539.2 Л 363 Левин, М. Н. Активация поверхности полупроводников воздействием импульсного магнитного поля [Текст] / М. Н. Левин, А. В. Татаринцев, О. А. Косцова, А. М. Косцов // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N10. - Библиогр.: 7 назв. . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): адсорбция -- активация поверхности -- арсенид галлия -- германий -- импульсное магнитное поле -- кремний -- магнитоиндуцированная активация поверхности -- поверхность полупроводников Аннотация: Впервые показана возможность активации поверхности полупроводников, проявляющейся в долговременном изменении адсорбционной способности в результате кратковременного воздействия импульсного магнитного поля. Магнитоиндуцированная активация поверхности исследована на кристаллах кремния, германия и арсенида галлия. Обнаруженный эффект расширяет возможности технологических процессов формирования на поверхности полупроводниковых кристаллов тонких пленок. Доп.точки доступа: Татаринцев, А.В.; Косцова, О.А.; Косцов, А.М. |