535 П 471 Поздеев, С. В. Эллипсометрический контроль качества поверхности оптического стекла после финишной электронно-лучевой обработки [Текст] / С. В. Поздеев, Г. Н. Дубровская // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2004. - Т. 70, N 9. - Библиогр.: с. 38 (3 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Физика--Оптика Кл.слова (ненормированные): качество поверхности -- контроль качества -- неразрушающий контроль -- обработка поверхностей -- оптические стекла -- оптоэлектронные элементы -- стекло (материал) -- шероховатость поверхностей -- электронно-лучевая обработка -- эллипсометрический контроль -- эллипсометрия (метод) Аннотация: Описан способ эллипсометрического экспресс-контроля качества поверхностей оптоэлектронных элементов, полученных в результате электронно-лучевой обработки. Доп.точки доступа: Дубровская, Г. Н. |