Власов, С. Н. Методы исследования тонких диэлектрических пленок в миллиметровом диапазоне [Текст] / С. Н. Власов, В. В. Паршин, Е. А. Серов // Журнал технической физики. - 2010. - Т. 80, N 12. - С. 73-79. - Библиогр.: c. 79 (7 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- диэлектрические пленки -- диэлектрические пластинки -- моды открытого резонатора Фабри-Перо -- Фабри-Перо резонаторы -- резонаторы Фабри-Перо -- показатель преломления -- толщина пленок -- тензор диэлектрической проницаемости -- диэлектрическая проницаемость -- тефлон -- политетрафторэтилен -- PTFE -- лавсан -- майлар -- полиэтилентерефталат -- PETP -- полиамид -- пленочные материалы -- анизотропные материалы Аннотация: Для миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов длин волн предлагается оригинальный метод измерения параметров диэлектрических пластинок и пленок толщиной меньше lambda/2, основанный на определении характеристик мод открытого резонатора Фабри-Перо, имеющих различную поляризацию. Этим методом для изотропных материалов находятся как величина показателя преломления и tg delta, так и толщина пленок. Для анизотропных пленок с известной толщиной метод позволяет измерять компоненты тензора диэлектрической проницаемости. Исследованы популярные пленочные материалы - тефлон (политетрафторэтилен, PTFE), лавсан (майлар, полиэтилентерефталат, PETP), полиамид с минимальной толщиной ~5 mum. Выявлена заметная анизотропия рулонных пленочных материалов, а также зависимость диэлектрических свойств от толщины, обусловленная технологией производства. Проведены исследования зависимости показателя преломления и tg delta пленок от влажности воздуха. Доп.точки доступа: Паршин, В. В.; Серов, Е. А. |