Свойства тонких пленок из политетрафторэтилена, нанесенных на твердые субстраты методом электронно-лучевой полимеризации из паровой фазы [Текст] / М. А. Брук [и др. ] // Высокомолекулярные соединения. Серия А и Серия Б. - 2008. - Т. 50, N 8. - С. 1566-1571. - Библиогр.: с. 1571 (9 назв. ) . - ISSN 0507-5475 Рубрики: Химия    Химия высокомолекулярных соединений Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- политетрафторэтилен -- твердые субстраты -- электронно-лучевая полимеризация -- паровые фазы -- кремниевые пластины -- термостойкость Аннотация: Приведены результаты по нанесению на кремниевые пластины тонких пленок из ПТФЭ путем полимеризации тетрафторэтилена из паровой фазы под действием пучка электронов с энергией 20-40 кэВ при варьировании плотности тока в интервале 1-10{\up 4} мкА/см{\up 2}. Доп.точки доступа: Брук, М. А.; Жихарев, Е. Н.; Волегова, И. А.; Спирин, А. В.; Телешов, Э. Н.; Кальнов, В. А.