Скворцов, А. А. Особенности электростимулированного разрушения алюминиевой металлизации при наличии диэлектрических ступенек на поверхности кремния [Текст] / А. А. Скворцов, В. В. Рыбин, С. М. Зуев // Письма в "Журнал технической физики". - 2010. - Т. 36, вып: вып. 6. - С. 73-79 : ил. - Библиогр.: с. 79 (7 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Кл.слова (ненормированные): алюминиевая металлизация -- электростимулированное разрушение -- особенности электростимулированного разрушения -- тепловая деградация -- особенности тепловой деградации -- диэлектрические ступеньки -- ток -- импульсы тока -- прямоугольные импульсы -- одиночные прямоугольные импульсы -- слои металлизации -- диагностика слоев металлизации -- диэлектрические подслои -- кремний -- поверхность кремния Аннотация: Рассмотрены особенности тепловой деградации напыленных на диэлектрические ступеньки алюминиевой металлизации при прохождении через нее одиночных прямоугольных импульсов тока амплитудой j<8· 10{10} A/m{2} и длительностью 100-1000 mus. Предложена методика, позволяющая проводить диагностику слоев металлизации с диэлектрическими подслоями и определять область их безопасной работы. Доп.точки доступа: Рыбин, В. В.; Зуев, С. М. |