+ С 875 Струнин, В. И. Моделирование процесса разложения силана в высокочастотной плазме [Текст] / В. И. Струнин, А. А. Ляхов, Г. Ж. Худайбергенов, В. В. Шкуркин // Журнал технической физики. - 2002. - Т.72,N6. - Библиогр.: с. 114 (11 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): аморфный кремний -- плазма -- пленки -- разложение силана -- силан Аннотация: Построена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной аргоновой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов разложения SiH[4] и концентрации продуктов синтеза (высших силанов), проанализирована роль метастабильных атомов аргона в образовании радикала SiH[3] и высших силанов Доп.точки доступа: Ляхов, А.А.; Худайбергенов, Г.Ж.; Шкуркин, В.В. |