537.521 Р 957 Рычков, Д. С. Модель анодного слоя магнетронного разряда [Текст] / Д. С. Рычков, В. П. Кривобоков, Д. А. Маракасов // Известия вузов. Физика. - 2002. - Т.45,N11. - Библиогр.: с.38 (14 назв.) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика--Физика плазмы--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): анодный слой -- гидродинамическое приближение -- магнетронные разряды -- магнетронные распылительные системы -- плазма Аннотация: Рассматривается анодный слой плазмы магнетронного разряда в рамках гидродинамического приближения с постоянными подвижностью электронов с частотой столкновений. Получено строгое решение системы уравнений. Показано, что известные до сих пор решения такой задачи являются частными случаями найденного в даной работе. Обсуждаются пределы применимости модели анодного слоя для расчета основных параметров магнетронных распылительных систем на постоянном токе Перейти: http://www.tsu.ru/ru/derision/physics.phtml Доп.точки доступа: Кривобоков, В.П.; Маракасов, Д.А. |
Никулин, С. П. Вольт-амперная характеристика дугового разряда с термокатодом при пониженных давлениях [Текст] / С. П. Никулин // Известия вузов. Физика. - 2010. - Т. 53, N 10. - С. 97-102. - Библиогр.: c. 102 (10 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): анодный слой -- вольт-амперная характеристика -- дуга с термокатодом -- дуговой разряд -- катодное падение потенциала -- разряд низкого давления Аннотация: Показано, что при пониженных давлениях рабочего газа в дуговом разряде с термокатодом возникает положительное анодное падение потенциала, что приводит к росту разрядного напряжения при увеличении тока до перехода в несвободный режим горения дуги. |