Библиотека Омского государственного университета им. Ф.М. Достоевского

Электронные ресурсы

Базы данных

Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог

Статьи из журналов: 2001-2014

Труды ОмГУ

История ОмГУ

Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

Электронный каталог (2)

Труды ОмГУ (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Струнин, В. И.$<.>)

Общее количество найденных документов : 8
Показаны документы с 1 по 8

+
С 875

Струнин, В. И.
Моделирование процесса разложения силана в высокочастотной плазме [Текст] / В. И. Струнин, А. А. Ляхов, Г. Ж. Худайбергенов, В. В. Шкуркин // Журнал технической физики. - 2002. - Т.72,N6. - Библиогр.: с. 114 (11 назв.) . - ISSN 0044-4642

ББК +
Рубрики: Физика--Физика твердого тела--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
аморфный кремний -- плазма -- пленки -- разложение силана -- силан
Аннотация: Построена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной аргоновой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов разложения SiH[4] и концентрации продуктов синтеза (высших силанов), проанализирована роль метастабильных атомов аргона в образовании радикала SiH[3] и высших силанов

Доп.точки доступа:
Ляхов, А.А.; Худайбергенов, Г.Ж.; Шкуркин, В.В.

Найти похожие

539.1/.18
Б 189

Байсова, Б. Т.
Абсолютные заселенности метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда [Текст] / Б. Т. Байсова, В. И. Струнин, Н. Н. Струнина, Г. Ж. Худайбергенов // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N8. - Библиогр.: 9 назв. . - ISSN 0044-4642

УДК

539.1/.18

ББК 22.38
Рубрики: Физика--Ядерная физика
Кл.слова (ненормированные):
абсолютные заселенности -- аргон -- высокочастотные разряды -- метастабильные состояния -- плазма
Аннотация: Определены абсолютные заселенности метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда в атмосфере чистого аргона и смеси аргона с силаном.

Доп.точки доступа:
Струнин, В.И.; Струнина, Н.Н.; Худайбергенов, Г.Ж.

Найти похожие

537
С 875

Струнин, В. И.
Кинетика высокочастотного разряда низкого давления с конденсированной фазой [Текст] / В. И. Струнин, А. А. Ляхов, Г. Ж. Худайбергенов, В. В. Шкуркин // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 4. - Библиогр.: c. 128 (8 назв. ) . - ISSN 0044-4642

УДК

537

ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- пылевые частицы -- электрические разряды -- энергетическое распределение электронов
Аннотация: Получена функция распределения электронов по энергиям для ВЧ плазмы низкого давления с присутствием пылевых частиц. Оценено влияние микроскопических образований на электронейтральность плазмы и на энергетическое распределение электронов.

Перейти: http: //www. ioffe. ru/journals/jtf/2004/04/page-126. html. ru

Доп.точки доступа:
Ляхов, А. А.; Худайбергенов, Г. Ж.; Шкуркин, В. В.

Найти похожие

Байсова, Б. Т.
Определение заселенности электронного состояния A{3}Сигма[u] молекул азота в плазме тлеющего разряда [Текст] / Б. Т. Байсова, С. Л. Долганева [и др.] // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N5. - Библиогр.: с. 27 (7 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
молекула азота -- плазма -- тлеющий разряд -- заселенность -- газовый разряд
Аннотация: Сообщаются результаты по определению населенности электронного состояния A{3}Сигма[u] молекулы N[2] в газовом разряде относительно простым спектроскопическим методом. Предлагаемый метод может быть использован не только в чистом N[2], но и в газовых смесях, содержащих азот. Определены населенности метастабильного и неравновесного B{3}П[g] состояний молекулы азота. Установлено, что преобладающим механизмом заселения состояний B{3}П[g] является электронный удар

Доп.точки доступа:
Долганева, С.Л.; Струнин, В.И.; Струнина, Н.Н.; Тихомиров, И.А.

Найти похожие

539.19
С 87

Струнин, В. И.
Абсолютная заселенность метастабильного состояния A{3}Sigma[u]{+} молекулы азота в плазме тлеющего разряда [Текст] / В. И. Струнин, Н. Н. Струнина, Б. Т. Байсова // Журнал технической физики. - 2006. - Т. 76, N 2. - С. 21-24. - Библиогр.: c. 20 (21 назв. ) . - ISSN 0044-4642

УДК

539.19

ББК 22.36
Рубрики: Физика--Молекулярная физика
Кл.слова (ненормированные):
азот; заселенность метастабильных состояний; колебательные уровни; плазма; тлеющие разряды
Аннотация: По абсолютной интенсивности излучения полос первой положительной системы азота определены абсолютные заселенности семи колебательных уровней состояния B{3}Pi[g] молекулы азота в отрицательном свечении тлеющего разряда при давлении от 0. 01 до 5 Torr и токе от 100 до 400 mA. На основе уравнения баланса заселенности для состояния A{3}Sigma[u]{+} определена заселенность метастабильного состояния при различных условиях возбуждения разряда.

Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2006/02/p21-24.pdf

Доп.точки доступа:
Струнина, Н. Н.; Байсова, Б. Т.

Найти похожие

Струнин, В. И.
Расчет химического состава гелий-силановой плазмы [Текст] / В. И. Струнин, Е. А. Китаева, Г. Ж. Худайбергенов // Известия вузов. Физика. - 2010. - Т. 53, N 1. - С. 90-96. - Библиогр.: c. 96 (15 назв. ) . - ISSN 0021-3411

УДК

^a533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
высокоэнергетичные электроны -- гелий-силановая плазма -- метастабильный атом -- пылевые частицы -- равновесная концентрация -- ФРЭЭ -- электронный удар
Аннотация: Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов.

Доп.точки доступа:
Китаева, Е. А.; Худайбергенов, Г. Ж.

Найти похожие

533.9
С 875

Струнин, В. И.
Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы [Текст] / В. И. Струнин, А. С. Демин, Г. Ж. Худайбергенов // Известия вузов. Физика. - 2011. - Т. 54, N 2. - С. 106-108. - Библиогр.: c. 108 (6 назв. ) . - ISSN 0021-3411

УДК

533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
аргон-силановая плазма -- оптико-эмиссионная спектроскопия -- осаждение тонких пленок -- пленки аморфного кремния -- силановые радикалы
Аннотация: Цель исследования - определить влияние давления кремнийсодержащего газа и мощности разряда на концентрацию силановых радикалов в плазме для последующего осаждения пленок аморфного кремния.

Доп.точки доступа:
Демин, А. С.; Худайбергенов, Г. Ж.

Найти похожие

533.9
И 889

Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда / Б. Т. Байсова [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2013. - Т. 56, № 1. - С. 63-67 : табл., рис. - Библиогр.: c. 67 (5 назв. ) . - ISSN 0021-3411

УДК

533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
аргон-силановая плазма -- высокочастотный разряд -- заселенность состояний -- метастабильные состояния аргона -- осаждение тонких пленок -- плазмохимические процессы -- тлеющий разряд -- тонкие пленки аморфного кремния
Аннотация: Рассчитаны заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда. Исследованы зависимости заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от расхода газа (14-30 станд. см 3/мин) и от колебательной мощности генератора (10-50 Вт) в атмосфере чистого аргона и смеси аргон - силан (95 % Ar + 5 % SiH 4), а также зависимость заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от содержания силана (0, 5-5 %) в аргон-силановой смеси.

Доп.точки доступа:
Байсова, Б. Т.; Демин, А. С.; Пушкарев, А. А.; Струнин, В. И.; Худайбергенов, Г. Ж.

Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)