621.3 С 810 Стогний, А. И. Лабораторный генератор с. в. ч.-плазмы для обработки поверхностей [Текст] / А. И. Стогний, С. В. Корякин [и др.] // Приборы и техника эксперимента. - 2004. - N 4. - Библиогр.: с. 165 (1 назв. ) . - ISSN 0032-8162
Рубрики: Энергетика--Электротехника Кл.слова (ненормированные): полимеры -- лабораторные исследования -- генераторы -- СВЧ плазма -- СВЧ печи -- обработка поверхностей -- диэлектрики -- очистка -- полупроводники -- органические примеси -- травление Аннотация: Описан усовершенствованный генератор с. в. ч.-плазмы на основе бытовой с. в. ч.-печи, предназначенный для очистки поверхностей изделий, в том числе полупроводниковых и диэлектрических, от органических примесей, а также для для травления полимеров. Доп.точки доступа: Корякин, С. В.; Марченко, А. В.; Демченко, А. И.; Хитько, В. И. |