621.3
Г 180


    Гаман, В. И. (???? 1).
    Временная зависимость емкости кремниевого туннельного моп-диода при воздействии водорода [Текст] / В. И. Гаман, В. М. Калыгина // Известия вузов. Физика. - 2003. - N4. - Библиогр.: 7 назв. . - ISSN 0021-3411
УДК
ББК 31.2
Рубрики: Энергетика--Электротехника
Кл.слова (ненормированные):
Моп-структуры -- водород -- газовая смесь -- диффузия -- туннельный МОП-диод
Аннотация: Представлены результаты теоритического и экспериментального исследования временной зависимости емкости кремниевых МОП-структур с туннельно тонким диэлектриком и палладиевым полевым элетродом при воздействии на них газовой смеси, содержащий водород. Получены аналитические выражения, описывающе временную зависимость емкости области пространственного заряда ( ОПЗ ) туннельного МОП-диода, помещенного в газовую смесь, обусловлена процессом диффузии атомов водорода от полевого электрода до границы раздела

Перейти: http://www.tsu.ru/ru/derision/physics.phtml/

Доп.точки доступа:
Калыгина, В.М.