541.1 Е 924 Ефремов, А. М. Влияние состава смеси хлор-водород на интенсивности излучения и концентрации активных частиц в плазме [Текст] / А. М. Ефремов, А. И. Изгородин, В. С. Оченков, В. И. Светцов // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2007. - Т. 50, вып. 11. - С. 34-39. - Библиогр.: с. 38-39 (19 назв. ) . - ISSN 0579-2991
Рубрики: Химия Физическая химия. Химическая физика Кл.слова (ненормированные): плазмы смесей -- хлор-водород -- активные частицы плазмы -- травление материалов -- моделирование плазмы Аннотация: Исследована кинетика и состав активных частиц в плазме смесей хлор - водород методом эмиссионной спектроскопии. Доп.точки доступа: Изгородин, А. И.; Оченков, В. С.; Светцов, В. И. |
Ветошкин, В. М. Особенности ионно-лучевого травления кварца в среде хлорсодержащих газов [Текст] / В. М. Ветошкин, П. Н. Крылов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 1. - С. 93-95
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура молекулярной физики Кл.слова (ненормированные): травление материалов -- газовая среда -- ионно-лучевое травление -- хлорсодержащие газы -- кварц -- оптические материалы -- фторсодержащие соединения Аннотация: Проведено моделирование процессов разложения CCl[4], SiCl[4], основанное на определении термодинамических характеристик реакций между материалом, подвергаемым травлению, и газовой средой. Исследованы особенности ионно-лучевого травления кварца в среде хлорсодержащих газов SiCl[4], CCl[4] и их смеси с кислородом. Определены оптимальные режимы, обеспечивающие высокие скорости травления кварца при использовании ионного источника “Радикал М-100”. Доп.точки доступа: Крылов, П. Н. |
621.38 С 506 Смирнов, С. А. Влияние внешних факторов на параметры низкотемпературной плазмы при обработке в ней полимерных материалов / С. А. Смирнов, В. А. Титов, В. В. Рыбкин // Российский Химический Журнал (ЖРХО им. Д. И. Менделеева). - 2013. - Т. 57, № 3/4. - С. 52-59. - Библиогр.: с. 58-59 (97 назв.) . - ISSN 0373-0247
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): полимерные материалы -- плазма -- методы травления -- полимеры -- процессы травления -- плазмохимическая обработка материалов -- кремний -- газообразные продукты -- кислород -- уравнение Больцмана -- Больцмана уравнение -- травление материалов -- низкотемпературная плазма Аннотация: Неравновесная плазма широко используется для травления и модифицирования свойств поверхности полимерных материалов. Доп.точки доступа: Титов, В. А.; Рыбкин, В. В.; Ивановский государственный химико-технологический университет; Институт химии растворов имени Г. А. Крестова РАН (Иваново)Ивановский государственный химико-технологический университет |