Зимин, С. П. Порообразование в алюминиевых пленках на макропористом кремнии при высокотемпературном отжиге [Текст] / С. П. Зимин, Е. С. Горлачев, М. Н. Герке // Письма в журнал технической физики. - 2008. - Т. 34, вып: вып. 4. - С. 16-23
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): алюминиевые пленки -- макропористый кремний -- высокотемпературный отжиг Аннотация: Методами атомно-силовой и электронной микроскопии проведено исследование поверхности алюминиевой металлизации, нанесенной на слои макропористого кремния и подвергнутой отжигу. Обнаружено, что в результате отжига в пленке алюминия формируются сквозные поры и происходит рост крупных хиллоков, локализованных над краями макропор подложки. Показано, что геометрические параметры крупных хиллоков не зависят от продолжительности отжига. Доп.точки доступа: Горлачев, Е. С.; Герке, М. Н. |
Скворцов, А. А. Исследование диффузии в многослойных тонкопленочных структурах на кремнии методом контактного плавления [Текст] / А. А. Скворцов, А. М. Орлов, В. Е. Мурадов // Письма в "Журнал технической физики". - 2009. - Т. 35, вып: вып. 13. - С. 41-48 : ил. - Библиогр.: с. 48 (11 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): диффузия -- исследование диффузии -- тонкопленочные структуры -- многослойные тонкопленочные структуры -- кремний -- Si -- метод контактного плавления -- особенности контактного плавления -- алюминиевые пленки -- тонкопленочные системы -- алюминий -- титан -- никель -- молибден -- германий -- Al -- Ti -- Ni -- Mo -- Ge -- металлические подслои -- полупроводниковые подслои -- кремниевые пластины -- полупроводниковые пластины -- одиночные прямоугольные импульсы тока -- импульсы тока -- осциллографические методы -- время плавления -- скорости плавления -- анализ механизмов -- контактные взаимодействия -- методика оценки коэффициентов -- многофазная диффузия компонентов -- токовые импульсы Аннотация: Рассмотрены особенности контактного плавления в тонкопленочных системах Al (толщина h[1]=5 mum) -металлический (Ti, Ni, Mo) или полупроводниковый (Si, Ge) подслой (h[2]=0. 1 mum) -кремниевая пластина (h[3]=500 mum) при прохождении через алюминиевую пленку одиночных прямоугольных импульсов тока амплитудой j<9· 10{10} A/m{2} и длительностью 100-1000 mus. Осциллографическим методом определены времена и скорости контактного плавления в рассматриваемых структурах. На основе анализа механизмов контактного взаимодействия в системе Al-подслой (с учетом опытных данных по времени растворения подслоя в Al-пленке) предложена методика оценки коэффициентов многофазной диффузии компонентов в процессе прохождения токового импульса. Доп.точки доступа: Орлов, А. М.; Мурадов, В. Е. |
538.9 П 421 Поведение алюминия вблизи предельной теоретической прочности в экспериментах с фемтосекундным лазерным воздействием [Текст] / С. И. Ашитков [и др.] // Письма в журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2010. - Т. 92, вып. 8. - С. 568-573
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): алюминиевые пленки -- пленки (физика) -- фемтосекундный лазерный нагрев -- ударные волны -- сжатие -- сдвиговые напряжения -- откольная прочность Аннотация: Методом фемтосекундной интерференционной микроскопии исследована динамика движения свободной поверхности алюминиевых пленок микронной и субмикронной толщины под действием импульса сжатия, возбуждаемого при фемтосекундном лазерном нагреве поверхностного слоя мишени. Соотношение скорости распространения ударной волны и массовой скорости за ее фронтом указывает на упругий характер ударного сжатия до 9-13 ГПа в этом диапазоне длительностей, что подтверждается также малым (меньше равно 1 пс) временем нарастания параметров в ударной волне. Реализуемые при этом значения сдвиговых напряжений близки к оценкам их предельных значений для алюминия. Определена откольная прочность при скорости деформирования 10\{9\} с\{-1\} и толщине откола 250 - 300 нм, величина которой превышает 50% предельно возможной прочности алюминия. Доп.точки доступа: Ашитков, С. И.; Агранат, М. Б.; Канель, Г. И.; Комаров, П. С.; Фортов, В. Е. |
536.42 Г 152 Галашев, А. Е. Компьютерное изучение устойчивости пленок алюминия, нагреваемых на листе графена / А. Е. Галашев // Журнал технической физики. - 2014. - Т. 84, № 4. - С. 1-7. - Библиогр.: c. 7 (30 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Термодинамика твердых тел Кл.слова (ненормированные): алюминий -- алюминиевые пленки -- молекулярная динамика -- молекулярно-динамическое моделирование -- моноатомные пленки -- ультратонкие пленки -- металлические пленки -- графен -- коэффициент самодиффузии -- нагрев пленок -- испарение атомов Аннотация: Методом молекулярной динамики исследовано поведение односторонней и двухсторонней моноатомных пленок алюминия на графене при нагревании от 300 до 3300 K. Атомы одностороннего покрытия сохраняются на графене до 3300 K, тогда как атомы двухстороннего покрытия покидают графен уже при 1800 K, что при дальнейшем повышении температуры приводит к увеличению горизонтальной и вертикальной составляющих коэффициента самодиффузии. Наиболее значительными в металлических пленках оказываются напряжения, создаваемые силами вертикального направления, которые в основном рассасываются к температуре 2300 K. Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2014/04/p1-7.pdf Доп.точки доступа: Институт промышленной экологии УрО РАН |