681.2 З-127 Забродин, И. Г. Абсолютно калиброванный измеритель ЭУФ-мощности для аттестации источников излучения на 13. 5 нм [Текст] / И. Г. Забродин, Б. А. Закалов [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 6. - С. 104-107 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Приборостроение Приборостроение в целом Кл.слова (ненормированные): экстремальное ультрафиолетовое излучение -- литография -- ЭУФ-литография -- измеритель мощности излучения -- мощность излучения Аннотация: Описывается стенд интерферометра с дифракционной волной сравнения для контроля поверхности оптических элементов. Приводятся первые результаты измерений сферических подложек. Обсуждаются возможности улучшения точности измерений. Доп.точки доступа: Закалов, Б. А.; Зуев, С. Ю.; Каськов, И. А.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Салащенко, Н. Н.; Суслов, Л. А.; Пестов, А. Е.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А. |