Хмель, С. Я. Конденсация смесей моносилан-аргон и моносилан-гелий в свободной струе [Текст] / С. Я. Хмель, С. Ю. Федоров, Р. Г. Шарафутдинов // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N6. - Библиогр.: с. 121 (22 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Молекулярная физика Кл.слова (ненормированные): газовые смеси -- моносилан -- аргон -- гелий -- свободные струи -- рэлеевское рассеяние -- лазерное излучение -- кластеры Аннотация: Конденсация газовых смесей моносилан-аргон и моносилан-гелий исследовалась в свободных струях с помощью диагностики, основанной на реэлеевском рассеянии лазерного излучения. Процесс конденсации в смеси SiH[4]-Ar начинается при меньшем давлении торможения, на меньшем расстоянии от сопла и протекает более интенсивно, чем в смеси моносилан-гелий и в чистом аргоне. Результаты рэлеевских измерений в струе конденсирующейся смеси моносилан-аргон обобщаются по параметру P[0]d{0.8}. Анализ полученных результатов и литературных данных позволяет предположить, что в смеси моносилан-аргон идет процесс совместной конденсации моносилан-аргон с образованием смешанных кластеров Доп.точки доступа: Федоров, С.Ю.; Шарафутдинов, Р.Г. |
539.1 Б 241 Баранов, Е. А. Моделирование спектра излучения молекулы SiH (A{2}дельта- Х{2}П) и измерение вращательной температуры состояния A{2}дельта в электронно-пучковой плазме [Текст] / Е. А. Баранов, С. Я. Хмель // Прикладная механика и техническая физика. - 2003. - Т.44,N5. - Библиогр.:с.11-12 (18 назв.) . - ISSN 0869-5032
Рубрики: Физика--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): длина волны -- ионы -- кремний -- моносилан -- оптическая спектроскопия -- плазма -- спектроскопия -- спектры излучения -- численное моделирование -- экспериментальные исследования -- электронные пучки -- эмиссия Аннотация: Подтверждено предположение о том, что излучение молекулы SiH возникает в результате диссоциативного возбуждения SiH[4] электронным ударом. Приведены значения вращательной температуры при различных концентрациях моносилана и расстояниях от сопла. В полученных спектрах зарегистрировано излучение иона кремния с длинами волн 412,807; 413,089 нм. Доп.точки доступа: Хмель, С.Я. |
531/533 К 65 Константинов, В. О. Исследование потоков газов, активированных в электронно-пучковой плазме [Текст] / В. О. Константинов, авт. С. Я. Хмель // Прикладная механика и техническая физика. - 2007. - Т. 48, N 1. - С. 3-10. - Библиогр.: с. 9-10 (15 назв. ) . - ISSN 0869-5032
Рубрики: Механика--Механика сплошных сред Кл.слова (ненормированные): электронно-пучковая плазма; зондовые измерения; электроны; кремний; тонкие пленки; зондовая диагностика; плазмохимическое осаждение Аннотация: Представлены результаты зондовых измерений температуры, функции распределения по энергиям электронов и потенциала плазмы в свободной струе газа, активированной в электронно-пучковой плазме, и в плоском реакторе. Доп.точки доступа: Хмель, С. Я. |
533.9 С 912 Сухинин, Г. И. Роль вторичных электронов и метастабильных атомов при электронно-пучковой активации аргон-силановых смесей [Текст] / Г. И. Сухинин, А. В. Федосеев, С. Я. Хмель // Физика плазмы. - 2008. - Т. 34, N 1. - С. 66-77. - Библиогр.: с. 77 (31 назв. ) . - ISSN 0367-2921
Рубрики: Физика Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): плазма -- пучки -- уравнения Больцмана -- Больцмана уравнения -- электроны -- электронно-пучковая активация -- аргон-силановые смеси -- метастабильные атомы Аннотация: Рассмотрена энергетическая и пространственная деградация первичных электронов пучка и производство высокоэнергетических вторичных электронов в ионизирующих столкновениях. Доп.точки доступа: Федосеев, А. В.; Хмель, С. Я. |
536.22/.23 Ш 251 Шарафутдинов, Р. Г. Оптическая электронно-пучковая диагностика свободной сверхзвуковой струи азота, активированной электронно-пучковой плазмой [Текст] / Р. Г. Шарафутдинов, Е. А. Баранов, С. Я. Хмель // Письма в "Журнал технической физики". - 2011. - Т. 37, вып. 24. - С. 66-73 : ил. - Библиогр.: с. 73 (14 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Газы и жидкости Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): азот -- газы -- сверхзвуковые струи -- свободные струи -- свободные сверхзвуковые струи -- электронно-пучковая диагностика -- оптическая диагностика -- оптическая электронно-пучковая диагностика -- плазма -- электронно-пучковая плазма -- вращательная температура -- численная плотность -- электронные пучки -- низкоэнергетичные электронные пучки -- конические сопла -- сверхзвуковые сопла -- сверхзвуковые конические сопла -- свечение плазмы -- спектры свечения Аннотация: С помощью оптической электронно-пучковой диагностики впервые измерены вращательная температура и численная плотность газа в нейтральной и активированной электронно-пучковой плазмой свободных сверхзвуковых струях азота. Для создания электронно-пучковой плазмы струя газа активировалась низкоэнергетичным электронным пучком на расстоянии 10 mm от среза сверхзвукового конического сопла. Для измерений в активированной струе спектр собственного свечения плазмы вычитался из излучения диагностирующего пучка в активированном потоке. Вращательная температура в активированной струе по сравнению с нейтральной увеличивается, а плотность на оси падает. Активация газа электронным пучком при выбранных параметрах увеличивала вращательную температуру на 35 %. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2011/24/p66-73.pdf Доп.точки доступа: Баранов, Е. А.; Хмель, С. Я. |
539.2 Б 241 Баранов, Е. А. Синтез ориентированных массивов "микроканатов" из нанопроволок окиси кремния методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой / Е. А. Баранов, А. О. Замчий, С. Я. Хмель // Письма в "Журнал технической физики". - 2013. - Т. 39, вып. 22. - С. 88-94 : ил. - Библиогр.: с. 94 (10 назв.) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): нанопроволоки -- канаты -- окись кремния -- химическое осаждение -- газоструйные методы -- электронно-пучковая плазма -- микроканаты пучков -- моносилан -- водород -- монокристаллический кремний -- синтезирование пучков Аннотация: Впервые синтезированы ориентированные массивы пучков ("микроканатов") нанопроволок окиси кремния из смеси моносилана с водородом методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой. Синтез осуществлялся на подложках монокристаллического кремния, покрытых частицами оловянного катализатора микронного размера. Из частицы катализатора вырастает пучок ("микроканат") нанопроволок окиси кремния, каждая из которых имеет диаметр примерно 15 nm. По-видимому, синтез осуществляется по известному механизму "пар - жидкость - кристалл", причем одновременно несколько нанопроволок растет с поверхности одной частицы катализатора. Скорость роста микроканатов около 25 nm/s при температуре синтеза 400 °С. Для объяснения результатов предложена возможная модель роста. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2013/22/p88-94.pdf Доп.точки доступа: Замчий, А. О.; Хмель, С. Я. |