Cтруктура пленок Ba[0. 7]Sr[0. 3]TiO[3], полученных химическим осаждением из растворов на подложках из поликора [Текст] / О. М. Жигалина [и др. ] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 9. - С. 3-8
УДК
ББК 32.854
Рубрики: Радиоэлектроника
   Фотоэлектрические приборы

Кл.слова (ненормированные):
просвечивающая электронная микроскопия -- рентгеноструктурный анализ -- микроскопия высокого разрешения -- титанат бария-стронция -- поликор -- тонкие пленки -- диэлектрические подложки
Аннотация: Методами просвечивающей электронной микроскопии, микроскопии высокого разрешения и рентгеноструктурного анализа изучена структура пленок титаната бария-стронция (ТБС), нанесенных на подложки из поликора методом химического осаждения из растворов. Установлено, что после двухступенчатой кристаллизации при T = 700 и 950 градусов C формируется неоднородная по сечению зеренная структура: равноосные зерна (средний размер 44. 2 нм) в приграничной области ТБС-поликор и многоярусная столбчатая структура (высота зерен до 150 нм) с текстурой \{100\} в объеме пленки. Торможение роста зерен в процессе высокотемпературного отжига и образование подслоя в приграничной области связаны с изменением структуры подложки – переориентацией ее зерен и формированием текстуры \{112\}.


Доп.точки доступа:
Жигалина, О. М.; Воротилов, К. А.; Хмеленин, Д. Н.; Сигов, А. С.