Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Статьи из журналов: 2001-2014
Труды ОмГУ
История ОмГУ
Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска
Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=аргон-силановая плазма<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.
533.9
С 875

    Струнин, В. И.
    Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы [Текст] / В. И. Струнин, А. С. Демин, Г. Ж. Худайбергенов // Известия вузов. Физика. - 2011. - Т. 54, N 2. - С. 106-108. - Библиогр.: c. 108 (6 назв. ) . - ISSN 0021-3411
УДК
533.9
ББК 22.333
Рубрики: Физика
   Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
аргон-силановая плазма -- оптико-эмиссионная спектроскопия -- осаждение тонких пленок -- пленки аморфного кремния -- силановые радикалы
Аннотация: Цель исследования - определить влияние давления кремнийсодержащего газа и мощности разряда на концентрацию силановых радикалов в плазме для последующего осаждения пленок аморфного кремния.


Доп.точки доступа:
Демин, А. С.; Худайбергенов, Г. Ж.

Найти похожие
2.
533.9
И 889

   
    Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда / Б. Т. Байсова [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2013. - Т. 56, № 1. - С. 63-67 : табл., рис. - Библиогр.: c. 67 (5 назв. ) . - ISSN 0021-3411
УДК
533.9
ББК 22.333
Рубрики: Физика
   Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
аргон-силановая плазма -- высокочастотный разряд -- заселенность состояний -- метастабильные состояния аргона -- осаждение тонких пленок -- плазмохимические процессы -- тлеющий разряд -- тонкие пленки аморфного кремния
Аннотация: Рассчитаны заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда. Исследованы зависимости заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от расхода газа (14-30 станд. см 3/мин) и от колебательной мощности генератора (10-50 Вт) в атмосфере чистого аргона и смеси аргон - силан (95 % Ar + 5 % SiH 4), а также зависимость заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от содержания силана (0, 5-5 %) в аргон-силановой смеси.


Доп.точки доступа:
Байсова, Б. Т.; Демин, А. С.; Пушкарев, А. А.; Струнин, В. И.; Худайбергенов, Г. Ж.

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)