Формирование наноструктурированных тонких слоев при их газогетерогенном синтезе из малоразмерных летучих металлокомплексов на поверхности полупроводников и диэлектриков [Текст] / А. М. Бадалян [и др. ] // Письма в "Журнал технической физики". - 2010. - Т. 36, вып: вып. 6. - С. 36-45 : ил. - Библиогр.: с. 44-45 (14 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Физические приборы и методы физического эксперимента Кл.слова (ненормированные): тонкие слои -- наноструктурированные тонкие слои -- формирование слоев -- газогетерогенный синтез -- металлокомплексы -- летучие металлокомплексы -- малоразмерные летучие металлокомплексы -- медь -- кремниевые подложки -- кварцевые подложки -- полупроводники -- диэлектрики -- формиатные металлокомплексы -- осажденные слои -- зернистые структуры -- металлическое состояние -- наноразмерные зерна Аннотация: Представлен и исследован новый метод формирования наноструктурированных тонких слоев при их газогетерогенном синтезе из малоразмерных летучих металлокомплексов. Наноструктурированные тонкие слои меди на кремниевых и кварцевых подложках синтезированы из малоразмерных формиатных металлокомплексов на основе совмещенного синтеза-переноса. Выявлено, что осажденный слой имеет характерную плотно упакованную зернистую структуру с преимущественным содержанием меди в металлическом состоянии Cu{0} наноразмерных зерен. Доп.точки доступа: Бадалян, А. М.; Бахтурова, Л. Ф.; Каичев, В. В.; Кашников, Б. П.; Поляков, О. В.; Пчеляков, О. П.; Смирнов, Г. И. |