Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Статьи из журналов: 2001-2014
Труды ОмГУ
История ОмГУ
Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=СВЧ плазма<.>)
Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3
1.
621.3
С 810

    Стогний, А. И.
    Лабораторный генератор с. в. ч.-плазмы для обработки поверхностей [Текст] / А. И. Стогний, С. В. Корякин [и др.] // Приборы и техника эксперимента. - 2004. - N 4. - Библиогр.: с. 165 (1 назв. ) . - ISSN 0032-8162
УДК
621.3
ББК 31.2
Рубрики: Энергетика--Электротехника
Кл.слова (ненормированные):
полимеры -- лабораторные исследования -- генераторы -- СВЧ плазма -- СВЧ печи -- обработка поверхностей -- диэлектрики -- очистка -- полупроводники -- органические примеси -- травление
Аннотация: Описан усовершенствованный генератор с. в. ч.-плазмы на основе бытовой с. в. ч.-печи, предназначенный для очистки поверхностей изделий, в том числе полупроводниковых и диэлектрических, от органических примесей, а также для для травления полимеров.


Доп.точки доступа:
Корякин, С. В.; Марченко, А. В.; Демченко, А. И.; Хитько, В. И.

Найти похожие
2.
621.3
С 810

    Стогний, А. И.
    Лабораторный генератор с. в. ч.-плазмы для обработки поверхностей [Текст] / А. И. Стогний, С. В. Корякин [и др.] // Приборы и техника эксперимента. - 2004. - N 4. - Библиогр.: с. 165 (1 назв. ) . - ISSN 0032-8162
УДК
621.3
ББК 31.2
Рубрики: Энергетика--Электротехника
Кл.слова (ненормированные):
полимеры -- лабораторные исследования -- генераторы -- СВЧ плазма -- СВЧ печи -- обработка поверхностей -- диэлектрики -- очистка -- полупроводники -- органические примеси -- травление
Аннотация: Описан усовершенствованный генератор с. в. ч.-плазмы на основе бытовой с. в. ч.-печи, предназначенный для очистки поверхностей изделий, в том числе полупроводниковых и диэлектрических, от органических примесей, а также для для травления полимеров.


Доп.точки доступа:
Корякин, С. В.; Марченко, А. В.; Демченко, А. И.; Хитько, В. И.

Найти похожие
3.
622
О-720

   
    Осаждение в СВЧ плазме и механическая обработка моно- и поликристаллических алмазных пленок / Е. Е. Ашкинази [и др.] // Физика и химия обработки материалов. - 2013. - № 1. - С. 29-36 . - ISSN 0015-3214
УДК
622
ББК 33
Рубрики: Горное дело
   Общие вопросы горного дела
Кл.слова (ненормированные):
ХГФО-алмаз -- поликристаллические алмазы -- монокристаллы синтетических алмазов -- синтетические алмазы -- алмазы -- шлифовка алмазных пленок -- алмазные пленки -- полировка алмазных пленок -- СВЧ плазма -- синтетические алмазные монокристаллы -- алмазные монокристаллы -- наноступеньки
Аннотация: Исследовано влияние механической полировки на поверхностный рельеф моно- и поликристаллических алмазных пленок, осажденных в СВЧ плазме, и синтетических алмазных монокристаллов. Измерены температура и коэффициент трения алмаза при различных режимах полировки на чугунном диске. После финишной обработки шероховатость поверхности монокристаллического алмаза составляет -0, 5 нм, а поликристаллического - 1-8 нм. Из-за разной скорости изнашивания различно ориентированных кристаллитов в поликристаллическом алмазе, на границе из раздела образуются наноступеньки.


Доп.точки доступа:
Ашкинази, Е. Е.; Заведеев, Е. В.; Большаков, А. П.; Ральченко, В. Г.; Рыжков, С. Г.; Польский, А. В.; Кузнецов, Н. И.; Шаронов, Г. В.; Ткач, В. Н.; Конов, В. И.

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)