621.38 А 845 Аронзон, Б. А. Мезоскопические и флуктуации проводимости кремниевых структур металл-окисел-полупроводник с легированным поверхностным слоем [Текст] / Б. А. Аронзон, А. С. Веденеев [и др.] // Радиотехника и электроника. - 2007. - Т. 52, N 10. - С. 1248-1252. - Библиогр.: с. 1252 (18 назв. ) . - ISSN 0033-8494
Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): мезоскопические флуктуации; кремниевые структуры; флуктуации; флуктуационный потенциал Аннотация: В структурах металл-окисел-полупроводник на основе n-Si с легированным бором поверхностным слоем при температуре Т=77К обнаружены мезоскопические флуктуации недиагональной компоненты тензора сопротивления R[xy] в условиях обеднения Si: B-слоя дырками под действием эффекта поля. Обнаружено резкое усиление флуктуации R[xy] при переходе от слабо возмущенного трехмерного транспорта дырок к квазидвумерной перколяционной проводимости на тыльной границе Si: B-слоя. Флуктуации R[xy] связаны с перестройкой перколяционного кластера при ослаблении дырочного экранирования флуктуационного потенциала ионизированных акцепторов. Получены экспериментальные оценки радиуса корреляции перколяционного кластера L[c], определяющего границу перехода от макро- к мезоскопическим системам. Показано согласие экспериментальных оценок и результатов расчетов в диапазоне изменения L[c] от =10нм до =1 мкм. Доп.точки доступа: Веденеев, А. С.; Козлов, А. М.; Панферов, А. А.; Рыльков, В. В. |