539.2 К 891 Кузнецов, Г. Ф. Рентгенотопографическая идентификация и измерение пластической деформации и упругих напряжений в отдельных кристаллитах поликристаллических слоев алмаза [Текст] / Г. Ф. Кузнецов // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N12. - Библиогр.: с.53 (20 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): пластическая деформация -- деформация -- алмаз -- поликристаллы -- астеризм -- рентгенотопографическая идентификация -- упругие напряжения -- кристаллиты Аннотация: На основе известного явления астеризма разработан рентгенотопографический метод идентификации и измерения величин пластической деформации и остаточных упругих напряжений в отдельных кристаллитах поликристаллических слоев алмазов с размерами кристаллитов, превышающими 3 mum. Величина астеризма используется как количественная мера пластической деформации конкретных кристаллитов. Получено распределение числа кристаллитов по величине астеризма для поликристаллических слоев алмаза с толщинами 40-670 мкм, осажденных в СВЧ (сверх высокочастотной) плазме. Впервые обнаружена сдвиговая пластическая деформация в отдельных кристаллитах, при которой возникает разориентация отдельных областей кристаллита в пределах от 0.4 угловых минут до 1.5 градусов. Рассчитаны величины остаточных упругих напряжений в отдельных пластически деформированных кристаллитах, которые оказались в пределах 2.7 kPa-0.84 GPa. Перейти: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2003/12/ |