537.312 Н 419 Негуляев, Н. Н. Влияние термоэлектретного эффекта на разрядку облученного электронным пучком диэлектрика [Текст] / Н. Н. Негуляев, С. И. Зайцев, Е. А. Грачев // Вестник Московского университета. Сер. 3, Физика. Астрономия. - 2004. - N 2. - Библиогр.: с. 46 ( 8 назв. ) . - ISSN 0201-7385
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): термоэлектретный эффект -- диэлектрическая пленка -- релаксация заряда -- электронорезисторы -- электронная литография Аннотация: Исследован процесс деполяризации облученной электронным пучком тонкой диэлектрической пленки с учетом термоэлектрического эффекта. Установлено, что его появление приводит к увеличению скорости спада потенциала на поверхности мишени и возрастанию времени релаксации заряда в объеме образца. Показано, что термоэлектретный эффект может использоваться для косвенного измерения температуры электронорезисторов в электронной литографии. Доп.точки доступа: Зайцев, С. И.; Грачев, Е. А. |