537.521 Р 957 Рычков, Д. С. Модель анодного слоя магнетронного разряда [Текст] / Д. С. Рычков, В. П. Кривобоков, Д. А. Маракасов // Известия вузов. Физика. - 2002. - Т.45,N11. - Библиогр.: с.38 (14 назв.) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика--Физика плазмы--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): анодный слой -- гидродинамическое приближение -- магнетронные разряды -- магнетронные распылительные системы -- плазма Аннотация: Рассматривается анодный слой плазмы магнетронного разряда в рамках гидродинамического приближения с постоянными подвижностью электронов с частотой столкновений. Получено строгое решение системы уравнений. Показано, что известные до сих пор решения такой задачи являются частными случаями найденного в даной работе. Обсуждаются пределы применимости модели анодного слоя для расчета основных параметров магнетронных распылительных систем на постоянном токе Перейти: http://www.tsu.ru/ru/derision/physics.phtml Доп.точки доступа: Кривобоков, В.П.; Маракасов, Д.А. |
Сочугов, Н. С. (канд. физ. -мат. наук). Электронный пучок дает жизнь топливному элементу [Текст] / Н. С. Сочугов, А. В. Батраков // Наука из первых рук. - 2010. - N 2 (32). - С. 13 : ил. - Библиогр.: с. 13 (1 назв. ) . - ISSN 1810-3960
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): твердооксидные топливные элементы -- топливные элементы -- электронный пучок -- магнетронные распылительные системы -- распылительные системы -- твердое тело Аннотация: Об исследованиях по воздействию импульсных сильноточных электронных пучков на поверхность твердых тел. Доп.точки доступа: Батраков, А. В. (канд. физ. -мат. наук) |
Характеристики плазмы несбалансированной магнетронной распылительной системы и их влияние на параметры покрытий ZnO: Ga [Текст] / А. А. Соловьев [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2009. - N 2. - С. 58-65 . - ISSN 0015-3214
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): распылительные системы -- плазма -- катоды -- магнетронные распылительные системы -- тонкие пленки -- магнетронное распыление -- проводящие оксиды -- системы с электромагнитной катушкой -- несбалансированные магнетронные распылительные системы -- оксид цинка -- легирование -- галлий Аннотация: Экспериментально изучены характеристики магнетронной распылительной системы с электромагнитной катушкой, позволяющей реализовывать различные конфигурации магнитного поля над поверхностью катода. Исследовано влияние режимов магнетронного распыления на свойства легированных галлием пленок оксида цинка. Доп.точки доступа: Соловьев, А. А.; Захаров, А. Н.; Работкин, С. В.; Оскомов, К. В.; Сочугов, Н. С. |
539.21:534 И 889 Исследование зависимости пьезоактивности пленок оксида цинка от условий синтеза в критических режимах тлеющего разряда [Текст] / В. А. Александров [и др.] // Письма в "Журнал технической физики". - 2012. - Т. 38, вып. 18. - С. 41-44 : ил. - Библиогр.: с. 44 (3 назв.) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Механические и акустические свойства монокристаллов Газы и жидкости Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): цинк -- оксид цинка -- пленки оксида цинка -- пьезоактивность пленок -- синтез пленок -- тлеющие разряды -- критические режимы -- условия синтеза -- газы -- давление газов -- результаты исследований -- магнетронные распылительные системы -- МРС -- гиперзвук -- объемный гиперзвук -- возбуждение гиперзвука -- ионы -- электроны -- дрейфовая компонента -- осаждаемые частицы -- потоки частиц -- свойства пленок Аннотация: Представлены результаты исследования влияния давления газов в магнетронной распылительной системе (МРС) при синтезе пленок ZnO на эффективность возбуждения объемного гиперзвука. Эксперименты проведены при давлениях, близких к переходу тлеющего разряда в МРС в таунденсовский, где длина свободного пробега ионов и электронов возрастает и появляется дрейфовая компонента в потоке осаждаемых частиц. Показано, что в этих условиях возрастает эффективность возбуждения гиперзвука (частота больше 1 GHz), что авторы связывают с уменьшением текстуры зарождения и возрастанием плотности пленки. Выводы сделаны на основании сравнения со свойствами пленок, полученных в классическом диффузном тлеющем разряде. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2012/18/p41-44.pdf Доп.точки доступа: Александров, В. А.; Веселов, А. Г.; Кирясова, О. А.; Сердобинцев, А. А. |
621.7 М 744 Моделирование и расчет параметров электрического разряда в планарном магнетроне [Текст] / С. Г. Клопов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2006. - Т. 70, N 8. - С. 1204-1209. - Библиогр.: с. 1209 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Техника Обработка материалов Кл.слова (ненормированные): магнетронные распылительные системы -- МРС -- катодное распыление -- аномальные тлеющие разряды -- движение частиц в плазме -- моделирование электрических разрядов -- математическое моделирование Аннотация: Представлены результаты моделирования и расчета параметров электрического разряда в планарном магнетроне. Доп.точки доступа: Клопов, С. Г.; Лесневский, Л. Н.; Тюрин, В. Н.; Ушаков, А. М. |
537.533/.534 Г 616 Голосов, Д. А. Совместное функционирование магнетронной распылительной системы и ионного источника на основе торцевого холловского ускорителя / Д. А. Голосов, Eungsun Byon, С. М. Завадский // Журнал технической физики. - 2014. - Т. 84, № 9. - С. 66-73. - Библиогр.: c. 73 (10 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): магнетронные распылительные системы -- ионные источники -- торцевые холловские ускорители -- ионные пучки -- магнетронное распыление -- ионное ассистирование -- ионно-ассистированное магнетронное распыление -- магнетроны -- источники электронов Аннотация: Проведены исследования особенностей совместной работы магнетронной распылительной системы (МРС) с ионным источником на основе торцевого холловского ускорителя (ТХУ). Отмечено, что при включении разряда магнетрона происходит частичная или полная нейтрализация ионного пучка, генерируемого ТХУ, т. е. при определенных режимах МРС ионный источник функционирует в безнакальном режиме. В данном случае разряд магнетрона является источником электронов, необходимых для поддержания разряда и компенсации ионного пучка ТХУ. Установлены зависимости разрядных характеристик ТХУ и МРС при использовании для компенсации ионного пучка ТХУ накального нейтрализатора и разряда МРС. На основе анализа совместной работы МРС и ТХУ рассмотрен баланс токов системы ионный источник-магнетронная распылительная система. Показано, что максимальный ток разряда ионного источника, при котором сохраняется условие скомпенсированности разряда, зависит от несбалансированности и тока разряда магнетрона. Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2014/09/p66-73.pdf Доп.точки доступа: Eungsun Byon; Завадский, С. М.; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |