Яковлев, Ю. М.     Влияние имплантации He{+}, O{+}, B{+}, Cd{+} на структуру поверхности подложек из оксида магния для пленок ВТСП [Текст] / Ю. М. Яковлев, Г. А. Николайчук [и др.] // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N8. - Библиогр.: с. 120 (4 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): ионная имплантация -- оксид магния -- подложки -- лазерный отжиг Аннотация: Экспериментально исследовано изменеие структуры и морфологии поверхности полированной подложки из оксида магния MgO(100) в зависимости от проводимых обработок, включающих ионную имплантацию и лазерный отжиг. Сочетание ионной имплантации с последующим лазерным отжигом изменяют структуру поверхности подложки MgO(100), создавая монокристаллический поверхностный слой. Согласно электронографическим исследованиям сплошной монокристаллический слой получен только при имплантации ионами Cd{+} Доп.точки доступа: Николайчук, Г.А.; Шибанова, Н.М.; Крылова, Т.А.; Калюжная, Л.А.; Петухова, В.В.