Шуаибов, А. К.
    Оптические характеристики стационарной плазмы продольного разряда на смеси гелий/фреон-12 [Текст] / А. К. Шуаибов, А. И. Дащенко, И. В. Шевера // Журнал технической физики. - 2002. - Т.72,N4. - Библиогр.: с.35 (12 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- продольный разряд -- ультрафиолетовое излучение
Аннотация: Исследовано излучение плазмы контрагированного продольного разряда постоянного тока на смеси He/CF[2]Cl[2] в спектральной области 130-300 nm. Показано, что электроразрядная плазма является источником излучения в диапазоне 150-260 nm, сформированного на основе широких полос молекул Cl[2] и однозарядных ионов хлора. Проведена оптимизация ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового (УФ-ВУФ) излучения плазмы в зависимости от давления и состава рабочей среды, тока разряда и времени работы на одной смеси в газостатическом режиме. Полученные результаты представляют интерес для разработки стационарного источника УФ-ВУФ излучения для применений в микроэлектронике, фотохимии и медицине


Доп.точки доступа:
Дащенко, А.И.; Шевера, И.В.




    Шуаибов, А. К.
    Импульсно-периодический объемный разряд низкого давления на смеси аргон/хлор, инициируемый прилипательной неустойчивостью [Текст] / А. К. Шуаибов // Журнал технической физики. - 2002. - Т.72,N10. - Библиогр.: с.141-142 (17 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
зажигание разряда -- объемные разряды -- плазма -- прилипательная неустойчивость
Аннотация: Исследованы условия зажигания и характеристики импульсно-периодического объема разряда в системе сферический анод--плоский катод. Рабочей средой служили смеси Ar/Cl[2] (P=<2.0 kPa), используемые в эксимерно-галогенной лампе на системе молекулярных полос 175 nm ArCl(B-X), 257 nm Cl[2](D'-A') и 195-200 nm Cl[2]{**}. При межэлектродном расстоянии 3 cm, подаче на анод постоянного напряжения (U[ch]=< 1.0 kV) и заполнении разрядного объема хлором или газовыми смесями Ar/Cl[2]=0.1-2.0/0.04-0.12 kPa в межэлектродном объеме зажигался устойчивый импульсно-периодический разряд с частотой следования импульсов 1-50 kHz. За счет развития прилипательной неустойчивости плазмы (при которой значительную роль играют процессы образования, распада и диффузии отрицательных ионов Cl[2]{-}, Cl{-}) образуется единичный плазменный домен грушевидной формы со средний диаметром 0.2-3.5 cm





    Шуаибов, А. К.
    Излучение объемного разряда в элегазе, инициируемого прилипательной неустойчивостью плазмы [Текст] / А. К. Шуаибов, И. В. Шевера // Журнал технической физики. - 2002. - Т.72,N11. - Библиогр.: с.132 (12 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
объемный разряд -- плазма -- элегаз
Аннотация: Представлены результаты исследования оптических характеристик плазмы объемного разряда низкой плотности в SF6. Разряд формировался в системе электродов "сферический анод-плоский катод" за счет развития прилипательной неустойчивости. Установлено, что при подаче на анод постоянного напряжения (U[ch]=<1.3 kV) в разрядном промежутке, не ограниченном диэлектрическими стенками, зажигается импульсно-периодический разряд (f=0.1-120 kHz). Исследовались пространственные, частотные и вольт-амперные характеристики объемного разряда, излучение плазмы в спектральной области 200-700 nm, а также осциллограммы напряжения, тока и излучения плазмы. Показано, что исследуемая плазма существует в форме домена (автосолитона), а объемный разряд является самоинициирующимся, так как в нем роль коммутатора при работе в импульсно-периодическом режиме выполняет сама плазма, находящаяся в режиме прилипательной неустойчивости. Полученные результаты представляют интерес для применения в физике и технике электроразрядных химических HF(DF) лазеров на нецепных реакциях, а также при разработке широкоапертурной импульсно-периодической лампы низкого давления на фторидах Ar, Kr и Xe с малоагрессивной рабочей средой (смеси атомов Ar, Kr, Xe с молекулами SF[6] при низком давлении)


Доп.точки доступа:
Шевера, И.В.


535
Ш 950


    Шуаибов, А. К.
    Оптические характеристики и параметры лазерной плазмы сурьмы [Текст] / А. К. Шуаибов, М. П. Чучман, Л. Л. Шимон // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N4. - Библиогр.: 16 назв. . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.34
Рубрики: Физика--Оптика
Кл.слова (ненормированные):
лазерная плазма -- сурьма -- эмиссионная спектроскопия
Аннотация: Приведены результаты исследования процессов в разлетающейся лазерной плазме сурьмы методом эмиссионной спектроскопии. Исходя из динамики излучения спектральных линий SbI, определена скорость разлета плазмы, время рекомбинации SbII, температура и концентрация электронов. На основании полученных результатов сделан качественный анализ процессов при образовании и разлете лазерной плазмы сурьмы


Доп.точки доступа:
Чучман, М.П.; Шимон, Л.Л.


537
Ш 950


    Шуаибов, А. К.
    Эмиссионные характеристики лазерной эрозионной плазмы свинца [Текст] / А. К. Шуаибов, М. П. Чучман, Л. Л. Шимон // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 2. - Библиогр.: c. 135 (7 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
свинец -- плазма -- лазерная эррозийная плазма -- лазерные факелы -- лазерная плазма
Аннотация: Исследованы спектры и динамика излучения спектральных линий лазерной эрозионной плазмы свинца на расстоянии 1 mm от мишени в вакууме (P=3-12 Pa) при воздействии импульсно-периодического неодимового лазера (tau=20 ns, f=12 Hz, W= (1-2) *10{9} W/cm{2}, lambda=1. 06 mum) . Исходя из полученных данных сделан анализ динамики излучения и механизма формирования лазерного факела.

Перейти: http: //www. ioffe. ru/journals/jtf/2004/02/

Доп.точки доступа:
Чучман, М. П.; Шимон, Л. Л.


537
Ш 950


    Шуаибов, А. К.
    Электроразрядный ультрафиолетовый эксимерно-галогенный излучатель на смеси гелия и ксенона с парами иода [Текст] / А. К. Шуаибов, И. А. Грабовая // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 4. - Библиогр.: c. 68-69 (21 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- ультрафиолетовые лампы -- эксимерно-галогенные лампы -- электрические разряды
Аннотация: Исследованы характеристики малогабаритной ультрафиолетовой (УФ) лампы низкого давления, излучающей на резонансной линии атома иода (206 nm) , иодиде ксенона (253 nm) и димерах иода (342 nm) . Накачка лампы проводилась продольным тлеющим разрядом постоянного тока при межэлектродном расстоянии 19 cm. Рабочей средой излучателя служили газовые смеси He/J[2] и He/Xe/J[2] при общем давлении 50-1500 Pa. Приводятся результаты оптимизации электроразрядкой эксимерно-галогенной лампы в зависимости от давления и состава газовых смесей, а также мощности, вкладываемой в разрядную плазму. Показано, что суммарная мощность УФ излучения в спектральном диапазоне 200-350 nm со всей рабочей апертуры лампы достигает 5-7 W при КПД =
Перейти: http: //www. ioffe. ru/journals/jtf/2004/04/page-66. html. ru

Доп.точки доступа:
Грабовая, И. А.


537
Ш 950


    Шуаибов, А. К.
    Продольный высокочастотный разряд в смеси ксенона с хлором [Текст] / А. К. Шуаибов, А. И. Дащенко, И. В. Шевера // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 5. - Библиогр.: c. 133 (18 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
высокочастотные разряды -- ксенон -- плазма -- хлор -- эксимерно-галогенные излучатели
Аннотация: Представлены результаты исследования электрических и эмиссионных характеристик низкотемпературной плазмы продольного высокочастотного (f[0]=1. 76 MHz) разряда в смеси ксенона и хлора при давлении 100-800 Pa. Разряд зажигался в цилиндрической разрядной трубке из кварца с внутренним диаметром 1. 4 cm и межэлектродным расстоянием 3. 0 cm. Излучение разряда анализировалось в спектральной области 190-670 nm. Изучалась динамика протекания тока и излучения разряда в смесях ксенона с хлором при разных давлениях и составах рабочей среды. Показано, что исследуемый разряд в смеси ксенон/хлор является широкополосным эксимерно-галогенным излучателем с основным спектральным диапазоном работы 220-320 nm и цилиндрической рабочей апертурой. Широкополосный спектр излучения плазмы формируется в результате перекрытия уширенных при низком давлении газовой среды полос XeCl (D, B-X; B, C-A) . Определен оптимальный состав рабочей смеси, необходимый для получения максимальной мощности широкополосного УФ излучения плазмы. Продольный высокочастотный разряд низкого давления в смеси ксенона и хлора представляет интерес для использования в малогабаритной широкополосной (Deltalambda=220-450 nm) лампе с цилиндрической рабочей апертурой, которая в среднем более чем на порядок может быть эффективней от традиционных водородных ламп.

Перейти: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2004/05/page-130.html.ru

Доп.точки доступа:
Дащенко, А. И.; Шевера, И. В.




    Шуаибов, А. К.
    Многоволновой электроразрядный излучатель на системе полос лямбда=308nm XeCl(B-X)/258nm Cl[2](D`-A`)/236nm XeCl(D-X)/222nm KrCl(B-X)/175nm ArCl(B-X)/160nm H[2](B-X [Текст] / А. К. Шуаибов, Л. Л. Шимон, А. И. Дащенко, И. В. Шевера // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N2. - Библиогр.: с. 80-81 (27 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Радиоэлектроника--Квантовая электроника
Кл.слова (ненормированные):
электроразрядный излучатель -- УФ-излучатель -- плазма -- эксимерные лампы -- многоволновой режим
Аннотация: Приведены результаты оптимизации характеристик УФ-ВУФ излучателя на хлоридах тяжелых инертных газов и молекул хлора. Возбуждение рабочих смесей Ar/Kr/Cl[2] и Ar/Kr/Xe/Cl[2] (HCl) происходило в поперечном объемном разряде с искровой предыонизацией при P=1...30kPa. Исследовались спектры излучения плазмы многокомпонентной активной среды, зависимоти интенсивности излучения разряда от давления и состава газовых смесей, величины зарядного напряжения и количества разрядных импульсов. Показано, что данный разряд является источником излучения на полосах лямбда=308/256/236/222/175/160nm. Для одновременного получения примерно равных величин интенсивности полос излучения XeCl(B,D-X), Cl[2](D`-A`), KrCl(B-X), ArCl(B-X) и H[2](B-X) в области 160...308nm оптимальными были смеси: [Ar]=1///20kPa, [Kr,Xe]=0.4...0.6kPa, [Cl[2]]=0.2...0.4kPa, [HCl]=0.08kPa и [H[2]]=0.5...1.0kPa. Добавки молекул H[2] приводят к падению интенсивности эксимерных полос


Доп.точки доступа:
Шимон, Л.Л.; Дащенко, А.И.; Шевера, И.В.




    Шуаибов, А. К.
    Оптические характеристики лазерной плазмы кадмия и слоистого кристалла CdAl[2]Se[4] [Текст] / А. К. Шуаибов, Л. Л. Шимон, М. П. Чучман // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N5. - Библиогр.: с. 89 (15 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Радиоэлектроника--Квантовая электроника
Кл.слова (ненормированные):
лазерная плазма -- кадмий -- лазеры -- спектры излучения -- слоистые кристаллы
Аннотация: Приводятся результаты исследования спектральных и временных характеристик излучения лазерной плазмы кадмия и кристалла CdAl[2]Se[4], получаемой при помощи Nd{3+}лазера с мощностью генерации в области фокусировки 1-2*10{9}W/cm{2} и длительностью импульсов 20 ns. Наиболее интенсивными в спектре излучения лазерного факела были линии CdI c 6{3}S[1]- и 5{3}D[2]-состояний. Узким местом рекомбинационного потока являлись энергетические уровни CdII (5{2}D[5/2];E[up]=20/11eV) и CdI (8{3}D[1,3;E[up]=8.60-8.65eV). Средняя температура электронов в плазме лазерного факела составляла 0.64eV. Высокая скорость рекомбинационного заселения верхнего уровня для линии 508.6 nm CdI может быть связана с эффективным заселением состояния 6{3}S[l] через промежуточные состояния отрицательного иона Cd{-} с энергиями 6.82 и 7.24eV


Доп.точки доступа:
Шимон, Л.Л.; Чучман, М.П.




    Шуаибов, А. К.
    Поднормальный тлеющий разряд на смеси Xe/Cl[2] в узкой разрядной трубке [Текст] / А. К. Шуаибов, А. И. Дащенко, И. В. Шевера // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N8. - Библиогр.: с. 124 (15 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
тлеющий разряд -- ксенон -- разрядные трубки
Аннотация: Приводятся результаты исследования электрических и оптических характеристик поднормального тлеющего разряда в короткой (L=10cm) разрядной трубке с внутренним диаметром 5mm. Изучались вольт-амперные характеристики и энерговклад в разряд, спектральные характеристики плазмы в области 130-350nm, яркости излучения полос с лямбда=236nm XeCl(D-X), 308nm XeCl(B-X) и суммарной яркости излучения в области 180-340nm в зависимости от величины давления и парциального состава смеси Xe/Cl[2]. Показано, что наблюдаются две стадии тлеющего разряда: слаботочная (при разрядных токах I[ch]=<2mA) и сильноточная при I[ch]>2mA, переход между которыми осуществляется в виде скачка. С увеличением содержания хлора в смеси возрастает падение напряжения на электродах трубки и наблюдается рост энерговклада в плазму. При пониженном давлении смеси Xe/Cl[2] (P=<0.7kPa) в катодной области разряда наблюдалось формирование стоящих страт. Объем разряда, занятый стратами, возрастал с уменьшением разрядного тока


Доп.точки доступа:
Дащенко, А.И.; Шевера, И.В.




    Шуаибов, А. К.
    Исследование излучения плазмы тлеющего разряда постоянного тока на смеси He/H[2]O [Текст] / А. К. Шуаибов, А. И. Дащенко, И. В. Шевера // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N11. - Библиогр.: с.142 (11 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
тлеющий разряд -- плазма -- пары воды
Аннотация: Исследованы электрические и оптические характеристики продольного тлеющего разряда постоянного тока в цилиндрической разрядной трубке на смеси гелия и насыщенных при комнатной температуре парах воды. Установлено, что основное излучение в ультрафиолетовой области длин волн представлено широкой полосой с лямбда[max]=309.6nm и дельта лямбда=9nm. Основными диагностическими спектральными линиями исследуемой плазмы являются 653.3 nm H[альфа], 486.1 nm H[бетта] и линии атома He в области 440-670 nm. Проведена оптимизация величины яркости излучения полосы с лямбда[max]=309.6 nm и интенсивности спектральных линий HeI и HI в зависимости от парциального давления гелия и величины тока тлеющего разряда. Полученные результаты представляют интерес для разработки экологически чистого излучателя на основе продуктов распада молекул и кластеров воды в плазме


Доп.точки доступа:
Дащенко, А.И.; Шевера, И.В.




    Шуаибов, А. К.
    Образование эксимерных молекул и возбужденных атомов в положительном коронном разряде на смесях He/Xe/SF[6]/CCl[4] и He/Kr/SF[6]/CCl[4] [Текст] / А. К. Шуаибов, А. И. Миня, А. И. Дащенко // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N12. - Библиогр.: с.97 (15 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
коронные разряды -- эксимерные излучатели -- эксимерные молекулы
Аннотация: Проводятся результаты исследования электрических и оптических характеристик коронного разряда положительной полярности в системе электродов иголки-сетка. Разряд излучался в газовых смесях He/Xe(Kr)/SF[6]/CCl[4], представляющих интерес для использования в многоволновых эксимерных излучателях. Разряд имел длину, равную длине электродов поперечного разряда эксимерного лазера или лампы, и предназначен для применения в модулях электрической прокачки импульсно-периодических многоволновых излучателей высокого давления. Проведены исследования вольт-амперных и частотных характеристик данного разряда, обзорных спектров излучения генерационных зон и зависимостей относительной интенсивности излучения галогенидов и возбужденных атомов инертных газов от тока коронного разряда. Рассмотрены основные процессы образования галогенидов, а также возбужденных атомов криптона и ксенона в генерационных зонах коронного разряда


Доп.точки доступа:
Миня, А.И.; Дащенко, А.И.


539.2
Ш 95


    Шуаибов, А. К.
    Спекроскопическая диагностика плазмы лазерной эрозии поликристаллической мишени соединения AgGaS[2] [] / А. К. Шуаибов, М. П. Чучман // Журнал технической физики. - 2005. - Т. 75, N 1. - С. 115-118. - Библиогр.: c. 118 (12 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
лазерное излучение; плазма; спектроскопическая диагностика плазмы; тонкие пленки
Аннотация: Представлены результаты исследования излучения лазерной плазмы, формируемой в вакууме при действии на поликристаллическую мишень лазерного излучения на lambda=1. 06 mum мощностью 3-5*10{8} W/cm{2}. Излучение анализировалось в диапазоне длин волн 220-600 nm из пространственных областей, удаленных от мишени на r=1 и 7 mm. Показано, что в спектр излучения лазерной плазмы основной вклад вносят переходы с возбужденных уровней однозарядных ионов Ag{+}, S{+}, а атомарная составляющая плазмы представлена в спектре интенсивными спектральными линиями с ридберговских состояний атомов серебра и галлия. Излучение резонансных линий атомов серебра и галлия отсутствует.

Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2005/01/page-115.html.ru

Доп.точки доступа:
Чучман, М. П.


537
Ш 95


    Шуаибов, А. К.
    Электроразрядная ультрафиолетовая лампа с непрерывным режимом излучения [] / А. К. Шуаибов, И. А. Грабовая // Приборы и техника эксперимента. - 2005. - N 1. - С. 119-121. - Библиогр.: с. 121 (14 назв. ) . - ISSN 0032-8162
УДК
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
ультрафиолетовые лампы; электроразрядные лампы; постоянный ток; гелий; йод; разрядные трубки
Аннотация: Описана ультрафиолетовая лампа с накачкой тлеющим разрядом постоянного тока в смеси гелия с парами иода в кварцевой разрядной трубке с межэлектродным расстоянием 50 см.


Доп.точки доступа:
Грабовая, И. А.


537.585.373.186
Ш 95


    Шуаибов, А. К.
    Об управлении характеристиками импульсно-периодического объемного разряда в фреоне-12 и смеси аргон/фреон-12 [Текст] / А. К. Шуаибов, А. И. Дащенко, И. В. Шевера // Физика плазмы. - 2003. - Т. 29, N 11. - С. 1067-1069. - Библиогр.: с. 1069 (11 назв. ). - ил.: 2 рис. . - ISSN 0367-2921
УДК
ББК 22.38
Рубрики: Физика--Ядерная физика
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- импульсно-периодические разряды -- фреон-12 -- аргон -- вольт-амперные характеристики -- спектры излучения -- излучения плазмы
Аннотация: Исследованы электрические и оптические характеристики объемного разряда: вольт-амперные характеристики, спектры излучения плазмы, осциллограммы переменной составляющей напряжения на разрядном промежутке, тока и яркости суммарного излучения плазмы.


Доп.точки доступа:
Дащенко, А. И.; Шевера, И. В.


537.521
Ш 95


    Шуаибов, А. К.
    Характеристики поперечного высокочастотного разряда на смеси ксенона с хлором [Текст] / А. К. Шуаибов, А. И. Дащенко, И. В. Шевера // Физика плазмы. - 2004. - Т. 30, N 5. - С. 475-480. - Библиогр.: с. 479-480 (21 назв. ). - ил.: 6 рис. . - ISSN 0367-2921
УДК
ББК 22.38
Рубрики: Физика--Ядерная физика
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- газовые смеси -- излучения плазмы -- высокочастотные разряды
Аннотация: Приводятся результаты исследования электрических и оптических характеристик плазмы поперечного высокочастотного разряда в смеси ксенона с хлором при давлении 400 Па. Возбуждение газовых смесей осуществлялось модулированным высокочастотным разрядом 1. 76 МГц, который зажигался в поперечной системе электродов.


Доп.точки доступа:
Дащенко, А. И.; Шевера, И. В.


533.9.
Ш 95


    Шуаибов, А. К.
    Образование молекул XeI (B) и I[2] (B) в стационарной электроразрядной плазме на смеси ксенона с парами иода [Текст] / А. К. Шуаибов, Л. Л. Шимон, И. А. Грабовая // Физика плазмы. - 2004. - Т. 30, N 8. - С. 763-766. - Библиогр.: с. 766 (12 назв. ). - ил.: 3 рис., 1 табл. . - ISSN 0367-2921
УДК
ББК 22.38
Рубрики: Физика--Ядерная физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
физика плазмы -- плазма -- низкотемпературная плазма -- тлеющие разряды -- димеры иода -- иодиды ксенона -- вольт-амперные характеристики
Аннотация: Исследовались вольт-амперные характеристики тлеющего разряда, спектры излучения плазмы в диаметре 200-650 нм, зависимость интенсивности (яркости) излучения спектральных линий (молекулярных полос) от величины электрической мощности тлеющего разряда и парциального давления ксенона в смеси Xe/I[2].


Доп.точки доступа:
Шимон, Л. Л.; Грабовая, И. А.


533.9
Ш 95


    Шуаибов, А. К.
    Рекомбинация ионов и энергобаланс в лазерной эрозионной плазме свинца и галлия [Текст] / А. К. Шуаибов, авт. М. П. Чучман // Физика плазмы. - 2007. - Т. 33, N 2. - С. 168-175. - Библиогр.: с. 175 (19 назв. ). - ил.: 3 рис., 1 табл. . - ISSN 0367-2921
УДК
ББК 22.34
Рубрики: Физика--Ядерная физика--Оптика
Кл.слова (ненормированные):
лазерная плазма -- эрозионная плазма -- спектральные линии -- плазма свинца -- плазма галлия -- рекомбинация ионов
Аннотация: Из анализа заднего фронта осциллограмм излучения различных спектральных линий лазерной эрозионной плазмы свинца и галлия определены времена рекомбинации ионов, особенности энергобаланса и динамики изменения интенсивности излучения плазмы лазерного факела.


Доп.точки доступа:
Чучман, М. П.


537
Ш 95


    Шуаибов, А. К.
    Оптические характеристики плазмы поперечного объемного разряда в смеси гелия и хлористого водорода [Текст] / А. К. Шуаибов, Л. Л. Шимон, И. В. Шевера, И. И. Сабов // Журнал технической физики. - 2006. - Т. 76, N 2. - С. 135-136. - Библиогр.: c. 136 (9 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
плазма; плазмохимические реакторы; поперечные объемные разряды
Аннотация: Приводятся результаты исследования эмиссионных характеристик поперечного объемного разряда в смеси He-HCl=10-1 при суммарном давлении 1-8 kPa. Объем плазмы составлял 18x2. 2x1 cm{3} при межэлектродном расстоянии d=2. 2 cm и напряжении заряда основной накопительной емкости 5-10 kV. Эмиссионные характеристики разряда исследовались в спектральной области 500-1000 nm. Разряд представляет интерес для использования в импульсном плазмохимическом реакторе сухого травления. Плотность радикалов хлора (атомарных) в плазме оптимизировалась по давлению исходной рабочей смеси He-HCl с использованием относительной интенсивности излучения спектральной линии атома хлора 837 (5) nm. Непрямой контроль за плотностью молекулярных радикалов возможно проводить и по излучению не хлорсодержащих возбужденных продуктов распада молекул HCl (спектральная линия 656 nm H[alpha]) .

Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2006/02/p135-136.pdf

Доп.точки доступа:
Шимон, Л. Л.; Шевера, И. В.; Сабов, И. И.


537
Ш 95


    Шуаибов, А. К.
    Пространственное изменение характеристик эрозионной плазмы свинца при распространении лазерного факела от мишени [Текст] / А. К. Шуаибов, авт. М. П. Чучман // Журнал технической физики. - 2006. - Т. 76, N 11. - С. 61-65. - Библиогр.: c. 65 (12 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
лазерная плазма; плазма; свинец; эмиссионная спектроскопия; эрозионная плазма
Аннотация: С помощью метода эмиссионной спектроскопии исследованы фундаментальные характеристики лазерной эрозионной плазмы свинца на расстоянии от мишени 1 и 7 mm: концентрации атомов, одно- и двузарядных ионов, электронов, давление, длина свободного пробега, степень ионизации плазмы. Плазма была сформирована излучением импульсно-периодического неодимового лазера: (3-5) *10{8} W/cm{2}; 1. 06 mum; 20 ns; 12 Hz.

Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2006/11/p61-65.pdf

Доп.точки доступа:
Чучман, М. П.