Использование трековой технологии для создания массивов микроигл, микродюз и микротрубок из никеля [Текст] / Г. М. Гусинский [и др. ] // Письма в "Журнал технической физики". - 2009. - Т. 35, вып: вып. 14. - С. 84-87 : ил. - Библиогр.: с. 87 (9 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Технология металлов Металлургия цветных металлов Кл.слова (ненормированные): трековая технология -- микроскопия -- электронная микроскопия -- растровая электронная микроскопия -- методика создания микрообъектов -- создание массивов микрообъектов -- никелевые объекты -- микрообъекты -- микроиглы -- микродюзы -- микротрубки -- геометрические параметры -- катоды -- автоэмиссионные катоды -- многоострийные автоэмиссионные катоды -- токовая плотность Аннотация: С помощью растровой электронной микроскопии отработана методика создания массивов никелевых объектов (микроигла, микродюза и микротрубка) с заданными геометрическими параметрами в рамках трековой технологии. Показано, что достигаемое значение радиуса острия микроиглы (10-25 nm) позволяет использовать микрообъекты данного типа в качестве актуальных на сегодняшний день многоострийных автоэмиссионных катодов с высокой токовой плотностью. Доп.точки доступа: Гусинский, Г. М.; Барышев, С. В.; Нащекин, А. В.; Саксеев, Д. А.; Найденов, В. О.; Конников, С. Г. |