539.2 Т 913 Тутов, Е. А. Влияние адсорбции паров воды на вольт-фарадные характеристики гетероструктур с пористым кремнием [Текст] / Е. А. Тутов, Е. Н. Бормонтов [и др.] // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N11. - Библиогр.: 22 назв. . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): адсорбция -- водяные пары -- вольт-фарадные характеристики -- гетероструктуры -- конденсаторные структуры -- пористый кремний -- сенсоры влажности Аннотация: Пористый кремния (por-Si) получен электрохимическим травлением монокристаллического кремния n-типа проводимости в водно-спиртовом растворе плавиковой кислоты в присутствии пероксида водорода в качестве окислителя. Исследована зависимость высокочастотных вольт-фарадных характеристик гетероструктур Al/por-Si/Si от относительной влажности. Предложены модель конденсаторной структуры и методика анализа зависимости ее емкости от парциального давления паров воды как изотермы адсорбции, в рамках которых определены пористость, эффективная доля фазы диоксида кремния в por-Si, степень связности пор, отношение объемов микро- и мезопор и распределение последних по размерам. Пористый кремний с определенными в работе параметрами может быть использован в качестве чувствительного слоя в сенсорах влажности емкостного типа. Перейти: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2003/11/ Доп.точки доступа: Бормонтов, Е.Н.; Кашкаров, В.М.; Павленко, М.Н.; Домашевская, Э.П. |