Особенности структурного состояния и механических свойств покрытий ZrN и Zr (Ti) -Si-N, полученных ионно-плазменными методами [Текст] / А. Д. Погребняк [и др. ] // Письма в "Журнал технической физики". - 2009. - Т. 35, вып: вып. 19. - С. 103-110 : ил. - Библиогр.: с. 109-110 (11 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Механические и акустические свойства монокристаллов Кл.слова (ненормированные): структурные состояния -- особенности структурных состояний -- покрытия -- нанокристаллические высокотвердые покрытия -- механические свойства -- возможности формирования покрытий -- формирование покрытий -- ZrN -- Zr (Ti) -Si-N -- ионно-плазменные методы -- метод вакуумно-дугового осаждения -- конденсаты систем -- кристаллы -- кристаллиты -- пленки (физика) -- сжимающие напряжения -- подложки (физика) -- система пленка-подложка -- результаты наноиндентирования -- исследуемые объекты -- двухфазные состояния -- конденсированные материалы -- пленка-подложка система Аннотация: Рассмотрены возможности формирования нанокристаллических высокотвердых покрытий методом вакуумно-дугового осаждения с ВЧ (HF-high-frequency discharge) стимуляцией. Конденсаты систем Zr (Ti) -Si-N содержат кристаллиты двух фаз ZrN и TiN. Кристаллиты в конденсате находятся под действием деформации сжатия в плоскости роста пленки, величиной порядка -1. 1%, что соответствует действию сжимающих напряжений в системе "пленка-подложка" величиной 3. 5 GPa. Результаты наноиндентирования свидетельствуют, что в исследуемых объектах наблюдается сильная неоднородность - участки с твердостью 29-30 GPa чередуются с участками, твердость которых превышает 45-47 GPa, что отвечает, полученным из структурных данных, модели двухфазного состояния конденсированного материала, состоящего из менее твердых ZrN кристаллов и более твердых TiN кристаллитов. Доп.точки доступа: Погребняк, А. Д.; Соболь, О. В.; Береснев, В. М.; Турбин, П. В.; Дуб, С. Н.; Кирик, Г. В.; Дмитренко, А. Е. |