+ С 875 Струнин, В. И. Моделирование процесса разложения силана в высокочастотной плазме [Текст] / В. И. Струнин, А. А. Ляхов, Г. Ж. Худайбергенов, В. В. Шкуркин> // Журнал технической физики. - 2002. - Т.72,N6. - Библиогр.: с. 114 (11 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): аморфный кремний -- плазма -- пленки -- разложение силана -- силан Аннотация: Построена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной аргоновой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов разложения SiH[4] и концентрации продуктов синтеза (высших силанов), проанализирована роль метастабильных атомов аргона в образовании радикала SiH[3] и высших силанов Доп.точки доступа: Ляхов, А.А.; Худайбергенов, Г.Ж.; Шкуркин, В.В. |
539.1/.18 Б 189 Байсова, Б. Т. Абсолютные заселенности метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда [Текст] / Б. Т. Байсова, В. И. Струнин, Н. Н. Струнина, Г. Ж. Худайбергенов> // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N8. - Библиогр.: 9 назв. . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): абсолютные заселенности -- аргон -- высокочастотные разряды -- метастабильные состояния -- плазма Аннотация: Определены абсолютные заселенности метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда в атмосфере чистого аргона и смеси аргона с силаном. Доп.точки доступа: Струнин, В.И.; Струнина, Н.Н.; Худайбергенов, Г.Ж. |
537 С 875 Струнин, В. И. Кинетика высокочастотного разряда низкого давления с конденсированной фазой [Текст] / В. И. Струнин, А. А. Ляхов, Г. Ж. Худайбергенов, В. В. Шкуркин> // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 4. - Библиогр.: c. 128 (8 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): плазма -- пылевые частицы -- электрические разряды -- энергетическое распределение электронов Аннотация: Получена функция распределения электронов по энергиям для ВЧ плазмы низкого давления с присутствием пылевых частиц. Оценено влияние микроскопических образований на электронейтральность плазмы и на энергетическое распределение электронов. Перейти: http: //www. ioffe. ru/journals/jtf/2004/04/page-126. html. ru Доп.точки доступа: Ляхов, А. А.; Худайбергенов, Г. Ж.; Шкуркин, В. В. |
Байсова, Б. Т. Определение заселенности электронного состояния A{3}Сигма[u] молекул азота в плазме тлеющего разряда [Текст] / Б. Т. Байсова, С. Л. Долганева [и др.]> // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N5. - Библиогр.: с. 27 (7 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): молекула азота -- плазма -- тлеющий разряд -- заселенность -- газовый разряд Аннотация: Сообщаются результаты по определению населенности электронного состояния A{3}Сигма[u] молекулы N[2] в газовом разряде относительно простым спектроскопическим методом. Предлагаемый метод может быть использован не только в чистом N[2], но и в газовых смесях, содержащих азот. Определены населенности метастабильного и неравновесного B{3}П[g] состояний молекулы азота. Установлено, что преобладающим механизмом заселения состояний B{3}П[g] является электронный удар Доп.точки доступа: Долганева, С.Л.; Струнин, В.И.; Струнина, Н.Н.; Тихомиров, И.А. |
539.19 С 87 Струнин, В. И. Абсолютная заселенность метастабильного состояния A{3}Sigma[u]{+} молекулы азота в плазме тлеющего разряда [Текст] / В. И. Струнин, Н. Н. Струнина, Б. Т. Байсова> // Журнал технической физики. - 2006. - Т. 76, N 2. - С. 21-24. - Библиогр.: c. 20 (21 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Молекулярная физика Кл.слова (ненормированные): азот; заселенность метастабильных состояний; колебательные уровни; плазма; тлеющие разряды Аннотация: По абсолютной интенсивности излучения полос первой положительной системы азота определены абсолютные заселенности семи колебательных уровней состояния B{3}Pi[g] молекулы азота в отрицательном свечении тлеющего разряда при давлении от 0. 01 до 5 Torr и токе от 100 до 400 mA. На основе уравнения баланса заселенности для состояния A{3}Sigma[u]{+} определена заселенность метастабильного состояния при различных условиях возбуждения разряда. Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2006/02/p21-24.pdf Доп.точки доступа: Струнина, Н. Н.; Байсова, Б. Т. |
Струнин, В. И. Расчет химического состава гелий-силановой плазмы [Текст] / В. И. Струнин, Е. А. Китаева, Г. Ж. Худайбергенов> // Известия вузов. Физика. - 2010. - Т. 53, N 1. - С. 90-96. - Библиогр.: c. 96 (15 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): высокоэнергетичные электроны -- гелий-силановая плазма -- метастабильный атом -- пылевые частицы -- равновесная концентрация -- ФРЭЭ -- электронный удар Аннотация: Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов. Доп.точки доступа: Китаева, Е. А.; Худайбергенов, Г. Ж. |
533.9 С 875 Струнин, В. И. Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы [Текст] / В. И. Струнин, А. С. Демин, Г. Ж. Худайбергенов> // Известия вузов. Физика. - 2011. - Т. 54, N 2. - С. 106-108. - Библиогр.: c. 108 (6 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): аргон-силановая плазма -- оптико-эмиссионная спектроскопия -- осаждение тонких пленок -- пленки аморфного кремния -- силановые радикалы Аннотация: Цель исследования - определить влияние давления кремнийсодержащего газа и мощности разряда на концентрацию силановых радикалов в плазме для последующего осаждения пленок аморфного кремния. Доп.точки доступа: Демин, А. С.; Худайбергенов, Г. Ж. |
533.9 И 889 Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда / Б. Т. Байсова [и др.]> // Известия вузов. Физика. - 2013. - Т. 56, № 1. - С. 63-67 : табл., рис. - Библиогр.: c. 67 (5 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): аргон-силановая плазма -- высокочастотный разряд -- заселенность состояний -- метастабильные состояния аргона -- осаждение тонких пленок -- плазмохимические процессы -- тлеющий разряд -- тонкие пленки аморфного кремния Аннотация: Рассчитаны заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда. Исследованы зависимости заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от расхода газа (14-30 станд. см 3/мин) и от колебательной мощности генератора (10-50 Вт) в атмосфере чистого аргона и смеси аргон - силан (95 % Ar + 5 % SiH 4), а также зависимость заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от содержания силана (0, 5-5 %) в аргон-силановой смеси. Доп.точки доступа: Байсова, Б. Т.; Демин, А. С.; Пушкарев, А. А.; Струнин, В. И.; Худайбергенов, Г. Ж. |