537 В 121 Вавилин, К. В. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. I. Источники плазмы в отсутствие магнитного поля [Текст] / К. В. Вавилин, А. А. Рухадзе, М. Х. Ри, В. Ю. Плаксин // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 5. - Библиогр.: c. 49 (2 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): антенны -- источники плазмы -- плазма -- электромагнитное поле Аннотация: Развита общая аналитическая теория и проведено численное моделирование радиочастотных источников плазмы малой мощности с цилиндрической геометрией, работающих на промышленной частоте (f=13. 56 MHz, omega=8. 52*10{7} s{-1}) . Рассмотрены чисто индуктивные поверхностные возбудители электромагнитных полей (антенны) , расположенные либо на боковой поверхности цилиндра, либо на одной из торцевых его поверхностей. При этом другая торцевая поверхность цилиндра играет роль поверхности истечения плазмы из источника. Исследованы как длинные системы, в которых продольный размер цилиндра L превосходит его диаметр 2R, так и плоские дискообразные системы с L<2R. Найдены электромагнитные поля в плазме источника, возбуждаемые антенной, и вычислены эквивалентные сопротивления плазмы и выделяемая в плазме мощность радиочастотного поля. Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2004/05/page-44.html.ru Доп.точки доступа: Рухадзе, А. А.; Ри, М. Х.; Плаксин, В. Ю. |
537 В 121 Вавилин, К. В. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. II. Источники плазмы в условиях аномального скин-эффекта [Текст] / К. В. Вавилин, В. Ю. Плаксин, М. Х. Ри, А. А. Рухадзе // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 6. - Библиогр.: c. 28 (6 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): источники плазмы -- плазма -- радиочастотные источники плазмы -- скин-эффект Аннотация: Развита теория радиочастотного плоского дискообразного источника плазмы в условиях аномального скин-эффекта. В отсутствии внешнего магнитного поля такие условия реализуются для поперечной электромагнитной волны в области фазовых скоростей меньше тепловой скорости электронов. При наличии же внешнего магнитного поля условия аномального скин-эффекта реализуются для электронной циклотронной волны внутри резонансной линии поглощения. Для каждого из этих случаев определены мощности поглощаемой плазмой энергии радиочастотного поля и эквивалентное сопротивление плазмы при заданных значениях ее параметров. Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2004/06/page-25.html.ru Доп.точки доступа: Плаксин, В. Ю.; Ри, М. Х.; Рухадзе, А. А. |
537 В 121 Вавилин, К. В. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. III. Геликонные источники плазмы [Текст] / К. В. Вавилин, В. Ю. Плаксин, М. Х. Ри, А. А. Рухадзе // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 6. - Библиогр.: c. 34 (11 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): геликонные источники плазмы -- источники плазмы -- плазма -- радиочастотные источники плазмы Аннотация: Третья часть статьи посвящена исследованию так называемых геликонных источников плазмы - радиочастотных источников плазмы при наличии внешнего относительно слабого магнитного поля. Вместе с тем магнитное поле является достаточно сильным, чтобы ларморовская частота вращения электронов была много больше резонансной для промышленной частоты (omega=8. 52*10{7} s{-1}) . Как и в [1, 2], рассмотрены удлиненные цилиндрические источники плазмы в продольном (вдоль оси цилиндра) магнитном поле и плоские дискообразные источники в поперечном (перпендикулярно плоскости диска) магнитном поле. Проводится сравнение результатов с результатами работы [3], полученными без использования геликонного приближения. Исходя из сравнения делается вывод о перспективности использования удлиненных геликонных источников в плазменных технологиях. Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2004/06/page-29.html.ru Доп.точки доступа: Плаксин, В. Ю.; Ри, М. Х.; Рухадзе, А. А. |
533.951 А 46 Александров, А. Ф. Самосогласованная модель ВЧ индуктивного источника плазмы, помещенного во внешнее магнитное поле [Текст] / А. Ф. Александров, Г. Э. Бугров [и др.] // Физика плазмы. - 2004. - Т. 30, N 5. - С. 434-449. - Библиогр.: с. 449 (16 назв. ). - ил.: 19 рис. . - ISSN 0367-2921
Рубрики: Физика--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): плазменные источники -- объемные волны -- магнитные поля -- самосогласованная модель -- ВЧ индуктивные источники Аннотация: Развита теория, позволяющая рассчитать поглощение ВЧ-мощности в индуктивном плазменном источнике. Предложена простая самосогласованная модель плазменного источника, хорошо объясняющая все особенности плазменных источников, наблюдаемых в экспериментах. Доп.точки доступа: Бугров, Г. Э.; Вавилин, К. В.; Керимова, И. К.; Кондранин, С. Г.; Кралькина, Е. А.; Павлов, В. Б.; Плаксин, В. Ю.; Рухадзе, А. А. |
621.38 В 12 Вавилин, К. В. Радиочастотные индуктивные источники плазмы малой мощности для технологических приложений [Текст] / К. В. Вавилин, А. А. Рухадзе, М. Х. Ри, В. Ю. Плаксин // Физика плазмы. - 2004. - Т. 30, N 8. - С. 739-749. - Библиогр.: с. 749 (12 назв. ). - ил.: 9 рис. . - ISSN 0367-2921
Рубрики: Физика--Ядерная физика Радиоэлектроника--Электроника Кл.слова (ненормированные): физика плазмы -- плазма -- ионные источники -- источники плазмы -- геликонные источники -- антенны Аннотация: Рассмотрены индуктивные поверхностные возбудители электромагнитных полей (антенны) , расположенные либо на боковой поверхности цилиндра, либо на одной из торцевых его поверхностей. При этом другая торцевая поверхность цилиндра играет роль поверхности истечения плазмы из источника. Исследованы как длинные системы, в которых продольный размер цилиндра превосходит его диаметр, так и плоские дискообразные системы. Доп.точки доступа: Рухадзе, А. А.; Ри, М. Х.; Плаксин, В. Ю. |
539.1/.18 А 465 Александров, А. Ф. Особенности индуктивного высокочастотного (ВЧ) разряда низкого давления [Текст] / А. Ф. Александров, К. В. Вавилин [и др.]. l. Эксперимент // Физика плазмы. - 2007. - Т. 33, N 9. - С. 802-815. - Библиогр.: с. 815 (24 назв. ). - l. ЭкспериментЭксперимент. - ил.: 21 рис. . - ISSN 0367-2921
Рубрики: Физика--Ядерная физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): плазма -- низкотемпературная плазма -- ВЧ-разряды -- ВЧ-генераторы -- магнитное поле -- гистерезис -- высокочастотные разряды Аннотация: Показана немонотонная зависимость величины мощности, поглощенной плазмой, и концентрации электронов от внешнего магнитного поля. Обнаружены срывы разряда при критических значениях магнитного поля, перераспределение параметров плазмы по объему, а также гистерезис параметров плазмы при изменении магнитного поля и мощности ВЧ-генератора. Доп.точки доступа: Вавилин, К. В.; Кралькина, Е. А.; Павлов, В. Б.; Рухадзе, А. А. |
537 А 465 Александров, А. Ф. Особенности индуктивного ВЧ-разряда низкого давления [Текст] / А. Ф. Александров, К. В. Вавилин [и др.]. l l. Математическое моделирование // Физика плазмы. - 2007. - Т. 33, N 9. - С. 816-827. - Библиогр.: с. 827 (7 назв. ). - l l. Математическое моделированиеМатематическое моделирование. - ил.: 17 рис. . - ISSN 0367-2921
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): плазма -- низкотемпературая плазма -- ВЧ-разряды -- низкое давление -- разряды -- магнитное поле -- математическое моделирование Аннотация: Параметры плазмы определяются ВЧ-мощностью, поглощаемой плазмой, и в то же время сами определяют поглощение мощности. Это проявляется в немонотонной зависимости параметров плазмы от магнитного поля и срывах разряда, что находится в полном соответствии с результатом экспериментальных наблюдений такого разряда. Доп.точки доступа: Вавилин, К. В.; Кралькина, Е. А.; Павлов, В. Б.; Рухадзе, А. А. |
539.1/.18 Р 918 Рухадзе, А. А. Геликонный источник плазмы в ионно-звуковой области частот [Текст] / А. А. Рухадзе, авт. К. В. Вавилин // Физика плазмы. - 2007. - Т. 33, N 9. - С. 859-864. - Библиогр.: с. 864 (5 назв. ). - ил.: 9 рис. . - ISSN 0367-2921
Рубрики: Физика--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): плазма -- низкотемпературная плазма -- геликонный источник плазмы -- плазменные источники Аннотация: Исследован геликонный источник плазмы в ионно-звуковой области частот. В случае индуктивной антенны, возбуждающей геликонную волну в плазме в ионно-звуковой области частот, эффективное сопротивление, характеризующее поглощение энергии высокочастотного поля, определяется ионно-звуковым полем, порождаемым геликонной волной. Доп.точки доступа: Вавилин, К. В. |
Влияние индуктивного канала на параметры приэлектродных слоев пространственного заряда в гибридном ВЧ разряде [Текст] / А. Ф. Александров [и др. ] // Вестник Московского университета. Сер. 3. Физика. Астрономия. - 2010. - N 1. - С. 43-45. - Библиогр.: c. 45 (5 назв. ) . - ISSN 0201-7385
Рубрики: Электричество и магнетизм в целом Физика Кл.слова (ненормированные): ВЧ разряд -- гибридный ВЧ разряд -- емкостный канал разряда -- индуктивный канал разряда -- приэлектродные слои пространственного заряда Аннотация: Экспериментально изучаются физические свойства новой модификации ВЧ разряда - гибридного ВЧ разряда (ГВЧР), поддерживаемого как вихревым, так и потенциальным ВЧ электрическими полями, создаваемыми индуктивным и емкостным каналами разряда. Исследовано влияние индуктивного канала на параметры приэлектродных слоев пространственного заряда, определяющих емкостную составляющую физического механизма ГВЧР. Доп.точки доступа: Александров, А. Ф.; Вавилин, К. В.; Кралькина, Е. А.; Павлов, В. Б.; Савинов, В. П.; Якунин, В. Г. |
Экспериментальное изучение закономерностей энерговыделения в гибридном высокочастотном разряде низкого давления при изменении мощности высокочастотного генератора и давления аргона [Текст] / А. Ф. Александров [и др. ] // Вестник Московского университета. Сер. 3. Физика. Астрономия. - 2010. - N 4. - С. 71-75. - Библиогр.: c. 75 (7 назв. ) . - ISSN 0201-7385
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): ВЧ разряды -- высокочастотные разряды -- гибридные ВЧ разряды -- емкостный канал разряда -- импеданс -- индуктивный канал разряда -- плазма высокочастотного разряда -- эквивалентное сопротивление -- энерговыделение в плазме Аннотация: Экспериментально изучаются закономерности энерговыделения в плазме новой модификации высокочастотного (ВЧ) разряда - гибридного ВЧ разряда, поддерживаемого как вихревым, так и потенциальным ВЧ электрическими полями. Для организации такого разряда в работе используется узел ввода ВЧ мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. В настоящей работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, и давления аргона на эквивалентное сопротивление гибридного разряда, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ мощность. Рассмотрена роль емкостного канала в балансе ВЧ мощности, поступающей в разряд. Доп.точки доступа: Александров, А. Ф.; Вавилин, К. В.; Кралькина, Е. А.; Павлов, В. Б.; Рухадзе, А. А.; Савинов, В. П.; Чжао, Ч.; Якунин, В. Г. |
537.3 В 586 Влияние внешних параметров на особенности высокочастотного гибридного разряда низкого давления [Текст] / К. В. Вавилин [и др.] // Вестник Московского университета. Сер. 3. Физика. Астрономия. - 2012. - № 1. - С. 97-100. - Библиогр.: с. 100 (12 назв. ) . - ISSN 0201-7385
Рубрики: Физика Электрический ток Кл.слова (ненормированные): ВЧ-разряд -- гибридный ВЧ-разряд -- емкостной канал разряда -- импеданс -- индуктивный канал разряда -- эквивалентное сопротивление Аннотация: Экспериментально изучаются закономерности энерговклада в плазму гибридного ВЧ-разряда с узлом ввода ВЧ-мощности в виде параллельно соединенных спиральной антенны и обкладок конденсатора. Показано, что при малых значениях мощности ВЧ-генератора ВЧ-мощность поступает в гибридный разряд главным образом через емкостной канал, затем по мере роста мощности ВЧ-генератора роль индуктивного канала возрастает. Вклад индуктивного канала тем больше, чем меньше величина разделительной емкости, включенной в емкостную цепь разряда. Доп.точки доступа: Вавилин, К. В.; Гоморев, М. А.; Кралькина, Е. А.; Неклюдова, П. А.; Павлов, В. Б.; Чжао Чен |
537.3 Э 413 Экспериментальное изучение параметров плазмы гибридного ВЧ-разряда низкого давления [Текст] / К. В. Вавилин [и др.] // Вестник Московского университета. Сер. 3. Физика. Астрономия. - 2012. - № 1. - С. 101-105. - Библиогр.: с. 104-105 (14 назв. ) . - ISSN 0201-7385
Рубрики: Физика Электрический ток Кл.слова (ненормированные): ВЧ-разряд -- гибридный ВЧ-разряд -- емкостный канал разряда -- индуктивный канал разряда -- концентрация электронов -- энергетическое распределение электронов -- эффективная температура электронов Аннотация: Экспериментально изучаются параметры плазмы гибридного ВЧ-разряда, который является новой модификацией ВЧ-разряда. Разряд поддерживается как вихревым, так и потенциальным ВЧ-электрическими полями. Для организации гибридного ВЧ-разряда в настоящей работе используется узел ввода ВЧ-мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. В емкостной канал разряда включена разделительная емкость. В работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, давления аргона и величины разделительной емкости на параметры плазмы разряда, такие как энергетическое распределение, температура и концентрация электронов, потенциал плазмы. Рассмотрена роль емкостного канала в изменении свойств и параметров разряда. Доп.точки доступа: Вавилин, К. В.; Гоморев, М. А.; Кралькина, Е. А.; Неклюдова, П. А.; Павлов, В. Б.; Чжао Чен |
536.22/.23 В 586 Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих столкновений в плазме индуктивного ВЧ-разряда в инертных газах / Е. А. Кралькина [и др.] // Вестник Московского университета. Серия 3, Физика. Астрономия. - 2014. - № 1. - С. 79-83 . - ISSN 0201-7385
Рубрики: Физика Газы и жидкости Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): ВЧ-разряд -- Рамзауэра эффект -- индуктивный ВЧ-разряд -- концентрация электронов -- столкновительный механизм -- частота упругих столкновений электронов -- эквивалентное сопротивление плазмы -- энергетическое распределение электронов -- эффект Рамзауэра -- эффективная температура электронов Аннотация: Представлены результаты исследования механизма поглощения ВЧ-мощности плазмой индуктивного ВЧ-разряда, приведены зависимости частоты столкновений электронов с атомами инертных газов (гелий, неон, аргон, криптон) от давления в плазме индуктивного ВЧ-разряда. В диапазоне частот столкновений 3*10 Доп.точки доступа: Кралькина, Е. А.; Неклюдова, П. А.; Павлов, В. Б.; Вавилин, К. В. |
533.9 Р 153 Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ-разряде низкого давления / Е. А. Кралькина [и др.] // Вестник Московского университета. Серия 3, Физика. Астрономия. - 2014. - № 1. - С. 84-87 . - ISSN 0201-7385
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): PIC-метод -- ВЧ-разряд -- индуктивный ВЧ-разряд -- концентрация электронов -- энергетическое распределение электронов -- эффективная температура электронов Аннотация: Работа посвящена систематическим исследованиям радиальной зависимости параметров плазмы индуктивного ВЧ-разряда низкого давления в широком диапазоне давлений от 0. 8 мторр до 1 торр. Экспериментальные результаты, полученные при рассмотренных давлениях, позволяют проанализировать закономерности изменения параметров плазмы, как при нелокальном режиме горения разряда, так и при переходе от нелокального к локальному режиму ввода ВЧ-мощности. Рассмотрен разряд в гелии, неоне, аргоне и криптоне. Экспериментальные данные сопоставлены с результатами численного моделирования индуктивного ВЧ-разряда PIC-методом. Доп.точки доступа: Кралькина, Е. А.; Неклюдова, П. А.; Павлов, В. Б.; Вавилин, К. В.; Тараканов, В. П. |