25-31 : ил. - Библиогр.: с. 31 (5 назв.) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел Кл.слова (ненормированные): графен -- вакуумная электроника -- наноэлектронные приборы -- проводимость электродов -- полевая эмиссия -- электроды Аннотация: Исследуется использование графена в качестве электрода, стимулирующего полевую эмиссию в вакуумных микро- и наноэлектронных устройствах. Такое применение графена становится возможным вследствие его высокой проводимости, прочности и прозрачности для электронов, падающих нормально к поверхности. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2013/18/p25-31.pdf Доп.точки доступа: Ильичев, Э. А.; Кулешов, А. Е.; Набиев, Р. М.; Петрухин, Г. Н.; Рычков, Г. С.; Сахаров, О. А.; Чернявская, Е. С. |