621.38 К 859 Крячко, В. В. Бесконтактный метод исследования зарядового состояния границы раздела полупроводник-диэлектрик [Текст] / В. В. Крячко, М. Н. Левин, А. В. Татаринцев, Е. Н. Бормонтов // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 10. - Библиогр.: c. 133 (10 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника Кл.слова (ненормированные): бесконтактные методы исследований -- зарядовое состояние границы -- контактная разность потенциалов Аннотация: Представлен метод исследования зарядового состояния границы раздела полупроводник-диэлектрик по измерению контактной разности потенциалов между поверхностью диэлектрической пленки и вибрирующим зондом, в котором поверхностный электростатический потенциал варьируется изменением заряда на внешней поверхности диэлектрика. Величина заряда задается временем выдержки структуры в коронном разряде. Приведены результаты использования метода при исследовании воздействия на систему кремний-диоксид кремния радиации и импульсных магнитных полей. Перейти: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2004/10/page-128.html.ru Доп.точки доступа: Левин, М. Н.; Татаринцев, А. В.; Бормонтов, Е. Н. |